一種機械臂拆取夾具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種機械臂拆取夾具，包括承重桿，以及從上往下依次固定在所述承重桿上的多個拆取單元，每個所述拆取單元包括夾爪對件，第一滑軌、以及第一驅動裝置；第一滑軌的長度方向沿與承重桿垂直的方向設置，所述夾爪對件包括相對設置的兩個夾爪，相對設置的兩個夾爪均滑動連接在第一滑軌上，且所述相對設置的兩個夾爪能夠進行開合運動以對硅棒進行夾持和松開；其中，所述第一滑軌的長度被設置為通過夾爪對件在所述第一滑軌上的移動，所述機械臂拆取夾具能夠以垂直方式或平行方式對硅棒進行拆取。通過上述機械臂拆取夾具，避免了在生產過程中，需要頻繁更換夾具的情況，提高了作業的連貫性和效率，從而提高了成品多晶硅的生產效率。
【專利說明】一種機械臂拆取夾具
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及多晶硅生產【技術領域】，特別涉及一種機械臂拆取夾具。
【背景技術】
[0002]在現有技術中，通常采用改良西門子法生產多晶硅，改良西門子法中還原爐是最終生產多晶硅的核心關鍵反應容器。隨著多晶硅技術的發展，為降低成本、提高單爐產量，還原爐內的多晶硅的數量和長度都在增加，至此對成品多晶硅棒的拆取效率和質量帶來挑戰。
[0003]在成品多晶硅棒生產過程中，間歇式的生產方式要求還原爐每運行80_150h就需要停止運行，吊起還原爐鐘罩，取出內部的成品多晶硅棒。過去多采用人工拆取的方法取出內部的成品多晶硅棒，然而，由于成品多晶硅棒重量在120千克到200千克、高度在2.2米到2.8米之間，傳統用人工拆取的辦法十分費力、危險，同時人工拆取會影響成品多晶硅的品質進而直接影響多晶硅的價格。
[0004]為了采用機械方式對成品多晶硅硅棒進行拆卸，現在國內對機械拆卸成品多晶硅硅棒的設備進行了研制，目前開發的拆卸夾具能夠以垂直方式或平行方式對多晶硅硅棒進行拆卸，其中，垂直方式是指夾具對U形硅棒進行拆卸時，夾具中的夾爪分別夾持U形硅棒的前側棒體和后側棒體，平行方式是指夾具對U形硅棒進行拆卸時，夾具中的夾爪分別夾持U形硅棒的左側棒體和右側棒體。
[0005]對于不同結構的還原爐，有時需要采用垂直方式來拆取硅棒，有時需要采用平行方式來拆取硅棒，在使用現有的拆卸夾具進行拆取時，對于不同結構的還原爐，經常需要改變作業位置或者更換夾具，夾具的更換將嚴重影響作業的連貫性和效率，從而降低了成品多晶硅硅棒的生產效率。
實用新型內容
[0006]本實用新型提供一種機械臂拆取夾具，用于解決現有技術中由于夾具的更換從而影響作業的連貫性和效率并降低了成品多晶硅硅棒的生產效率的問題。
[0007]為了實現上述實用新型目的，本實用新型提供了一種機械臂拆取夾具，用于硅棒的拆取，所述機械臂拆取夾具包括承重桿，以及從上往下依次固定在所述承重桿上的多個拆取單元，每個所述拆取單元包括夾爪對件，第一滑軌、以及第一驅動裝置；第一滑軌的長度方向沿與承重桿垂直的方向設置，所述夾爪對件包括相對設置的兩個夾爪，相對設置的兩個夾爪均滑動連接在第一滑軌上，并且能夠沿所述第一滑軌移動，且所述相對設置的兩個夾爪能夠在第一驅動裝置的驅動下進行開合運動以對硅棒進行夾持和松開；其中，所述第一滑軌的長度被設置為通過夾爪對件在所述第一滑軌上的移動，所述機械臂拆取夾具能夠以垂直方式或平行方式對硅棒進行拆取。
[0008]優選地，所述多個拆取單元具體包括多個第一拆取單元和多個第二拆取單元，所述第一拆取單元和第二拆取單元在承重桿上從上往下交替布置，其中，各個第一拆取單元的第一滑軌平行且對齊，各個第二拆取單元的第一滑軌平行且對齊，且第一拆取單元的第一滑軌和第二拆取單元的第一滑軌相對于承重桿左右對稱布置，第一拆取單元的第一滑軌和第二拆取單元的第一滑軌在垂直方向上部分重合。
[0009]優選地，第一拆取單元的第一滑軌設置在承重桿上并偏設在承重桿的左側位置，第二拆取單元的第一滑軌設置在承重桿上并偏設在承重桿的右側位置，
[0010]當第一拆取單元中的夾爪位于承重桿左側、且第二拆取單元中的夾爪位于承重桿右側時，所述機械臂拆取夾具能夠通過平行拆取方式對硅棒進行拆取，
[0011]當第一拆取單元和第二拆取單元中的夾爪位于第一滑軌的重合部分，且各個夾爪上下對齊時、所述機械臂拆取夾具能夠通過垂直拆取方式對硅棒進行拆取。
[0012]優選地，每個所述夾爪包括碳鋼層和料襯板，所述料襯板設置在所述碳鋼層的外表面上，所述料襯板在夾爪對硅棒進行夾持時能夠與硅棒直接接觸，所述碳鋼層為平板形狀。
[0013]優選地，所述料襯板包括第一料襯板和第二料襯板，第一料襯板和第二料襯板分別設置在所述碳鋼板的前端和后端，且第一料襯板和第二料襯板之間的距離與U型硅棒的兩個棒體之間的距離相對應。
[0014]優選地，所述碳鋼層的厚度為20mm。
[0015]優選地，所述機械臂拆取夾具還包括壓緊裝置，
[0016]所述壓緊裝置包括壓蓋，第二滑軌、以及第二氣缸；其中，所述第二滑軌沿所述承重桿的方向固定在承重桿的上端，所述壓蓋滑動連接在第二滑軌上，并且能夠沿所述第二滑軌移動，所述壓蓋的一端連接至所述第二氣缸的活塞桿，第二氣缸的氣缸體連接至承重桿，所述壓蓋能夠沿承重桿的方向上下移動，從而對機械臂拆取夾具拆取的硅棒進行壓緊操作。
[0017]優選地，所述機械臂拆取夾具還包括托起裝置，
[0018]所述托起裝置包括托抓，支撐塊、以及第三氣缸；其中，所述托抓固定在承重桿的下端，所述第三氣缸的氣缸體連接至托抓，所述第三氣缸的活塞桿連接至支撐塊；
[0019]所述托抓包括并排設置的三個U形架，三個U形架連為一體，相鄰的U形架共用U形側部的分支，其中，三個U形架的寬度相同，中間的U形架的深度Dl大于兩側的U形架的深度D2，當所述機械臂拆取夾具通過垂直拆取方式對硅棒進行拆取時，使用中間的U形架能夠托住硅棒的前側棒體和后側棒體的底部，當所述機械臂拆取夾具通過水平拆取方式對硅棒進行拆取時，使用兩側的U形架能夠分別托住硅棒的左側和右側的底部。
[0020]優選地，中間的U形架的深度Dl為325mm，兩側的二個U形架的深度D2 —致，為130mm,三個U形架的寬度為90_。
[0021]優選地，所述第一驅動裝置具體為第一氣缸，每個夾爪對件中，相對設置的兩個夾爪中的一個連接至第一氣缸的氣缸體，另一個連接至第一氣缸的活塞桿，以使得相對設置的兩個夾爪能夠進行開合運動。
[0022]本實用新型的有益效果包括:
[0023]本實用新型中，通過對拆取單元中的滑軌進行設置，使得夾爪的移動范圍較大，當夾爪移動至不同的位置時，可以對硅棒的左右側棒體進行夾持，也可以對硅棒的前后側棒體進行夾持，從而使得機械臂拆取夾具能夠以垂直方式或平行方式對硅棒進行拆取，避免了在成品多晶硅硅棒的生產過程中，需要頻繁更換夾具的情況，提高了作業的連貫性和效率，從而提聞了成品多晶娃的生廣效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1A和圖1B分別為本實用新型實施例提供的一種機械臂拆取夾具的正視圖和側視圖；
[0025]圖2為本實用新型實施例提供的機械臂拆取夾具中夾爪23的結構示意圖；
[0026]圖3為本實用新型實施例提供的一種托抓62的俯視圖。
【具體實施方式】
[0027]為使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖對本實用新型實施例提供的機械臂拆取夾具進行詳細描述。
[0028]請參閱圖1A和圖1B，分別為本實用新型實施例提供的一種機械臂拆取夾具的正視圖和側視圖，如圖1A和圖1B所示，該機械臂拆取夾具包括承重桿10，以及從上往下依次固定在所述承重桿10上的多個拆取單元20，每個所述拆取單元20包括夾爪對件22，第一滑軌26、以及第一驅動裝置28。第一滑軌26沿與承重桿10垂直的方向固定，第一滑軌26的長度方向與承重桿的長度方向垂直，所述夾爪對件22包括相對設置的兩個夾爪23，相對設置的兩個夾爪23均滑動連接在第一滑軌26上，從而能夠沿所述第一滑軌26移動，且所述相對設置的兩個夾爪23能夠在第一驅動裝置28的驅動下進行開合運動以對硅棒90的夾持部位進行夾持和松開；其中，所述第一滑軌的長度被設置為通過夾爪對件在所述第一滑軌上的移動，所述機械臂拆取夾具能夠以垂直方式或平行方式對硅棒90進行拆取。其中，硅棒90呈U型，其包括對稱設置的兩個棒體，即第一棒體和第二棒體。
[0029]本實用新型實施例中，通過對拆取單元中的第一滑軌的長度進行設置，使得相對設置的兩個夾爪的移動范圍較大，當兩個夾爪分別移動至第一滑軌26的不同的位置時，如果夾具以平行方式對硅棒進行拆取，可以分別對硅棒90的第一棒體和第二棒體進行夾持，如果夾具以垂直方向對硅棒進行拆取，則可以對硅棒90的前側棒體或后側棒體進行夾持，即本實施例中的機械臂拆取夾具能夠以垂直方式或平行方式對硅棒進行拆取，避免了在成品多晶硅硅棒的生產過程中，需要頻繁更換夾具的情況，提高了作業的連貫性和效率，從而提高了成品多晶硅的生產效率。其中，第一棒體、第二棒體、前側棒體和后側棒體是為了描述方便所定義的，只是根據硅棒90放置位置不同而采用不同的指代名稱，當平行方式拆取時，將硅棒90的兩個棒體稱為第一棒體和第二棒體，當垂直方式拆取時，根據放置位置的不同，將硅棒90的兩個棒體稱為前側棒體或后側棒體。
[0030]本實用新型實施中，優選地，所述第一驅動裝置28為第一氣缸，相對設置的兩個夾爪23中的一個連接至第一氣缸的氣缸體，另一個連接至第一氣缸的的活塞桿，以使得相對設置的兩個夾爪23能夠進行開合運動。
[0031]為了使得該機械臂拆取夾具能夠完成水平拆取和垂直拆取，將多個拆取單元中的部分拆取單元20偏設在承重桿10的左側位置(即第一滑軌的大部分長度處于承重桿的左側)，部分拆取單元20偏設在承重桿10的右側位置(即第一滑軌的大部分長度處于承重桿的右側)，為了描述方便，將設置在承重桿10兩側的拆取單元20分別稱為第一拆取單元和第二拆取單元。如圖1A和圖1B所示，多個拆取單元20具體為多個第一拆取單元30和多個第二拆取單元40，所述第一拆取單元30和第二拆取單元40從上往下交替布置，其中，各個第一拆取單元30的第一滑軌26平行且對齊，各個第二拆取單元40的第一滑軌26平行且對齊，且第一拆取單元30的第一滑軌26和第二拆取單元40的第一滑軌26相對于承重桿10左右對稱布置，第一拆取單元30的第一滑軌26和第二拆取單元40的第一滑軌26在垂直方向上部分重合。
[0032]具體地，第一拆取單元30的第一滑軌26的大部分長度設置在承重桿10上偏左的位置，第二拆取單元40的第一滑軌26的大部分長度設置在承重桿10上偏右的位置，當第一拆取單元30中的兩個夾爪23位于承重桿10左側用于夾持硅棒的第一棒體、且第二拆取單元40中的夾爪23位于承重桿10右側用于夾持硅棒的第二棒體時，所述機械臂拆取夾具能夠通過平行拆取方式對硅棒90進行拆取，當第一拆取單元30和第二拆取單元40中的夾爪23位于各個第一滑軌26 (包括全部第一拆取單元和第二拆取單元中的所有第一滑軌)在垂直方向上的互相重合部分時，且各個夾爪23上下對齊時、所述機械臂拆取夾具能夠通過垂直拆取方式對硅棒90進行拆取。
[0033]在圖1B中，以平行拆取方式為例進行了說明，其中，第一拆取單元30中的夾爪23位于承重桿10左側，從而對硅棒90的左側棒體(即第一棒體)進行夾持，第二拆取單元40中的夾爪23位于承重桿10右側時，從而對硅棒90的右側棒體(即第二棒體)進行夾持。在對硅棒90進行拆取之前，需要對第一滑軌26上的夾爪對件22的位置進行初始調節，使得第一拆取單元30中的夾爪對件22對準硅棒90的左側棒體，并使得第二拆取單元40中的夾爪對件22對準硅棒90的右側棒體。
[0034]請參閱圖2，為本實用新型實施例提供的機械臂拆取夾具中夾爪23的結構示意圖，如圖2所示，每個所述夾爪23包括碳鋼層232和料襯板234，所述料襯板234設置在所述碳鋼層的外表面上，所述料襯板234在夾爪23對硅棒90進行夾持時與硅棒90直接接觸，所述碳鋼層232為平板形狀。其中，碳鋼層232的強度較大，能夠提供足夠的夾持力，同時，碳鋼層232設置為平板形狀，厚度較小；料襯板234與硅棒90直接接觸，料襯板234的材質相對碳鋼層232來說較軟，且其性質穩定，采用不易沾污硅棒90的材料制成，從而在拆取的操作過程中不會對硅棒90造成污染。
[0035]為了使得夾爪23在垂直拆取和平行拆取方式下都能夠實現有效地夾持，可以對夾爪23上料襯板的位置進行改進。具體的，所述料襯板234包括第一料襯板235和第二料襯板236，第一料襯板235設置在所述碳鋼板232的前端，第二料襯板236設置在所述碳鋼板232的后端。其中，前端是指夾爪23連接在第一滑軌26上時遠離所述承重桿10上的一端，后端是指夾爪23連接在第一滑軌26上時靠近所述承重桿10上的一端。相對于現有的拆卸夾具，該夾爪23中，在碳鋼層232上的兩個位置區域設置有料襯板，并通過使料襯板與硅棒90接觸，從而能夠更有效的避免硅棒90和碳鋼層232之間的直接接觸，并增大了料襯板的面積，通過對料襯板層的位置和面積進行了設置，提高了料襯板在拆卸硅棒過程中的適配性。最大限度的避免了在多晶硅拆卸過程中引入外界雜質的可能性。
[0036]此外，第一料襯板235和第二料襯板236的相對位置被設置為:在對硅棒進行平行拆取時，夾爪23的第一料襯板235 (前端的料襯板)對硅棒的左側棒體或者右側棒體進行夾持；在對娃棒進行垂直拆取時，對于每個拆取單兀20,夾爪23的第一料襯板235 (前端的料襯板)夾持硅棒90的前側棒體，夾爪23第二料襯板236 (后端的料襯板)夾持硅棒90的后側棒體，也就是說，對于夾爪對件22，夾爪23上的第一料襯板235和第二料襯板236之間的距離與U型硅棒的兩個棒體之間的距離相對應，以使得第一料襯板235和第二料襯板236能夠分別對前側棒體和后側棒體進行夾持，從而實現夾爪對件22能夠同時夾持硅棒90的前側棒體和后側棒體。
[0037]如圖2所示,優選地,所述碳鋼層232的厚度LI為15?25mm,進一步地,所述碳鋼層232的厚度LI為20mm。通過將碳鋼層232設置為平板形狀，且通過對碳鋼層232的厚度LI進行選取，可以使得碳鋼層232在提供足夠的夾持力的同時，保持其厚度較小，從而使得機械臂拆取夾具在操作的過程中，夾爪能夠快速、方便的尋找到夾持空間而不碰撞到其他娃棒，提聞了拆取的成功率并且降低了污染娃棒的風險，從而最終提聞了娃棒生廣的生廣效率。
[0038]如圖1A和圖1B所示，所述機械臂拆取夾具還包括壓緊裝置50，所述壓緊裝置包括壓蓋52，第二滑軌54、以及第二氣缸56 ;其中，所述第二滑軌54沿所述承重桿10的方向固定在承重桿10的上端，第二滑軌54的長度方向與承重桿的長度方向平行，所述壓蓋52滑動連接在第二滑軌54上，并且能夠沿所述第二滑軌54移動，所述壓蓋52的一端連接至所述第二氣缸56的活塞桿，第二氣缸56的氣缸體連接至承重桿10，所述壓蓋52能夠沿承重桿10的方向上下移動，從而對機械臂拆取夾具所拆取的硅棒90沿硅棒的軸向進行壓緊操作。
[0039]如圖1A和圖1B所示,所述機械臂拆取夾具還包括托起裝置60,所述托起裝置包括托抓62，支撐塊64、以及第三氣缸66 ;其中，所述托抓62固定在承重桿10的下端，第三氣缸66的氣缸體連接至托抓62，第三氣缸66的活塞桿連接至支撐塊。下面對托抓62的結構進行詳細說明。
[0040]請參閱圖3，為本實用新型實施例提供的一種托抓62的俯視圖。如圖3所示，所述托抓62包括并排設置的三個U形架，三個U形架連為一體，相鄰的兩U形架共用U形架側部的分支，其中，三個U形架的寬度W相同，中間的U形架的深度DI大于兩側的U形架的深度D2，當所述機械臂拆取夾具通過垂直拆取方式對硅棒90進行拆取時，使用中間的U形架托住硅棒90的前側棒體和后側棒體的底部，當所述機械臂拆取夾具通過平行拆取方式對娃棒90進行拆取時,使用兩側的U形架分別托住娃棒90的左側棒體和右側棒體的底部。優選地，U形架的寬度W為70?120mm，進一步地，U形架的寬度W為90mm。優選地，中間的U形架的深度Dl為275?3755mm，兩側的U形架的深度D2為100?150mm ;進一步優選地，中間的U形架的深度Dl為325mm，兩側的U形架的深度D2為130mm。
[0041]需要說明的是，本實用新型實施例中，夾具的尺寸以及托抓62的尺寸均是根據硅棒的尺寸進行設計，以使得夾具在垂直和平行兩種拆取方式下對硅棒進行有效地夾持，使得托抓62能夠在垂直和平行兩種拆取方式下對硅棒進行有效地拖動取出。
[0042]優選地，所述拆取單元的數目為6組。其中，第一拆取單元30的數目為3個，和第二拆取單元40的數目為3個。
[0043]下面對本實用新型實施例提供的機械臂拆取夾具的操作過程進行說明。
[0044]在需要對硅棒進行平行拆取時，對各個拆取單元20中的第一滑軌26上夾爪對件22的位置進行初始調節，以使得第一拆取單元30中的夾爪對件22對準硅棒90的左側棒體，第二拆取單元40中的夾爪對件22對準硅棒90的右側棒體，將機械臂拆取夾具從垂直方向插向硅棒90，使得硅棒90的左側棒體位于第一拆取單元30中的兩個夾爪23的中間，使得硅棒90的右側棒體位于第二拆取單元40中的兩個夾爪23的中間，使得托抓62的上表面緊貼硅棒90的下端，通過操縱氣體通路控制閥(氣體通路與機械臂拆取夾具中的氣缸相連接)，使得第一拆取單元30中的夾爪對件22夾緊硅棒90的左側棒體，第二拆取單元40中的夾爪對件22夾緊硅棒90的右側棒體、壓緊裝置50中的壓蓋向下移動與硅棒的上端部接觸，并將硅棒90沿垂直方向壓緊，通過操縱氣體通路控制閥，使得支撐塊向下伸出，從而將夾持硅棒90的機械臂拆取夾具向上托起，使得硅棒90與爐臺分離。
[0045]在需要對娃棒進行垂直拆取時，對各個拆取單兀20中的第一滑軌26上夾爪對件22的位置進行初始調節，以使得第一拆取單元30和第二拆取單元40中的夾爪對件22均對準娃棒90,將機械臂拆取夾具從垂直方向插向娃棒90,使得娃棒90位于各個拆取單兀的兩個夾爪23的中間，使得托抓62的上表面緊貼硅棒90的下端，通過操縱氣體通路控制閥(氣體通路與機械臂拆取夾具中的氣缸相連接)，使得各個拆取單元20中的夾爪對件22同時夾緊硅棒90的前側棒體和后側棒體，壓緊裝置50中的壓蓋向下移動與硅棒的上端部接觸，并將硅棒90沿垂直方向壓緊，通過操縱氣體通路控制閥，使得支撐塊向下伸出，從而將夾持硅棒90的機械臂拆取夾具向上托起，使得硅棒90與爐臺分離。
[0046]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種機械臂拆取夾具，用于硅棒的拆取，其特征在于，所述機械臂拆取夾具包括承重桿，以及從上往下依次固定在所述承重桿上的多個拆取單元，每個所述拆取單元包括夾爪對件，第一滑軌、以及第一驅動裝置；第一滑軌的長度方向沿與承重桿垂直的方向設置，所述夾爪對件包括相對設置的兩個夾爪，相對設置的兩個夾爪均滑動連接在第一滑軌上，并且能夠沿所述第一滑軌移動，且所述相對設置的兩個夾爪能夠在第一驅動裝置的驅動下進行開合運動以對硅棒進行夾持和松開；其中，所述第一滑軌的長度被設置為通過夾爪對件在所述第一滑軌上的移動，所述機械臂拆取夾具能夠以垂直方式或平行方式對硅棒進行拆取。
2.如權利要求1所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，所述多個拆取單元具體包括多個第一拆取單元和多個第二拆取單元，所述第一拆取單元和第二拆取單元在承重桿上從上往下交替布置，其中，各個第一拆取單元的第一滑軌平行且對齊，各個第二拆取單元的第一滑軌平行且對齊，且第一拆取單元的第一滑軌和第二拆取單元的第一滑軌相對于承重桿左右對稱布置，第一拆取單元的第一滑軌和第二拆取單元的第一滑軌在垂直方向上部分重口 ο
3.如權利要求2所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，第一拆取單元的第一滑軌設置在承重桿上并偏設在承重桿的左側位置，第二拆取單元的第一滑軌設置在承重桿上并偏設在承重桿的右側位置， 當第一拆取單元中的夾爪位于承重桿左側、且第二拆取單元中的夾爪位于承重桿右側時，所述機械臂拆取夾具能夠通過平行拆取方式對硅棒進行拆取， 當第一拆取單元和第二拆取單元中的夾爪位于第一滑軌的重合部分，且各個夾爪上下對齊時、所述機械臂拆取夾具能夠通過垂直拆取方式對硅棒進行拆取。
4.如權利要求1所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，每個所述夾爪包括碳鋼層和料襯板，所述料襯板設置在所述碳鋼層的外表面上，所述料襯板在夾爪對硅棒進行夾持時能夠與硅棒直接接觸，所述碳鋼層為平板形狀。
5.如權利要求4所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，所述料襯板包括第一料襯板和第二料襯板，第一料襯板和第二料襯板分別設置在所述碳鋼板的前端和后端，且第一料襯板和第二料襯板之間的距離與U型硅棒的兩個棒體之間的距離相對應。
6.如權利要求4所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，所述碳鋼層的厚度為20mm。
7.如權利要求1所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，所述機械臂拆取夾具還包括壓緊裝置， 所述壓緊裝置包括壓蓋，第二滑軌、以及第二氣缸；其中，所述第二滑軌沿所述承重桿的方向固定在承重桿的上端，所述壓蓋滑動連接在第二滑軌上，并且能夠沿所述第二滑軌移動，所述壓蓋的一端連接至所述第二氣缸的活塞桿，第二氣缸的氣缸體連接至承重桿，所述壓蓋能夠沿承重桿的方向上下移動，從而對機械臂拆取夾具拆取的硅棒進行壓緊操作。
8.如權利要求1所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，所述機械臂拆取夾具還包括托起裝置， 所述托起裝置包括托抓，支撐塊、以及第三氣缸；其中，所述托抓固定在承重桿的下端，所述第三氣缸的氣缸體連接至托抓，所述第三氣缸的活塞桿連接至支撐塊； 所述托抓包括并排設置的三個U形架，三個U形架連為一體，相鄰的U形架共用U形側部的分支，其中，三個U形架的寬度相同，中間的U形架的深度Dl大于兩側的U形架的深度D2，當所述機械臂拆取夾具通過垂直拆取方式對硅棒進行拆取時，使用中間的U形架能夠托住硅棒的前側棒體和后側棒體的底部，當所述機械臂拆取夾具通過水平拆取方式對硅棒進行拆取時，使用兩側的U形架能夠分別托住硅棒的左側和右側的底部。
9.如權利要求8所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，中間的U形架的深度Dl為325mm，兩側的二個U形架的深度D2 —致，為130mm，三個U形架的寬度為90mm。
10.如權利要求1所述的機械臂拆取夾具，其特征在于，所述第一驅動裝置具體為第一氣缸， 每個夾爪對件中，相對設置的兩個夾爪中的一個連接至第一氣缸的氣缸體，另一個連接至第一氣缸的活塞桿，以使得相對設置的兩個夾爪能夠進行開合運動。
【文檔編號】C01B33/035GK204057975SQ201420471518
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2014年8月20日 優先權日:2014年8月20日
【發明者】梁立剛, 何永健, 鄒分紅, 蔣建武, 趙志林, 王文 申請人:新特能源股份有限公司