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一種碳化硅單晶爐用監控系統的制作方法

文檔序號:12394052閱讀:393來源:國知局

本實用新型涉及一種監控系統,具體涉及一種單晶爐用監控系統。



背景技術:

目前,在碳化硅單晶爐上還沒有比較穩定、控制精確的監控系統,一般都是比較單一的功能模塊,不能滿足高要求使用場合。



技術實現要素:

發明目的:本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足,提供一種控制精確,運行平穩的碳化硅單晶爐用監控系統。

技術方案:為了解決上述技術問題,本實用新型所述的一種碳化硅單晶爐用監控系統,它包括主控制器,在所述主控制器一側連接設有壓力模塊和溫度模塊,它們與報警模塊相連,所述報警模塊與故障定位模塊相連,所述故障定位模塊與主控制器相連,在所述主控制器另一側連接設有遠程控制模塊和顯示模塊。

在所述主控制器上連接設有能耗計量模塊。

所述主控制器與備用控制器相連。

有益效果:本實用新型與現有技術相比,其顯著優點是:本實用新型整體結構設置合理,設置主控制器和備用控制器,確保整體運行平穩可靠, 壓力模塊、溫度模塊與報警模塊相連,壓力和溫度的異常可以及時報警提示,故障定位模塊可以快速尋找并且定位故障位置,方便工作人員解決故障,設置遠程控制模塊,可以實現遠程操控,設置能耗計量模塊,可以有效節約能耗,本系統控制精確,可以滿足各種使用要求。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。

如圖1所示,本實用新型所述的一種碳化硅單晶爐用監控系統,它包括主控制器1,在所述主控制器1一側連接設有壓力模塊2和溫度模塊3,它們與報警模塊4相連,所述報警模塊4與故障定位模塊5相連,所述故障定位模塊5與主控制器1相連,在所述主控制器1另一側連接設有遠程控制模塊6和顯示模塊7;在所述主控制器1上連接設有能耗計量模塊8;所述主控制器1與備用控制器9相連。本實用新型整體結構設置合理,設置主控制器和備用控制器,確保整體運行平穩可靠, 壓力模塊、溫度模塊與報警模塊相連,壓力和溫度的異常可以及時報警提示,故障定位模塊可以快速尋找并且定位故障位置,方便工作人員解決故障,設置遠程控制模塊,可以實現遠程操控,設置能耗計量模塊,可以有效節約能耗,本系統控制精確,可以滿足各種使用要求。

本實用新型提供了一種思路及方法,具體實現該技術方案的方法和途徑很多,以上所述僅是本實用新型的優選實施方式,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍,本實施例中未明確的各組成部分均可用現有技術加以實現。

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