一種快速沉積單晶爐用炭炭導流筒的裝置的制作方法

本實用新型涉及一種沉積炭炭導流筒的裝置，尤其涉及一種快速沉積單晶爐用炭炭導流筒的裝置。

背景技術：

導流筒是單晶硅拉制爐熱場系統的關鍵元件之一，主要用于控制熱場的溫度梯度和引導氬氣流。傳統的石墨導流筒因其保溫效果差，力學性能偏低，使用壽命短，成型難，耗材多等問題，逐漸被炭炭材料的導流筒所取代。

炭炭導流筒是由碳纖維編制的預制體經過氣相沉積增密，高溫純化，精密加工制備而來的。其中氣相沉積增密過程是影響炭炭導流筒制備時間長短和產品質量的主要因素，但是由于炭炭導流筒預制體的厚度一般比較大，形狀也多樣，裝爐方式隨意，進氣的方式又受限，因而導致氣相沉積的過程往往周期長，沉積增密的效果差，增密不均勻。

技術實現要素：

本實用新型針對現有技術中炭炭導流筒沉積增密過程中存在的不足，提供一種快速沉積單晶爐用炭炭導流筒的裝置。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：

一種快速沉積單晶爐用炭炭導流筒的裝置，包括沉積室本體，沉積室本體由石墨材料制成，沉積室本體的底面上設有進氣口，沉積室本體的頂部用石墨蓋板進行封閉，石墨蓋板上設有出氣口，沉積室的底面上設有若干石墨支柱，沉積室腔體內設有從下而上均勻布設的若干水平石墨圓板，除最頂部的石墨圓板外，每個石墨圓板的中心均設有圓孔，且石墨圓板的外徑小于沉積室的內徑，最底部的石墨圓板下方由石墨支柱支撐，石墨圓板的上方用于放置炭炭導流筒，沉積室的中部設有貫穿石墨圓板中心圓孔的豎向進氣管，豎向進氣管由與石墨圓板數目相同的若干進氣管節組成，每個進氣管節的側壁上均設有多個出氣孔。

本實用新型的有益效果是：

1)使用本實用新型的裝置后，碳源氣體由炭炭導流筒的內部至外部進行滲透，提高了碳源氣體的有效利用率和沉積增密效率，同時能確保橫、縱向炭炭導流筒密度的均勻性，使得沉積過程的周期短，沉積增密的效果好，沉積均勻；

2)設計合理，操作簡單，裝爐方式統一有序，使用效果好；

3)適用范圍廣，適用于多種不同形狀的需沉積增密的炭炭復合材料產品。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。

進一步，所述石墨圓板的上表面設有用于支撐炭炭導流筒的石墨墊塊。

采用上述進一步技術方案的有益效果是，由于石墨墊塊的支撐，使得整個導流筒的沉積氛圍更加均勻，沉積效果更好。

進一步，所述石墨圓板的外徑比沉積室的內徑小4-6cm。

采用上述進一步技術方案的有益效果是，能夠使氣流更好的擴散和流通，沉積效果更好。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的裝置結構示意圖；

圖1中，1、沉積室本體；2、進氣口；3、石墨蓋板；4、出氣口；5、石墨支柱；6、石墨圓板；7、圓孔；8、炭炭導流筒；9、豎向進氣管；10、出氣孔；11、石墨墊塊

具體實施方式

以下結合實例對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。

一種快速沉積單晶爐用炭炭導流筒的裝置，如圖1所示，包括沉積室本體1，沉積室本體由石墨材料制成，沉積室本體的底面上設有進氣口2，沉積室本體的頂部用石墨蓋板3進行封閉，石墨蓋板上設有出氣口4，沉積室的底面上設有若干石墨支柱5，沉積室腔體內設有從下而上均勻布設的4個水平石墨圓板6，除最頂部的石墨圓板外，每個石墨圓板的中心均設有圓孔7，且石墨圓板的外徑比沉積室的內徑小4-6cm，最底部的石墨圓板下方由石墨支柱支撐，石墨圓板的上方設有石墨墊塊11，石墨墊塊用于支撐炭炭導流筒8，沉積室的中部設有貫穿石墨圓板中心圓孔的豎向進氣管9，豎向進氣管由4組進氣管節組成，每個進氣管節的側壁上均設有多個出氣孔10。

上述裝置在使用過程中，氣體由進氣口進入豎向進氣管，經預熱后從豎向進氣管的側向孔洞中流出到需致密炭炭導流筒的內部空間，進行內部反應滲透或沿炭炭導流筒的內壁流出到外側，最后由出氣口排出廢氣。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。