一種硅烷類產品的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發明屬于硅烷類產品制造技術領域，尤指一種全面制程全回收副產品再使用之 硅烷類產品制造方法。
【背景技術】
[0002] 在微電子產品制造過程，娃用W隔離電子精密組件中各導電層。由于組件，例如巧 片，一再追求精密度，規格設計越來越細，從微米級進步到納米級，所W娃隔離層已經無法 用機械方法切割形成，而必須用氣相層積法形成，所W硅烷類的使用形成必須之材料。
[0003] 傳統的娃甲燒制備方法至少有兩種。一種是娃儀法，或稱小松法，W娃粉及儀粉為 初始材料，先合成娃化儀，Si+2Mg-----^MgsSi。再W娃化儀與氯化氨依用量比例反應，在 液氨的環境下，生成娃甲燒氣相及六氨氯化儀固相殘渣，反應式為：
[0004]
【主權項】
1. 一種硅烷類產品的制造方法，包含以下步驟： A、 以娃粉和儀粉在催化劑存在下生成娃化儀； Si+2Mg--------Mg2Si 催化劑 B、 以硅化鎂與氯化氨反應，在液氨及催化劑存在下生成硅烷類氣體及六氨氯化鎂，反 應式為： NH3 Mg2Si+NH4Cl------------------SinHm+MgCl2 ?6NH3 催化劑 其中m=2n+2 C、 將六氨氯化鎂通過分離反應得到氯化鎂和液氨； MgCl2 ?6NH3------------MgCl2+6NH3 D、 將氯化鎂經電解而生成鎂粉及氯氣； MgCl2---------Mg+Cl2 E、 將步驟D的氯氣與步驟C的液氨反應生成氯化氨，將得到的氯化氨用于步驟B中使 用， Cl2+H2--------- 2HC1 NH3+HCI--------NH4Cl 〇
2. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟B的催化劑為選自鋁鹽、鋅鹽、鎊 鹽、貴金屬鹽之一或其多種混合物。
3. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述貴金屬鹽為鉑鹽。
4. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，將步驟B得到的硅烷類氣體降溫 到-60°C至-120°C，分離出硅丙烷；再降溫到-120°C至-170°C，分離出硅乙烷：然后再降溫 到-170°C至_240°C，分離出硅甲烷。
5. 根據權利要求4所述的方法，其特征在于，將硅甲烷升溫至-170°C以上，使硅甲烷從 液相變成氣相，然后再降溫，于_180°C至_220°C溫度中得到高純度硅甲烷；將硅乙烷升溫 至-120°C以上，使硅乙烷從液相變成氣相，然后再降溫，于_130°C至_160°C溫度中得到高 純度硅乙烷；將硅丙烷升溫至-60°C以上，使硅丙烷從液相變成氣相，然后再降溫，于_70°C 至-IKTC溫度中得到高純度硅丙烷。
6. 根據權利要求4或5所述的方法，其特征在于，將硅甲烷、硅乙烷、硅丙烷通過分子篩 進行純化。
7. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟C得到的液氨用于步驟B中使用。
8. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟D得到的鎂粉用于步驟A中使用。
【專利摘要】一種硅烷類產品的制造方法，包含以下步驟：A、以硅粉和鎂粉在催化劑存在下生成硅化鎂；B、以硅化鎂與氯化氨反應，在液氨及催化劑存在下生成硅烷類氣體及六氨氯化鎂；C、將六氨氯化鎂通過分離反應得到氯化鎂和液氨；D、將氯化鎂經電解而生成鎂粉及氯氣；E、將步驟D的氯氣與步驟C的液氨反應生成氯化氨，將得到的氯化氨用于步驟B中使用。本發明方法完全在無氯及無鹵素的環境下完成，可以完全免除后續使用中對于氯及鹵素的風險，而且所有副產品及中間產品均可以回收再使用，以達環境保護之最高要求。
【IPC分類】C01B33-04
【公開號】CN104724711
【申請號】CN201510056469
【發明人】謝嵩嶽
【申請人】上海萬寅安全環保科技有限公司, 華鼎科技集團有限公司, 臺灣特品化學股份有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2015年2月2日