一種單晶硅的加熱裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種單晶硅的加熱裝置，包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩堝以及爐體，所述爐體的頂部設有封蓋，還包括用于將石英坩堝輸送至爐體內部的輸送機構，所述石英坩堝的外表面上設有多個掛鉤，所述輸送機構包括兩個相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括：動力輪，固定于爐體上方的固定滑輪，與固定滑輪以及動力輪相配合的吊繩，所述吊繩上設有與掛鉤相配合的吊環，用于驅動動力輪轉動的驅動機構。本實用新型操作方便，便于將石英坩堝放入爐體內進行加熱升溫，同時也便于從爐體中取出石英坩堝，大大提高了單晶硅的制備效率，省時省力。
【專利說明】
一種單晶硅的加熱裝置
技術領域
[0001]本實用新型屬于晶態硅生產技術領域，具體涉及一種單晶硅的加熱裝置。
【背景技術】
[0002]晶態娃分為單晶娃和多晶娃，它們均具有金剛石晶格，晶體硬而脆，具有金屬光澤，能導電，但導電率不及金屬，且隨溫度升高而增加，具有半導體性質。單晶硅在日常生活中是電子計算機、自動控制系統等現代科學技術中不可缺少的基本材料。電視、電腦、冰箱、電話、手表、汽車，處處都離不開單晶硅材料，單晶硅作為科技應用普及材料之一，已經滲透到人們生活中的各個角落。多晶硅是單質硅的一種形態。
[0003]熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅。多晶硅可作拉制單晶硅的原料，多晶硅與單晶硅的差異主要表現在物理性質方面。例如，在力學性質、光學性質和熱學性質的各向異性方面，遠不如單晶硅明顯;在電學性質方面，多晶硅晶體的導電性也遠不如單晶硅顯著，甚至于幾乎沒有導電性。
[0004]單晶硅制備時，需要先將多晶硅粉碎至適當的大小，并在硝酸和氫氟酸的混合酸液中清洗外表面，以去除可能的金屬等雜質，然后放入高純度的石英坩禍中。在填料完成后，將石英坩禍放入爐體中，并將爐體抽成一定真空，再通入一定流量和壓力的保護氣，最后給爐體加熱升溫，使得硅材料熔化。其中將石英坩禍放入爐體或是取出爐體時，較為繁瑣，比較費力。
【實用新型內容】
[0005]為了解決現有技術的問題，本實用新型提供了一種單晶硅的加熱裝置，便于將石英坩禍放入爐體內進行加熱升溫。
[0006]本實用新型的技術方案為:一種單晶硅的加熱裝置，包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩禍以及爐體，所述爐體的頂部設有封蓋，還包括用于將石英坩禍輸送至爐體內部的輸送機構，所述石英坩禍的外表面上設有多個掛鉤，所述輸送機構包括兩個相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括:
[0007]動力輪，
[0008]固定于爐體上方的固定滑輪，
[0009]與固定滑輪以及動力輪相配合的吊繩，所述吊繩上設有與掛鉤相配合的吊環，
[0010]用于驅動動力輪轉動的驅動機構。
[0011]當將石英坩禍放置于爐體內時，打開封蓋，并將石英坩禍的掛鉤掛設于吊環上，然后開啟驅動機構，驅動機構將驅動動力輪轉動，動力輪轉動的同時使得吊繩下降，直至下降至爐體內，使得石英坩禍放置于爐體內的適宜位置即可，然后將掛鉤從吊環中取出，并關閉封蓋，即可進行后續的加熱操作。當需要將石英坩禍從爐體中取出時，打開封蓋，然后將掛鉤掛在吊環上，啟動驅動機構，使得動力輪朝向相反方向轉動，即可使得吊繩上升，帶動石英坩禍上升，從而使得石英坩禍從爐體中取出。
[0012]本實用新型中驅動機構可以有多種，作為優選，所述驅動機構為電機。
[0013]作為優選，所述封蓋的一端鉸接于爐體上，另一端與爐體之間設有用于將封蓋與爐體固定連接的鎖緊機構。
[0014]作為優選，所述鎖緊機構爐體頂部的定位孔以及封蓋內側的定位柱組成。該鎖緊機構不但鎖緊牢固，而且便于打開。
[0015]作為優選，所述爐體上設有用于抽真空的出氣通道，所述出氣通道內設有第一調節閥。
[0016]作為優選，所述爐體上設有用于向爐體內部通入氣體的進氣通道，所述進氣通道內設有第二調節閥。
[0017]與現有技術相比，本實用新型的有益效果體現在:
[0018]本實用新型操作方便，便于將石英坩禍放入爐體內進行加熱升溫，同時也便于從爐體中取出石英坩禍，大大提高了單晶硅的制備效率，省時省力。
【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為本實用新型的結構不意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0022]如圖1所示，本實用新型包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩禍2以及爐體I，爐體I的頂部設有封蓋11，還包括用于將石英坩禍2輸送至爐體I內部的輸送機構，所述石英坩禍2的外表面上設有多個掛鉤21，輸送機構包括兩個相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括:
[0023]動力輪3，
[0024]固定于爐體I上方的固定滑輪4，
[0025]與固定滑輪4以及動力輪3相配合的吊繩5，吊繩5上設有與掛鉤21相配合的吊環，
[0026]用于驅動動力輪3轉動的驅動機構6。本實用新型中驅動機構可以有多種，驅動機構6為電機。
[0027]如圖1所示，封蓋11的一端鉸接于爐體I上，另一端與爐體I之間設有用于將封蓋11與爐體I固定連接的鎖緊機構。本實施例中鎖緊機構爐體I頂部的定位孔(圖中未畫出)以及封蓋11內側的定位柱111組成。該鎖緊機構I不但鎖緊牢固，而且便于打開。
[0028]如圖1所示，本實用新型爐體I上設有用于抽真空的出氣通道13，出氣通道13內設有第一調節閥。爐體I上設有用于向爐體I內部通入氣體的進氣通道14，進氣通道14內設有第二調節閥。
[0029]當將石英坩禍2放置于爐體I內時，打開封蓋11，并將石英坩禍的掛鉤21掛設于吊環上，然后開啟驅動機構6，驅動機構6將驅動動力輪3轉動，動力輪3轉動的同時使得吊繩5下降，直至下降至爐體I內，使得石英坩禍2放置于爐體I內的適宜位置即可，然后將掛鉤21從吊環中取出，并關閉封蓋，即可進行后續的加熱操作。當需要將石英坩禍2從爐體I中取出時，打開封蓋11，然后將掛鉤21掛在吊環上，啟動驅動機構6，使得動力輪朝向相反方向轉動，即可使得吊繩上升，帶動石英坩禍2上升，從而使得石英坩禍2從爐體I中取出。
[0030]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種單晶硅的加熱裝置，包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩禍(2)以及爐體(I)，所述爐體(I)的頂部設有封蓋(11)，其特征在于，還包括用于將石英坩禍(2)輸送至爐體(I)內部的輸送機構，所述石英坩禍(2)的外表面上設有多個掛鉤(21 )，所述輸送機構包括兩個相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括: 動力輪(3)， 固定于爐體(I)上方的固定滑輪(4)， 與固定滑輪(4)以及動力輪(3)相配合的吊繩(5)，所述吊繩(5)上設有與掛鉤(21)相配合的吊環， 用于驅動動力輪(3)轉動的驅動機構(6)。2.如權利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述驅動機構(6)為電機。3.如權利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述封蓋(11)的一端鉸接于爐體(I)上，另一端與爐體(I)之間設有用于將封蓋(11)與爐體(I)固定連接的鎖緊機構。4.如權利要求3所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述鎖緊機構爐體(I)頂部的定位孔以及封蓋(11)內側的定位柱(111)組成。5.如權利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述爐體(I)上設有用于抽真空的出氣通道(13)，所述出氣通道(13)內設有第一調節閥。6.如權利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述爐體(I)上設有用于向爐體(I)內部通入氣體的進氣通道(14)，所述進氣通道(14)內設有第二調節閥。
【文檔編號】C30B15/14GK205653537SQ201620458630
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2016年5月19日 公開號201620458630.8, CN 201620458630, CN 205653537 U, CN 205653537U, CN-U-205653537, CN201620458630, CN201620458630.8, CN205653537 U, CN205653537U
【發明人】李愛萍
【申請人】云南三奇光電科技有限公司