專利名稱：用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種霧化裝置，特別是涉及一種用來霧化電漿的前驅物的恒溫式
霧化裝置。
背景技術：
以往鍍膜制程中，為了將靶材中的離子轟出，需要在反應室中制造電漿，而產生電漿的前驅物有的是氣體形式，有些是液體形式，其中，液體前驅物需要經過霧化裝置的霧化才能送入反應室內。而以往用來霧化電漿前驅物的霧化裝置通常包含數個獨立的霧化模組，當電漿的前驅物被霧化后，再利用載氣(Carrier gas)送到該反應室內，將載氣通入前驅物液面下后，會將前驅物霧化為氣態，最后從出氣管出氣。以往霧化裝置的每個獨立的霧化模組雖然都可以達到霧化電漿前驅物的目的，但是在一般鍍膜的制程中，霧化液滴的載氣的流量、壓力、液滴的溫度，以及液面高度變化，都會影響鍍膜沉積的品質，前述鍍膜沉積的品質通常是指:鍍膜的均勻度、霧度、膜厚、水滴接觸角、沉積附著力等等。而以往霧化裝置的各個獨立霧化模組所儲存的液滴，很難維持相同的溫度，故對于鍍膜沉積的品質有不良的影響。
發明內容本實用新型的目的在于提供一種可以提高鍍膜沉積的品質的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置。本實用新型的恒溫式霧化裝置包含:一個恒溫基座、數個安裝在該恒溫基座上的霧化模組，以及一個恒溫控制機構。該恒溫基座包括一個供所述霧化模組安裝的架設面，以及一條控溫流道，而該恒溫控制機構提供該恒溫基座的控溫流道一個循環流體，使該恒溫基座維持在恒溫狀態。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該恒溫控制機構包括一個恒溫水箱、一個連通該恒溫水箱及該恒溫基座的控溫流道的連管單元，以及一個安裝在該連管單元上并將恒溫水箱內的流體送入該恒溫基座的控溫流道的泵。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，所述每個霧化模組都包括一個霧化室，而該恒溫基座還包括一個連通所述霧化模組的霧化室的補液流道。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該恒溫基座的補液流道位于該控溫流道及該架設面之間。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該恒溫基座的控溫流道具有兩個沿著該恒溫基座的一個長度方向延伸的主流段，以及一個連接所述主流段的連通段。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該控溫流道的所述主流段的其中之一具有一個入液口，而所述主流段的另一個具有一個出液口，該恒溫控制機構的連管單元具有一條連接在該入液口及該恒溫水箱間的第一連管，以及一條連接在該出液口及該恒溫水箱間的第二連管，而該泵裝設 在該第一連管上。[0011]本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該恒溫控制機構還包括至少一個安裝在該恒溫基座上并與該泵電連接的溫度檢知器。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該恒溫控制機構的恒溫水箱具有數個與該溫度檢知器電連接的加熱片。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該恒溫基座的控溫流道具有兩個沿著該恒溫基座的一個長度方向延伸的主流段，以及一個連接所述主流段的連通段。本實用新型所述的恒溫式霧化裝置，該恒溫式霧化裝置還包含一個將該恒溫基座包覆其中的保溫罩。本實用新型的有益效果在于:利用在該恒溫基座內部設置該控溫流道，以及該恒溫控制機構提供該控溫流道恒溫的流體，可以使該恒溫基座保持穩定的溫度，以提高鍍膜沉積的品質。
圖1是本實用新型恒溫式霧化裝置的一個第一較佳實施例的組合剖視示意圖；圖2是該第一較佳實施例的一個俯視參考示意圖；圖3是該第一較佳實施例的一個局部立體圖；圖4是一個類似圖1的組合剖視示意圖，說明本實用新型恒溫式霧化裝置的一個第二較佳實施例。
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明，在以下的說明內容中，類似的組件是以相同的編號來表示。參閱圖1、2、3，本實用新型恒溫式霧化裝置的一個第一較佳實施例適合用于鍍膜制程的領域中，并且將鍍膜制程中用來產生電漿的前驅物加以霧化，該恒溫式霧化裝置包含:一個恒溫基座1、數個左右間隔地安裝在該恒溫基座I上的霧化模組2、一個提供該恒溫基座I 一個循環流體并使該恒溫基座I維持在恒溫狀態的恒溫控制機構3，以及一個保溫罩5。本實施例的恒溫基座I是一個長條座體，并包括兩個左右間隔的側面11、一個沿著一個長度方向10設置并連接在所述側面11頂緣處的架設面12、一個與該架設面12上下平行的底面13、一條介于該架設面12及該底面13間并鄰近該架設面12的補液流道14、一個介于該架設面12及該底面13間并鄰近該底面13的控溫流道15，以及數個由該架設面12往下垂直設置并與該補液流道14連通的架設通道16。該補液流道14位于該控溫流道15及該架設面12之間。其中，該控溫流道15具有兩個沿著該長度方向10延伸設置的主流段，以及一個連接所述主流段的連通段。本實施例中，兩個主流段分別是一個第一主流段151和一個第二主流段152，連通段153銜接該第一主流段151及該第二主流段152，該第一主流段151具有一個入液口 154，而該第二主流段152具有一個出液口 155，前述入液口 154及出液口 155同時位在所述側面11的其中之一上。本實施例所述霧化模組2是分別地安裝在該恒溫基座I的所述架設通道16內，并分別包括一個界定出一個霧化室21的室壁22，該霧化室21具有一個與該恒溫基座I的補液流道14連通的補液口 211、一個位于上方的進氣口 212，以及一個往側邊分叉的出氣口213。由于本實用新型的改良與所述霧化模組2的結構無關，不再詳述霧化的原理以及所述霧化模組2的細部結構。本實施例的恒溫控制機構3包括一個恒溫水箱31、一個連接該恒溫水箱31及該恒溫基座I的控溫流道15的連管單元32、一個安裝在該連管單元32上并且將循環流體往該控溫流道15的入液口 154輸送的泵33，以及至少一個與該泵33電連接的溫度檢知器34。該連管單元32具有一條連接在該控溫流道15的入液口 154及該恒溫水箱31間的第一連管321，以及一條連接在該恒溫水箱31及該控溫流道15的出液口 155間的第二連管322，而該泵33是裝設在該第一連管321上。又本實施例該恒溫水箱31具有數片加熱片311，所述加熱片311與所述溫度檢知器34及該泵33電連接，目的在于控制該恒溫基座I的溫度，較佳地，該恒溫基座I的溫度可以控制在20-70°C，但前述恒溫基座I的較佳溫度范圍與前驅物的種類有關，并不以前述舉例的溫度為限。而所述溫度檢知器34是間隔地安裝在該恒溫基座I上，用以檢測該恒溫基座I的前段、中段及后段的溫度。本實施例該保溫罩5包覆在該恒溫基座I的外周圍，使該恒溫基座I具有較佳的保溫效果。本實施例的恒溫式霧化裝置在使用時，電漿前驅物由該恒溫基座I的補液流道14送入，由于該補液流道14與所述霧化模組2的霧化室21連通，因此，可以讓每個霧化模組2的霧化室21內的水位等高。在此同時，所述溫度檢知器34會感測該恒溫基座I的實際溫度，并且藉由恒溫控制機構3控制驅動該泵33作動，將經過加熱器311加熱的流體送入該恒溫基座I的控溫流道15，如此源源不斷的提供恒溫的循環流體，加上該保溫罩5的保溫作用，可以使該恒溫基座I的溫度穩定地維持在設定值，以改善霧化的品質，并因此提高鍍膜沉積的品質。參閱圖4，本實用新型恒溫式霧化裝置的第一較佳實施例在補充液態的前驅物時，是以連通所述霧化模組2的霧化室21為手段，而本實用新型霧化裝置的一個第二較佳實例是一種可阻隔流道的設計，也就是說，該第二較佳實施例除了包含第一較佳實施例的所有組件外，還包含兩個左右設置的流路阻斷機構4，每個流路阻斷機構4都包括一支安裝在該恒溫基座I的補液流道14內的閥桿41，以及一個驅動該閥桿41在一個補液位置及一個關閉位置間轉換的動力源42，通過該閥桿41的桿徑變化以及該補液流道14的內徑的變化，來達到阻斷所述霧化模組2的霧化室21的目的。但本實用新型在設計上，只要可以讓該恒溫基座I維持在設定的溫度范圍內，就可以達到本實用新型的創作目的，故本實用新型該恒溫式霧化裝置并不以具有該補液流道14，以及該流路阻斷機構4為必要。由以上說明可知，本實用新型通過該恒溫基座I上設置的該控溫流道15，以及該恒溫控制機構3的配合，確實可以讓流入該恒溫基座I的補液流道14的流體維持在恒溫狀態，由于將要被 霧化的流體的溫度會影響鍍膜沉積的品質，因此，本實用新型該霧化裝置的設計不但結構新穎，還具有提高鍍膜沉積品質的功效。
權利要求1.一種用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，包含:一個包括一個架設面的恒溫基座，以及數個安裝在該恒溫基座的架設面上的霧化模組；其特征在于: 該恒溫基座還包括一條控溫流道，而該霧化裝置還包含一個提供該恒溫基座的控溫流道一個循環流體，并使該恒溫基座維持在恒溫狀態的恒溫控制機構。
2.根據權利要求1所述 的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該恒溫控制機構包括一個恒溫水箱、一個連通該恒溫水箱及該恒溫基座的控溫流道的連管單元，以及一個安裝在該連管單元上并將恒溫水箱內的流體送入該恒溫基座的控溫流道的栗。
3.根據權利要求2所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:所述每個霧化模組都包括一個霧化室，而該恒溫基座還包括一個連通所述霧化模組的霧化室的補液流道。
4.根據權利要求3所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該恒溫基座的補液流道位于該控溫流道及該架設面之間。
5.根據權利要求4所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該恒溫基座的控溫流道具有兩個沿著該恒溫基座的一個長度方向延伸的主流段，以及一個連接所述主流段的連通段。
6.根據權利要求5所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該控溫流道的所述主流段的其中之一具有一個入液口，而所述主流段的另一個具有一個出液口，該恒溫控制機構的連管單元具有一條連接在該入液口及該恒溫水箱間的第一連管，以及一條連接在該出液口及該恒溫水箱間的第二連管，而該泵裝設在該第一連管上。
7.根據權利要求6所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該恒溫控制機構還包括至少一個安裝在該恒溫基座上并與該泵電連接的溫度檢知器。
8.根據權利要求7所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該恒溫控制機構的恒溫水箱具有數個與該溫度檢知器電連接的加熱片。
9.根據權利要求1所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該恒溫基座的控溫流道具有兩個沿著該恒溫基座的一個長度方向延伸的主流段，以及一個連接所述主流段的連通段。
10.根據權利要求1至9中任一項所述的用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，其特征在于:該恒溫式霧化裝置還包含一個將該恒溫基座包覆其中的保溫罩。
專利摘要一種用于霧化電漿前驅物的恒溫式霧化裝置，包含一個恒溫基座、數個安裝在該恒溫基座上的霧化模組，以及一個恒溫控制機構。該恒溫基座包括一個供所述霧化模組架設的架設面，以及一條控溫流道，而該恒溫控制機構提供該恒溫基座的控溫流道一個循環流體，使該恒溫基座維持在恒溫狀態。利用在該恒溫基座內部設置該控溫流道，以及該恒溫控制機構提供該控溫流道恒溫的流體，可以提高鍍膜沉積的品質。
文檔編號B05B9/03GK203140201SQ201320098809
公開日2013年8月21日 申請日期2013年3月5日 優先權日2013年3月5日
發明者黃保誠, 江明俊, 黃國政, 簡谷衛, 吳清吉 申請人:北儒精密股份有限公司