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一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法

文檔序號:3714881閱讀:488來源:國知局
一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法
【專利摘要】本發明涉及蝕刻液【技術領域】,具體涉及一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法,每升蝕刻液由以下原料組成:鹽酸180-220mL、磷酸二氫鈉5-20g、氫氟酸70-90mL、雙氧水40-50mL、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑3-7mL、氯代十六烷基吡啶0.1-1mL、余量為水。本發明采用氫氟酸和雙氧水取代了三氯化鐵,無需經常更換蝕刻液,不僅節約資源而且減少對環境產生的污染,同時本發明并加入了具有緩釋效果的氯代十六烷基吡啶和磷酸二氫鈉與鹽酸、氫氟酸、雙氧水配合使用,蝕刻穩定蝕刻速度適中、蝕刻均勻,蝕刻后的電極圖形邊緣整齊,基本無側蝕現象。
【專利說明】一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法

【技術領域】
[0001]本發明涉及蝕刻液【技術領域】,具體涉及一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法。

【背景技術】
[0002]隨著信息技術和平面顯示技術的迅速發展,觸摸屏的應用越來越普遍。大到公共場所的信息查詢系統,小到個人電腦、平板電腦、手機,觸摸屏和我們的生活息息相關。觸摸屏用的銦錫氧化物(ITO)導電膜具有電阻率低,透光性好,高溫穩定性好及制備和圖形加工工藝簡單等諸多優點,是一種理想的透明電極材料,被廣泛應用于IXD、PDP, FED、OLED/PLED等平板顯示器上作為透明電極。
[0003]為制備所需要的電極圖形,就要對ITO導電膜進行蝕刻。蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻液的選擇是非常重要的,它所以重要是因為它在印制電路板制造工藝中直接影響高密度細導線圖像的精度和質量。
[0004]在現有技術中常用的ITO蝕刻液主要由鹽酸或硝酸、FeC13、純水和添加劑,經攪拌混勻過濾制得,但該蝕刻液蝕刻速度快,側面蝕刻量大,蝕刻液不穩定,難以控制蝕刻角度和金屬層的蝕刻量,而且由于蝕刻液中含有FeC13,需要經常更換蝕刻液,不僅造成資源的浪費,而且造成環境的污染。


【發明內容】

[0005]本發明的目的在于針對現有技術的不足,提供一種蝕刻速度適中、蝕刻均勻,蝕刻穩定、無需經常更換的觸摸屏用蝕刻液及其制備方法。
[0006]為了實現上述目的,本發明采用如下技術方案:一種觸摸屏用蝕刻液,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸180-220 mL
磷酸二氫鈉 5-20g
氫氟酸70-90 mL
雙氧水40-50mL
氯代十六烷基吡啶0.1-1 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-7 mL
余量為水。
[0007]優選的,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸180-200 mL
磷酸二氫鈉 5-10g
氫氟酸70-80 mL
雙氧水40-45mL
氯代十六烷基吡啶0.1-0.5 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-5 mL 余量為水。
[0008]另一優選的,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸200-220 mL
磷酸二氫鈉 10-20g
氫氟酸80-90 mL
雙氧水45-50mL
氯代十六烷基吡啶0.5-1 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5-7 mL
余量為水。
[0009]更為優選的,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸200 mL
磷酸二氫鈉 1g 氫氟酸80 mL
雙氧水45mL
氯代十六烷基吡啶0.5mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5 mL 余量為水。
[0010]所述鹽酸的質量百分比濃度為38%,所述氫氟酸的質量百分比濃度為36%,所述雙氧水的質量百分比濃度為30%。
[0011]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法,它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水,得到磷酸二氫鈉水溶液,備用;
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻,然后加入純水,定容至1L,即得觸摸屏用蝕刻液。
[0012]本發明與現有技術相比較,有益效果在于:
本發明采用氯代十六烷基吡啶作為陽離子表面活性劑,防止蝕刻過程中產生泡沫,本發明采用氫氟酸和雙氧水取代了三氯化鐵,無需經常更換蝕刻液,不僅節約資源而且減少對環境產生的污染,同時本發明并加入了具有緩釋效果的4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑和磷酸二氫鈉與鹽酸、氫氟酸、雙氧水配合使用,蝕刻穩定蝕刻速度適中、蝕刻均勻,蝕刻后的電極圖形邊緣整齊,基本無側蝕現象。

【具體實施方式】
[0013]下面結合實施例對本發明作進一步的說明。
[0014]實施例1
[0015]一種觸摸屏用蝕刻液,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸180mL
磷酸二氫鈉 5g 氫氟酸70 mL
雙氧水40mL
氯代十六烷基吡啶0.1 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3mL 余量為水。
[0016]所述鹽酸的質量百分比濃度為38%,所述氫氟酸的質量百分比濃度為36%,所述雙氧水的質量百分比濃度為30%。
[0017]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法,它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水,得到磷酸二氫鈉水溶液,備用;
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻,然后加入純水,定容至1L,即得觸摸屏用蝕刻液。
[0018]本實施例蝕刻液在溫度25°C、浸潰時間25min的條件下,蝕刻的產品蝕刻角度為45.6,且基本無側蝕現象。
[0019]實施例2
[0020]一種觸摸屏用蝕刻液,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸200 mL
磷酸二氫鈉 1g
氫氟酸80 mL
雙氧水45mL
氯代十六烷基吡啶0.5mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5mL
余量為水。
[0021]所述鹽酸的質量百分比濃度為38%,所述氫氟酸的質量百分比濃度為36%,所述雙氧水的質量百分比濃度為30%。
[0022]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法,它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水,得到磷酸二氫鈉水溶液,備用;
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻,然后加入純水,定容至1L,即得觸摸屏用蝕刻液。
[0023]本實施例蝕刻液在溫度30°C、浸潰時間20min的條件下,蝕刻的產品蝕刻角度為49.8,且基本無側蝕現象。
[0024]實施例3
[0025]一種觸摸屏用蝕刻液,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸190mL
磷酸二氫鈉 Hg
氫氟酸82 mL
雙氧水46mL
氯代十六烷基吡啶0.8 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑6mL
余量為水。
[0026]所述鹽酸的質量百分比濃度為38%,所述氫氟酸的質量百分比濃度為36%,所述雙氧水的質量百分比濃度為30%。
[0027]—種觸摸屏用蝕刻液的制備方法,它包括以下制備步驟: A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水,得到磷酸二氫鈉水溶液,備用;
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻,然后加入純水,定容至1L,即得觸摸屏用蝕刻液。
[0028]本實施例蝕刻液在溫度25°C、浸潰時間25min的條件下,蝕刻的產品蝕刻角度為56.4,且基本無側蝕現象。
[0029]實施例4
[0030]一種觸摸屏用蝕刻液,每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸220 mL
磷酸二氫鈉 20g
氫氟酸90 mL
雙氧水50mL
氯代十六烷基吡啶I mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑7mL
余量為水。
[0031]所述鹽酸的質量百分比濃度為38%,所述氫氟酸的質量百分比濃度為36%,所述雙氧水的質量百分比濃度為30%。
[0032]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法,它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水,得到磷酸二氫鈉水溶液,備用;
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻,然后加入純水,定容至1L,即得觸摸屏用蝕刻液。
[0033]本實施例蝕刻液在溫度32°C、浸潰時間19min的條件下,蝕刻的產品蝕刻角度為51.3,且基本無側蝕現象。
[0034]最后應當說明的是,以上實施例僅用以說明本發明的技術方案,而非對本發明保護范圍的限制,盡管參照較佳實施例對本發明作了詳細地說明,本領域的普通技術人員應當理解,可以對本發明的技術方案進行修改或者等同替換,而不脫離本發明技術方案的實質和范圍。
【權利要求】
1.一種觸摸屏用蝕刻液,其特征在于:每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸180-220 mL 磷酸二氫鈉 5-20g 氫氟酸70-90 mL 雙氧水40-50mL 氯代十六烷基吡啶0.1-1 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-7 mL 余量為水。
2.根據權利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液,其特征在于:每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸180-200 mL 磷酸二氫鈉 5-10g 氫氟酸70-80 mL 雙氧水40-45mL 氯代十六烷基吡啶0.1-0.5 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-5 mL 余量為水。
3.根據權利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液,其特征在于: 每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸200-220 mL 磷酸二氫鈉 10-20g 氫氟酸80-90 mL 雙氧水45-50mL 氯代十六烷基吡啶0.5-1 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5-7 mL 余量為水。
4.根據權利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液,其特征在于:每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸200 mL 磷酸二氫鈉 1g 氫氟酸80 mL 雙氧水45mL 氯代十六烷基吡啶0.5mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5mL 余量為水。
5.根據權利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液,其特征在于:所述鹽酸的質量百分比濃度為38%,所述氫氟酸的質量百分比濃度為36%,所述雙氧水的質量百分比濃度為30%。
6.權利要求1-5任一項所述的一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法,其特征在于:它包括以下制備步驟: A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水,得到磷酸二氫鈉水溶液,備用; B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻,然后加入純水,定容至1L,即得觸摸屏用蝕刻液。
【文檔編號】C09K13/08GK104327857SQ201410517686
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年9月30日 優先權日:2014年9月30日
【發明者】李林波 申請人:江西省平波電子有限公司
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