1.一種制造磨料粒子的方法,所述方法包括:
制備前驅體溶液,所述前驅體溶液中第一前驅體與不同于所述第一前驅體的第二前驅體混合;
制備堿性溶液;
混合所述堿性溶液與所述前驅體溶液并且形成沉淀物;以及
洗滌通過沉淀合成的磨料粒子。
2.根據權利要求1所述的制造磨料粒子的方法,其中所述第一前驅體包括含有鈰(III)的有機鹽,并且所述第二前驅體包括含有鈰(III)的無機鹽。
3.根據權利要求2所述的制造磨料粒子的方法,其中所述第二前驅體包括鹵族元素。
4.根據權利要求1所述的制造磨料粒子的方法,其中制備所述前驅體溶液包括:
混合所述第一前驅體與水制備第一前驅體溶液;
混合所述第二前驅體與水制備第二前驅體溶液;以及
混合所述第一前驅體溶液與所述第二前驅體溶液。
5.根據權利要求4所述的制造磨料粒子的方法,其中所述第一前驅體溶液為pH值低于所述第二前驅體溶液的pH值的溶液。
6.根據權利要求4所述的制造磨料粒子的方法,其中制備所述前驅體溶液更包括在混合所述第一前驅體溶液與所述第二前驅體溶液之前向所述第二前驅體溶液添加酸性材料。
7.根據權利要求4所述的制造磨料粒子的方法,其中混合所述第一前驅體溶液與所述第二前驅體溶液包括在1∶1到1∶5范圍內調整所述第一前驅體溶液與所述第二前驅體溶液的混合比。
8.根據權利要求1所述的制造磨料粒子的方法,其中在所述堿性溶液和所述前驅體溶液的混合溶液的pH保持在8到10時形成所述沉淀物。
9.根據權利要求8所述的制造磨料粒子的方法,包括在形成所述沉淀物后將所述混合溶液的所述pH調整到酸性范圍。
10.根據權利要求9所述的制造磨料粒子的方法,包括在將所述pH調整到酸性范圍之前攪拌所述堿性溶液和所述前驅體溶液的所述混合溶液。
11.根據權利要求1所述的制造磨料粒子的方法,其中所述第一前驅體包括乙酸鈰、碳酸鈰以及草酸鈰中的至少一個,并且所述第二前驅體包括氯化鈰、溴化鈰、碘化鈰、硫酸鈰以及硝酸鈰中的至少一個。
12.根據權利要求1所述的制造磨料粒子的方法,其中在室溫下形成所述沉淀物,并且在形成所述沉淀物后,不進行額外熱處理。
13.根據權利要求12所述的制造磨料粒子的方法,其中所述合成的磨料粒子的平均粒徑在2納米到10納米范圍內。
14.根據權利要求13所述的制造磨料粒子的方法,其中所述合成的磨料粒子包括二氧化鈰粒子。
15.一種用于拋光工件的磨料粒子,所述磨料粒子由兩種或更多種不同前驅體合成,并且為結晶,所述磨料粒子包括鈰,且平均粒徑在2納米到10納米范圍內。
16.根據權利要求15所述的用于拋光工件的磨料粒子,其中所述磨料粒子為單晶并且具有圓形形狀。
17.根據權利要求15所述的用于拋光工件的磨料粒子,其中所述磨料粒子的平均粒徑在3納米或更大且小于6納米的范圍內。
18.一種用于拋光工件的拋光漿料,包括:
執行拋光的磨料粒子,由兩種或更多種不同前驅體合成,為結晶,包括鈰,并且平均粒徑在2納米到10納米范圍內;以及
去離子水,其中分布有所述磨料粒子。
19.根據權利要求18所述的用于拋光工件的拋光漿料,其中所述磨料粒子為單晶,并且具有圓形形狀。
20.根據權利要求18所述的用于拋光工件的拋光漿料,更包括調整pH的pH調整劑。