專利名稱：用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體制造工藝，更具體地說，本發明涉及一種用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋。
背景技術：
在半導體制造工藝中，例如在金屬刻蝕工藝中，需要使用適半導體制造裝置。圖I示意性地示出了根據現有技術的一種半導體制造裝置的部分立體分解圖。如圖I所示，半導體制造裝置包括渦輪分子泵3、渦輪泵閥門2、泵抽吸端口 I。其中，渦輪分子泵3通過渦輪泵閥門2與泵抽吸端口 I相連。 由于在半導體制造中所產生的某些聚合物具有較強的粘附能力，這些聚合物會粘附在泵抽吸端口等腔體內的各個部位，這種聚合物粘附到一定程度會產生不可預計的剝落，從而嚴重影響產品的良率。然而這種聚合物非常難以清除，通常需要拆卸后才能徹底清洗干凈，可是泵抽吸端口的拆卸非常復雜。更具體地說，泵抽吸端口 I不容易拆卸的原因是腔體是不能動的，從圖I可以看出，要拆卸泵抽吸端口必須先拆掉渦輪分子泵3和渦輪泵閥門2才行。除了工作量非常大和繁重之外，渦輪分子泵內其實也是有很多聚合物的，如果這些聚合物吸收到空氣中的水分會對渦輪分子泵造成一定的傷害，縮短它的使用壽命，所以一般我們在做機臺保養時是不打開渦輪泵閥門的，這樣渦輪分子泵就會保持真空，從而延長壽命。基于上述原因，希望能夠提供一種能夠避免半導體制造工藝中產生的聚合物粘附在泵抽吸端口表面的遮擋裝置。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是針對現有技術中存在上述缺陷，提供一種能夠避免半導體制造工藝中產生的聚合物粘附在泵抽吸端口表面的遮擋裝置。為了實現上述技術目的，根據本發明，提供了一種用于半導體制造的泵抽吸端口遮擋蓋，其中用于半導體制造的半導體制造設備包括渦輪分子泵、渦輪泵閥門、泵抽吸端口 ；其中，所述渦輪分子泵通過所述渦輪泵閥門與泵抽吸端口相連，其特征在于包括所述泵抽吸端口遮擋蓋用于蓋在半導體制造裝置腔體內的泵抽吸端口上。優選地，所述泵抽吸端口遮擋蓋包括環形側壁、以及布置在環形側壁外周的密封圈。優選地，所述密封圈是橡膠圈。優選地，所述泵抽吸端口遮擋蓋的環形側壁的材料是不銹鋼。優選地，所述密封圈在環形側壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置。優選地，所述密封圈在環形側壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置之外的位置。
優選地，所述泵抽吸端口遮擋蓋的所述環形側壁的與所述圓形底部相對的一側具有內導角。優選 地，在所述環形側壁的外壁上布置有洗槽，所述密封圈通過嵌入所述環形側壁的外壁上的洗槽而固定。優選地，所述密封圈嵌入環形側壁的外壁上的洗槽的深度大約為橡膠圈的半徑。根據本發明，在泵抽吸端口上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋，在裝了這個泵抽吸端口遮擋蓋后，制程氣體及反應物以及半導體制造中所產生的某些聚合物會落入泵抽吸端口遮擋蓋，而不會泵抽吸端口等腔體內的各個部位。由此，在保養中只需向上取出泵抽吸端口遮擋蓋，再對泵抽吸端口遮擋蓋進行清洗即可，由此就能確保泵抽吸端口等腔體內的各個部位的潔凈。這樣就節省了時間和人力，保證了渦輪分子泵的使用壽命，也保證了產品的良率。
結合附圖，并通過參考下面的詳細描述，將會更容易地對本發明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優點和特征，其中圖I示意性地示出了根據現有技術的半導體制造裝置的部分立體分解圖。圖2示意性地示出了根據本發明實施例的半導體制造裝置的截面圖。圖3示意性地示出了根據本發明實施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個具體示例的俯視圖。圖4示意性地示出了根據本發明實施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個具體示例的正視圖。圖5示意性地示出了根據本發明實施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個具體示例的首1J視圖。需要說明的是，附圖用于說明本發明，而非限制本發明。注意，表示結構的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類似的元件標有相同或者類似的標號。
具體實施例方式為了使本發明的內容更加清楚和易懂，下面結合具體實施例和附圖對本發明的內容進行詳細描述。圖2示意性地示出了根據本發明實施例的半導體制造裝置的截面圖。如圖2所示，根據本發明實施例的半導體制造裝置包括渦輪分子泵3、渦輪泵閥門2、泵抽吸端口 I。其中，渦輪分子泵3通過渦輪泵閥門2與泵抽吸端口 I相連。需要說明的是，附圖中僅僅示出了與本發明有關的結構，而省略了半導體制造裝置其它結構(例如腔體內的其它結構)。其中，在半導體制造裝置腔體內的泵抽吸端口 I上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋4。在泵抽吸端口上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋4，在裝了這個泵抽吸端口遮擋蓋后，如圖2中的虛線箭頭所示，制程氣體及反應物以及半導體制造中所產生的某些聚合物會粘附在泵抽吸端口遮擋蓋4，而不會粘附在泵抽吸端口上。由此，在保養中只需向上取出泵抽吸端口遮擋蓋，再對泵抽吸端口遮擋蓋進行清洗即可，由此就能確保泵抽吸端口等腔體內的各個部位的潔凈。這樣就節省了時間和人力，保證了渦輪分子泵的使用壽命，也保證了產品的良率。圖3示意性地示出了根據本發明實施例的泵抽吸端口遮擋蓋4的一個具體示例的俯視圖。如圖3所示，根據本發明實施例的泵抽吸端口遮擋蓋4包括環形側壁41、以及布置在環形側壁41外周的密封圈42。實際上，泵抽吸端口遮擋蓋4是一個類似管件的部件。優選地，例如，所述密封圈42是橡膠圈。并且，優選地，例如，所述泵抽吸端口遮擋蓋4的圓形底部43和環形側壁41的材料是不銹鋼。圖4示意性地示出了根據本發明實施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個具體示例的正視圖。如圖4所示，所述密封圈42在環形側壁41的高度方向上的位置不僅可以位于泵抽吸端口遮擋蓋4的蓋口位置(相對于環形側壁41與圓形底部43相對的位置)，而且可以是靠近泵抽吸端口遮擋蓋4的蓋口位置的任意位置。圖5示意性地示出了根據本發明實施例的泵抽吸端口遮擋蓋4的一個具體示例的剖視圖。例如，圖5是沿著圖3所示的虛線截取圖3所示的泵抽吸端口遮擋蓋4的的剖視圖。如圖5所示，泵抽吸端口遮擋蓋4的環形側壁41的相對于環形側壁41與圓形底部43相對的一側(S卩，蓋口位置處)具有內導角5。也就是說，泵抽吸端口遮擋蓋4的環形側壁41的相對于環形側壁41與圓形底部43相對的一側(即，蓋口位置處)具有有利于引導半導體制造中所產生的某些聚合物進入泵抽吸端口遮擋蓋4內的斜面。由此，可以更好地確保半導體制造中所產生的某些聚合物不會泵抽吸端口等腔體內的各個部位。并且，在環形側壁41的外壁上布置有洗槽，諸如橡膠圈之類的所述密封圈42 —般通過嵌入環形側壁41的外壁上的洗槽而固定，述密封圈42嵌入環形側壁41的外壁上的洗槽的深度大約為橡膠圈的半徑，如圖5所示。可以理解的是，雖然本發明已以較佳實施例披露如上，然而上述實施例并非用以限定本發明。對于任何熟悉本領域的技術人員而言，在不脫離本發明技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術內容對本發明技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發明技術方案保護的范圍內。
權利要求
1.一種用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其中用于半導體制造的半導體制造設備包括渦輪分子泵、渦輪泵閥門、泵抽吸端口；其中，所述渦輪分子泵通過所述渦輪泵閥門與泵抽吸端口相連，其特征在于包括所述泵抽吸端口遮擋蓋用于蓋在半導體制造裝置腔體內的泵抽吸端口上。
2.根據權利要求I所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述泵抽吸端口遮擋蓋包括環形側壁、以及布置在環形側壁外周的密封圈。
3.根據權利要求I或2所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈是橡膠圈。
4.根據權利要求I或2所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述泵抽吸端口遮擋蓋的所述圓形底部和所述環形側壁的材料是不銹鋼。
5.根據權利要求I或2所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈在環形側壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置。
6.根據權利要求I或2所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈在環形側壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置之外的位置。
7.根據權利要求I或2所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述泵抽吸端口遮擋蓋的所述環形側壁的與所述圓形底部相對的一側具有內導角。
8.根據權利要求I或2所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，在所述環形側壁的外壁上布置有洗槽，所述密封圈通過嵌入所述環形側壁的外壁上的洗槽而固定。
9.根據權利要求8所述的用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈嵌入環形側壁的外壁上的洗槽的深度大約為橡膠圈的半徑。
全文摘要
本發明提供了一種用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋。用于半導體制造的半導體制造設備包括渦輪分子泵、渦輪泵閥門、泵抽吸端口；其中，所述渦輪分子泵通過所述渦輪泵閥門與泵抽吸端口相連。所述泵抽吸端口遮擋蓋用于蓋在半導體制造裝置腔體內的泵抽吸端口上。所述泵抽吸端口遮擋蓋包括環形側壁、以及布置在環形側壁外周的密封圈。根據本發明，在泵抽吸端口上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋，使聚合物粘附在泵抽吸端口遮擋蓋內壁，而不會粘附在泵抽吸端口上。由此，在保養中只需向上取出泵抽吸端口遮擋蓋，再對泵抽吸端口遮擋蓋進行清洗即可，由此節省了時間和人力，保證了渦輪分子泵的使用壽命并保證了產品良率。
文檔編號F04D29/52GK102865250SQ201210366180
公開日2013年1月9日 申請日期2012年9月27日 優先權日2012年9月27日
發明者包中誠, 陳超 申請人:上海宏力半導體制造有限公司