專利名稱：管路堵塞偵測預警方法
技術領域：
本發明涉及一種偵測預警方法，具體涉及一種管路堵塞偵測預警方法。
背景技術：
目前，管路結構被廣泛應用于各種機器設備中，以晶圓設備的管路而言，由于管路
內部流道空間難免會逐漸積累污垢而致流道截面積減縮，因此最終往往會因為堵塞的問題
導致管路運作效能衰退，造成生產良率下降，且堵塞的問題將日積月累，嚴重時，目前業界
的情況通常是因為管路堵塞導致幫浦運作發生異常狀況時方加以停機維修，然如此將導致
生產線停擺而造成業界莫大損失，且造成修復成本所費不咨、負擔沉重的問題。 對于新建的晶圓廠而言，自可導入新方法以及新設備來解決和預防管路堵塞的問
題；但是，對于已經運作中的廠房和設備而言，若欲加入管路堵塞的預警機制，目前現有的
方法技術大部份仍舊存在工法過于復雜且易影響原有系統設備運作的問題，導致實施困
難、為相關業界所詬病。 是以，針對上述現有的管路結構堵塞的問題點，如何研發出一種能夠更具理想實 用性的創新管路堵塞預警方法及系統設計，實有待相關業界再加以思索突破的目標及方 向。
發明內容
本發明的主要目的在于提供一種管路堵塞偵測預警方法，其所欲解決的問題點在 于研發出一種確具理想實用性的管路堵塞偵測預警方法。
為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案 本發明解決問題的技術特點，在于所述管路堵塞偵測預警方法，其于欲偵測管路 預定部位設置加熱構件及溫度控制器，以利用該加熱構件對所述管路進行加熱，并利用該 溫度控制器控制所述加熱構件的加熱溫度； 透過一數據收集裝置收集各該溫度控制器的溫度訊號； 透過一人機界面將所述數據收集裝置收集的數據加以具體化顯現； 欲偵測管路于初步運作時先進行一段時期的溫度加熱變化觀察及數據收集，并將
該數據轉換成一正常加熱曲線表； 管路偵測管理者透過該人機界面觀察各該溫度控制器的溫度變化狀態并對照前
述正常加熱曲線表，當其溫度變化為相對異常狀態時即可獲知管路為堵塞狀態。 與現有技術相比，本發明所揭管路堵塞偵測預警方法，可在不影響既有系統運作
的情況下導入并與之共存、各自運作，故業界可輕易導入實施而確具實用進步性。
圖1為本發明的系系統構成立體示意圖；
圖2為本發明的系系統構成平面示意 圖3為本發明的管路阻塞狀態示意圖； 圖4為本發明的管路暢通狀態示意圖； 圖5為本發明的管路阻塞狀態相對應的曲線表對照示意圖； 圖6為本發明的管路暢通狀態相對應的曲線表對照示意圖。 圖中標記 05、管路；10、加熱構件；20、溫度控制器；30、數據收集裝置；40、人機界面。
具體實施例方式
下面結合附圖對本發明實施例進行詳細描述。 如圖1和圖2所示，本發明管路堵塞偵測預警方法的較佳實施例，惟此等實施例僅 供說明之用，在專利申請上并不受此結構的限制。 本發明所提供的管路堵塞偵測預警方法用以偵測既有管路05的堵塞狀態，以達 到一種預警作用，所述管路堵塞偵測預警方法，其實體系統方面包含下述構成
至少一加熱構件10，組設于欲偵測管路05預定部位，用以可對所述管路05進行加 熱，所述加熱構件10可采用加熱帶，令所述加熱帶包覆于欲偵測管路05的外周而能獲得極 為均勻有效率的致熱效果； 至少一溫度控制器20，用以控制所述加熱構件10的加熱頻率狀態，并將該加熱頻 率狀態轉換為訊號輸出； —數據收集裝置30，與所述各溫度控制器20電性連結，用以收集各該溫度控制器 20的溫度控制訊號； —人機界面40，用以將所述數據收集裝置30所收集的數據加以具體化顯現；
所述人機界面40與該數據收集裝置30 二者可為分別獨立的兩機體型態(如圖1 所示)，也可為整合為一體的結構型態。
承上述，本發明的管路堵塞偵測預警方法包含 a、于欲偵測管路05預定部位設置該加熱構件10以及溫度控制器20，以利用該加 熱構件10對所述管路05進行加熱的動作，并進一步利用該溫度控制器20控制所述加熱構 件10的加熱頻率； b、透過該數據收集裝置30收集各該溫度控制器20的溫度訊號； c、透過該人機界面40將所述數據收集裝置30收集的數據加以具體化顯現； 其中，所述人機界面40可透過曲線圖或數據的方式顯現溫度變化數據； d、所述欲偵測管路05于初步運作時，先進行一段時期的溫度加熱變化觀察及數
據收集，并將該數據轉換成一正常加熱曲線表； e、管路偵測管理者透過該人機界面40觀察各該溫度控制器20的溫度變化狀態并 對照前述正常加熱曲線表，當其溫度變化為相對的異常狀態時，即可獲知管路05為堵塞狀 態。 承上所述，其中針對所述欲偵測管路05初步運作時所進行的溫度加熱變化觀察 及數據收集的具體作法，茲進一步配合圖面說明如下，如圖3所示，該欲偵測管路05為阻塞 狀態示意(圖中W為阻塞物)，如圖4所示則為該欲偵測管路05暢通狀態的示意圖；復如圖 5、圖6所示，為管路阻塞狀態與管路暢通狀態相對應的曲線表對照示意圖，該曲線表上顯示Y軸以溫度為單位，而X軸以時間為單位，且設定該溫度控制器20為100度；當于10:00 開始常溫測試，首先將該加熱構件10設定至100度，則阻塞狀態的管路05實際溫度值(如 圖5中L所示，以下簡稱L)維持穩定100度的情況，而加熱頻率(如圖5中Ll所示，以下 簡稱L1)則偶有浮動，但趨于平穩狀態；然而，暢通狀態的管路05實際溫度值(如圖6中L2 所示，以下簡稱L2)維持穩定IOO度的情況，而加熱頻率(如圖6中L3所示，以下簡稱L 3) 偶有浮動但趨于平穩狀態，兩者并無太大差異；而模擬加熱帶于13:30為抽取真空狀態，此 時L與L2持續維持100度狀態，而Ll稍微提高曲線，但L3則大幅提升至一高度，之后則固 定在此高度上不見落下，與L1有明顯差異；通過該曲線表得知，當常溫下，兩者顯示幾乎相 同，并無差異，但開始抽取真空時(亦即移除該管路內部溫度)，由于阻塞狀態的管路05溫 度不易流失，因此加熱次數并無太大差異，反之，暢通狀態的管路05當一抽取真空，原本管 路05里的溫度將快速流失，導致必須增加更多的加熱頻率才能達到管路05設定的100度， 藉此差異化測試結果所得的曲線表數據，即可事先建制出所謂的「正常加熱曲線表」以及管 路05阻塞時所對應的曲線表狀態，是以日后管路05偵測過程中即可依此事先測試所得數 據作為參考。 由上述模擬測試結果可證，管路05的內部暢通與堵塞狀態，透過外部加熱構件10
的溫度控制狀態變化的數據收集分析以及配合事先預設數據、歷史數據的建立，確實能夠
達到相當準確的預警效果。 綜上所述，本發明的優點如下 本發明所揭管路堵塞偵測預警方法，其可在不影響既有系統運作的情況下導入并 與之共存、各自運作，其組構成極為簡單且容易整合于既有管路系統，是以，本發明便于該 領域技術人員實施應用，具有較好的實用進步性。 以上所述，僅為本發明的具體實施方式
，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何 熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵 蓋在本發明的保護范圍之內。因此，本發明的保護范圍應以權利要求的保護范圍為準。
權利要求
一種管路堵塞偵測預警方法，用以偵測管路的堵塞狀態以達到預警作用，包含a、于欲偵測管路預定部位設置加熱構件以及溫度控制器，以利用該加熱構件對所述管路進行加熱，并利用該溫度控制器控制所述加熱構件的加熱溫度以及偵測所述管路實際溫度；b、透過一數據收集裝置收集各該溫度控制器的溫度訊號；c、透過一人機界面將所述數據收集裝置收集的數據加以具體化顯現；d、所述欲偵測管路于初步運作時，先進行一段時期的溫度加熱變化觀察及數據收集，并將該數據轉換成一正常加熱曲線表；e、管路偵測管理者透過該人機界面觀察各該溫度控制器的溫度變化狀態并對照前述正常加熱曲線表，當其溫度變化為相對的異常狀態時，即可獲知管路為堵塞狀態。
2. 權利要求1所述的管路堵塞偵測預警方法，其特征在于所述人機界面可透過曲線 圖或數據的方式顯現溫度變化數據。
全文摘要
本發明公開了一種管路堵塞偵測預警方法，涉及一種偵測預警方法。解決了現有技術成本高、實施難度大的技術問題。本發明于欲偵測管路預定部位設置加熱構件及溫度控制器，以利用該加熱構件對所述管路進行加熱，并利用該溫度控制器控制所述加熱構件的加熱溫度；透過一數據收集裝置收集各該溫度控制器的溫度訊號；透過一人機界面將所述數據收集裝置收集的數據加以具體化顯現；欲偵測管路于初步運作時先進行一段時期的溫度加熱變化觀察及數據收集，并將該數據轉換成一正常加熱曲線表；管路偵測管理者透過該人機界面觀察各該溫度控制器的溫度變化狀態并對照前述正常加熱曲線表。本管路堵塞偵測預警方法應用于偵測、預警管路堵塞。
文檔編號F17D5/00GK101737628SQ200810177029
公開日2010年6月16日 申請日期2008年11月12日 優先權日2008年11月12日
發明者謝益壽 申請人:泰亞國際科技股份有限公司