專利名稱：探針單元以及檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于檢查液晶面板等檢查對象面板的探針單元(probe unit)以及檢查裝置。
技術背景在平板顯示(FPD)、例如液晶面板的制造工序中，檢查其 液晶面板是否具有說明書描述的性能等。在該檢查中 一 般使用 具有探針單元的檢查裝置，該探針單元具有多個探針。在此情 況下，在將檢查裝置的各探針推壓觸到液晶面板的電極的狀態 下，通過將規定電信號提供給規定電極來進行檢查。圖2表示這種檢查裝置的一例子。圖示的檢查裝置l主要由 面板配設(panel set)部2和測定部3構成。面板配設部2是一種用于將外部插入的液晶面板5輸送到 測定部3，并將完成檢查的液晶面板5輸送往外部的裝置。面板 配設部2在其開口部6的里面設有面板配設臺7,該面板配設臺7 支承著液晶面—反5并將該液晶面4反5輸送往測定部3。此外，面 板配設臺7接收在測定部3完成檢查后的液晶面板5,并將該液 晶面板5輸送往外部。測定部3是一種用于支承從面板配設部2輸送來的液晶面 板5并加以試驗的裝置。測定部3具有卡盤頂部(chuck top)8和 探針9等。卡盤頂部8為用于支承液晶面板5的構件。該卡盤頂部8由 XYZe臺(未圖示)支承，被控制向XYZ軸方向的移動以及旋轉， 從而調整液晶面板5的位置。探針9主要具有基板10和探針單元 11。將探針單元ll設置成相對于水平面傾斜的狀態。且該探針單元11以面向基板10的開口 IOA的狀態由基板IO支承。如圖3所示，探針單元ll具有探針基部12、支承部13、探針組裝體14以及連接電纜部15。上述探針基部12為一體支承多個支承部13的板材，該支承部13用于支承探針組裝體14。在該探針基部12上，多個探針組裝體14以面向工作臺16上的液晶面板5的狀態，通過支承部13獲得支承。上述支承部13是這樣的構件以其基端側支承于上述探針 基部12的狀態、由其前端側支承上述探針組裝體14。如圖4~ 圖7所示，該支承部13具有懸吊塊(suspension block)18，其 直接安裝于上述探針基部12上以支承整個構件；滑塊19,其由 該懸吊塊18的前端部支承；和探針板20,其一體地安裝于該滑 塊19的內側面上(圖4中的下側面)。探針組裝體14是用于與液晶面板5的電路電極相接觸來傳 輸檢查信號的構件。該探針組裝體14安裝在探針板2 0的下側 面。如圖6~8所示，該探針組裝體14具有對笨針塊(probe block)22和探針23。探針塊22直接安裝于探針板20的下側面。 在該探針塊22的下側安裝有探針23。探針23是直接與液晶面板 5的電路電極相接觸的構件。在探針23的前端部和基端部分別 具有針部23A、 23B,前端部的針部23A與液晶面板5的電路電 極相接觸，而基端的針部23B與連接電纜部15的端子31相接觸。連接電纜部15是用于將上述探針23與外部裝置(未圖示)電 連接的構件。具體而言，該連接電纜部15直接連接于上述探針 23的針部23B與探針基部12側的電路，并通過該探針基部12側 的電路與外部裝置電連接。即，該連接電纜部15通過探針基部 12的印刷線路板26,將上述探針組裝體14的探針23與外部裝置 電連接。如圖6 8所示，該連接電纜部15具有FPC板27、驅動用集成電路28以及FPC電纜29。上述FPC板27是用于將上述連接電纜部15固定在上述探 針組裝體14側的構件。該F P C板2 7安裝在探針2 0的下側。驅動用集成電路28是進行伴隨著檢查操作的處理的電路。 驅動用集成電路28安裝于FP板27的下側。該驅動用集成電路 28的一側與FPC電纜29相連接，而驅動用集成電路28另 一側通 過各配線30與各端子31相連接。并且，該端子31與探針23基端 側的針部2 3 B相接觸。該探針2 3的針部2 3 B對準導向膜3 2的導 向孔33,并與FPC電纜29的端子31相接觸。FPC電纜29是用于傳輸伴隨檢查操作而發生的電信號的 電纜。FPC電纜29的一端固定于FPC板27上，并與驅動用集成 電路28電連接，同時其另 一端與設在探針基部12下側的印刷線 路板26相連接。由此，FPC電纜29通過該印刷線路板26與外部 裝置電連接。然而，在上述檢查裝置中，作為防止液晶面板5的點亮檢 查時動畫顯示模糊的對策，而推進了 TFT驅動的高速化。例如， 推進將60Hz提高到120 ~ 180Hz來高速化驅動。但是，若頻率提高到120 ~ 180Hz,則從印刷路線板26進 入驅動用集成電路28中的信號容易受到噪聲等的影響。發生作 為噪聲的電磁波時，FPC電纜29容易將其接收而發生傳輸劣化 (出錯)問題。這種傳輸劣化會對液晶面板5的點亮產生很大的影 響，從而產生檢查精度降低的問題。發明內容本發明是為解決上述問題而開發出的，目的在于提供一種 可將噪聲的影響控制在最小限度的探針單元以及檢查裝置。為解決上述問題，本發明提供一種探針單元，其具有探針組裝體，該探針組裝體與設置在檢查對象板表面上的電路的電極相接觸來傳輸檢查信號；連接電纜部，該連接電纜部通過 探針基部的印刷線路板將上述探針組裝體與外部裝置電連接， 上述連接電纜部具有FPC板、驅動用集成電路和FPC電纜，該 FPC板將該連接電纜部固定在上述探針組裝體側，該驅動用集 成電路進行伴隨著檢查的處理，該FPC電纜傳輸供檢查用的電 信號，上述驅動用集成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板 上，上述FPC電纜將上述驅動用集成電路與上述探針組裝體連 接起來。根據上述構成，通過上述FPC電纜將由上述探針組裝體檢 測出的檢查信號傳輸到上述驅動用集成電路中，再通過上述 FPC電纜將來自上述驅動用集成電路的信號傳輸到上述組裝 體，由此使檢測難以受到噪聲等的影響。該探針組裝體與上述 檢查對象板的電路電極相接觸。優選的是將從上述探針組裝體到FPC電纜的電阻設定為 IOQ以下。根據上述構成，通過將從上述探針組裝體到FPC電纜的電裝體檢測出的檢查信號傳輸到上述驅動用集成電路中時，以及 在通過上述FPC電纜將來自上述驅動用集成電路的信號傳輸到 上述探針組裝體時，都難以受到噪聲等的影響。優選的是將上述探針單元應用到具有以下結構的檢查裝置 中，即該檢查裝置具有面板配設部，其在檢查結束后將從外 部插入的檢查對象板搬出到外部；測定部，其支承由面板配設 部輸送來的檢查對象板，并對該檢查對象板進行試驗。綜上所述，利用本發明不容易受到噪聲等的影響，因此無 論是否對TFT驅動進行高速化都可保持較高的檢查精度。
圖l為表示本發明實施方式的探針單元的側視圖。圖2為表示以往的檢查裝置的主視圖。圖3為表示以往的檢查裝置的探針單元以及工作臺的立體圖。圖4為表示以往的檢查裝置的探針單元的立體圖。 圖5為表示以往的檢查裝置的探針單元的俯視圖。 圖6為表示以往的檢查裝置的探針單元的側視圖。 圖7為表示以往的檢查裝置的探針單元的側面剖視圖(圖5 的A-A剖視圖)。圖8為表示以往的檢查裝置的探針單元的仰視圖。 圖9為表示本發明的檢查裝置的探針單元的仰視圖。
具體實施方式
以下，參照附圖對本發明的實施方式的探針單元以及檢查 裝置進行說明。本實施方式的探針單元以及檢查裝置在整體上與上述以往 的探針單元以及檢查裝置基本相同。本實施方式的探針單元以 及檢查裝置的特征在于改進了驅動用集成電路的安裝位置。由 于其他結構與上述以往的檢查裝置相同，因此在這里對其同一 構件標注以相同的附圖標記來進行說明。如圖1和圖9所示，本實施方式的探針單元41具有探針基 部12、支承部13、探針組裝體14以及連接電纜部42。與上述以往的探針單元ll同樣，上述探針基部12是一體地 支承多個支承部13的板材，該支承部13支承探針組裝體14。與上述以往的探針單元11同樣，上述支承部13是其基端側 支承于上述探針基部12、且由其前端側支承上述探針組裝體14的構件。與上述以往的探針單元ll同樣，上述探針組裝體14是用于 與液晶面板5的電路電極進行接觸，并傳輸檢查信號的構件。探針組裝體14安裝于探針板20的下側面。該探針組裝體14具有 探針塊22和探針23。連接電纜部42是用于通過探針基部12的印刷線路板26而 將上述探針組裝體14與外部裝置電連接的構件。具體而言，該 連接電纜部42與上述探針23的針部23B直接連接，且通過該探 針基部12側的電路與外部裝置電連接。與上述以往的探針單元ll同樣，上述FPC板27是用于將上 述連接電纜部42固定在上述探針組裝體14側的構件。該FPC板 27安裝在探針板20的下側。驅動用集成電路43是用于進行伴隨著檢查的處理的電路。 與上述以往的探針單元ll不同，驅動用集成電路43安裝于探針 基部12的印刷線路板26上。驅動用集成電路43的 一側直接與印 刷線路板26連接，而其另 一側通過配線45與連接器46連接。而 且在該連接器46上連接有FPC電纜47,該FPC電纜47直接安裝 于FPC板27上，在該電纜47前端設置有端子31。自上述探針組裝體14的探針2 3前端側的針部2 3 A到F P C電 纜4 7的連接器4 6的電阻被設定為10 Q以下。在本申請人制造的 探針單元以及檢查裝置中，在將從上述探針組裝體14的探針23 前端側的針部23A到FPC電纜47的連接器46的電阻設定為10Q 以下時，可獲得最佳的結果。因此，將從驅動用集成電路43的 靠探針23 —側、即從上述探針組裝體14的探針23前端側的針部 23A到FPC電纜47的連接器46的電阻設定為IOQ以下。利用如上構成的探針單元41以及采用該探針單元ll的檢 查裝置，將發揮如下的作用。使探針組裝體14與形成于作為上述檢查對象板的液晶面板5的表面上的電路的各電極相接觸，通過FPC電纜47將來自 驅動用集成電路43側的檢查信號傳導到液晶面板5的表面電路 中，進行點亮檢查。另外，通過基端側的針部23B,將上述探針組裝體14檢測 出的檢查信號從前端側的針部23A傳輸到上述FPC電纜47，再 通過該FPC電纜47將信號傳輸到上述驅動用集成電路43。然 后，通過探針基部12的印刷線路板26,將來自該上述驅動用集 成電路43的信號發送往外部裝置。由此，通過上述FPC電纜47傳輸的信號不容易受到噪聲等 的影響。特別是由于將從上述探針組裝體14的探針23前端側的針 部23A到FPC電纜47的連接器46的電阻設定為IOQ以下，因而 在通過上述FPC電纜47將由上述探針組裝體14檢測出的檢查 信號傳輸到上述驅動用集成電路43時，以及在通過上述FPC電 纜47將來自上述驅動用集成電路43的信號傳輸到上述組裝體 14時，都不容易受到噪聲等的影響。其結果是，無論有否對TFT 驅動進行高速化，本發明裝置都可保持較高的檢查精度。變形例作為具有上述實施方式的探針單元41的檢查裝置，并不只 限于上述以往的檢查裝置，可將本申請發明適用于可配置探針 單元41的所有檢查裝置。
權利要求
1.一種探針單元，其特征在于，包括探針組裝體，該探針組裝體與設置在檢查對象板表面上的電路的電極相接觸來傳輸檢查信號；連接電纜部，該連接電纜部通過探針基部的印刷線路板將上述探針組裝體與外部裝置電連接，上述連接電纜部具有FPC板、驅動用集成電路和FPC電纜，該FPC板將該連接電纜部固定在上述探針組裝體側，該驅動用集成電路進行伴隨著檢查的處理，該FPC電纜傳輸供檢查用的電信號，上述驅動用集成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板上，上述FPC電纜將上述驅動用集成電路與上述探針組裝體連接起來。
2. 根據權利要求l所述的探針單元，其特征在于，將從上 述探針組裝體到FPC電纜的電阻設定為IOQ以下。
3. —種檢查裝置，用于對檢查對象板的檢查，其特征在 于，該一企查裝置具有面板配設部和測定部，該面板配設部用于 在檢查結束后將從外部插入的檢查對象板搬出到外部，該測定 部支承由該面4反配"i殳部輸送來的才企查對象4反并對該4全查對象板 進行試驗；上述測定部的探針單元具有探針組裝體和連接電纜部，該 探針組裝體與設置在檢查對象板表面上的電路的電極相接觸， 并傳輸檢查信號，上述連接電纜部通過探針基部的印刷線路板 將上述探針組裝體與外部裝置電連接，上述連接電纜部具有 FPC板、驅動用集成電路和FPC電纜，該FPC板將該連接電纜 部固定在上述探針組裝體側，該驅動用集成電路進行伴隨著檢 查的處理，該FPC電纜傳輸供檢查用的電信號，上述驅動用集 成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板上，上述FPC電纜將上述驅動用集成電路與上述探針組裝體連接起來。
4.根據權利要求3所述的檢查裝置，其特征在于，將從上 述探針組裝體到FPC電纜的電阻設定為IOQ以下。
全文摘要
本發明提供一種探針單元以及檢查裝置，無論有無噪聲都可保持較高的檢查精度。一種探針單元以及檢查裝置，探針單元具有探針組裝體，其與設于檢查對象板表面上的電路電極相接觸來傳輸檢查信號；連接電纜部，其通過探針基部的印刷線路板將上述探針組裝體與外部裝置電連接，上述連接電纜部具有FPC板，其將該連接電纜部固定在上述探針組裝體側；驅動用集成電路，其進行伴隨著檢查的處理；FPC電纜，其傳輸供檢查用的電信號，上述驅動用集成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板上，上述FPC電纜將上述驅動用集成電路與上述探針組裝體連接起來。將從上述探針組裝體到FPC電纜的電阻設定為10Ω以下。
文檔編號G01R1/073GK101271147SQ20081008575
公開日2008年9月24日 申請日期2008年3月20日 優先權日2007年3月20日
發明者久我智昭, 奈良岡修治 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司