圓筒體的表面檢查裝置的制作方法

專利名稱：圓筒體的表面檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及用于檢查圓筒體的表面狀態的圓筒體的表面檢查裝置及其相關技術。
背景技術：
在感光鼓用基體等圓筒體，要求較高的表面精度，所以進行表面檢查，將具有傷痕、凹凸、異物附著、污垢等表面缺陷部的圓筒體排除。例如下述專利文獻1所公開的圓筒體的表面檢查裝置如圖8所示，從相對于圓筒體W配置在側上方部的光源101向圓筒體W照射照明光L，另一方面通過照相機102拍攝其正反射光(反射光圖像)Lr，基于該拍攝數據，檢測圓筒體1的表面缺陷。但是近年來，作為構成檢查對象的圓筒體W的感光鼓用基體，多采用對通過擠壓加工得到的擠壓管進行拉拔加工而制作的構件。如圖9所示在通過拉拔加工得到的圓筒體 W，形成于表面的凹凸部等會成為缺陷的部分在多數的情況下以與軸心方向(長度方向)X 平行地延伸的方式形成為條狀。這樣的條狀凹部D和/或凸部中，比較淺的條狀凹部Da不構成缺陷，與此相對比較深或者在邊緣具有毛刺的條狀凹部Db構成缺陷，在形成有這樣的構成缺陷的條狀凹部Db的情況下，作為不良品而處理。在先技術文獻專利文獻專利文獻1 特開平7-140079號專利文獻2 特開2002-71576號公報

發明內容
發明所要解決的問題然而，在上述專利文獻1所示的以往的圓筒體檢查裝置中，如下所說明那樣，不能正確地區別不構成缺陷的未缺陷條狀凹部Da與構成缺陷的缺陷條狀凹部Db，例如將形成于圓筒體表面的條狀凹部D等條狀凹凸部全都檢測出來，具有檢查精度下降的問題。即如圖10所示，在上述以往的圓筒體檢查裝置中，在圓筒體表面上的沒有凹部D 等凹凸的區域，從光源101照射的照明光L被圓筒體表面反射，其正反射光Lr被照相機102 獲取，另一方面，在具有凹部D等的區域，照明光L被凹部D的內周側面漫反射，漫反射光Ld 不會被照相機102接收。這樣通過正反射光Lr的光量差檢測凹部D，所以雖然凹部D的深度和/或形狀稍有不同，但只要是凹部D就全都檢測出來，不能正確地區別未缺陷條狀凹部 Da與缺陷條狀凹部Db，具有檢查精度下降的問題。本發明的優選的實施方式是鑒于相關技術中的上述的以及/或者其他的問題點而進行的。本發明的優選的實施方式能夠使現有的方法以及/或者裝置顯著提高。本發明是鑒于上述的課題而進行的，其目的在于提供能夠正確地僅檢測條狀凹凸部中構成缺陷的條狀凹凸部、具有較高的檢查精度的圓筒體的表面檢查裝置及其相關技術。
本發明的其他的目的以及優點可從下面的優選的實施方式變得明了。但是，作為通過反射光進行檢查對象物的表面檢查的方法，如上述專利文獻2所示，使用同軸落射照明的表面檢查方法眾所周知。該表面檢查方法使照明光相對于檢查對象物表面同軸落射，通過照相機識別其反射光圖像而檢測表面缺陷部。該表面檢查方法通過相對于檢查面垂直反射的正反射光圖像檢測表面狀態，所以能夠高精度檢查表面狀態。因此本發明申請人提案使用該同軸落射照明進行圓筒體的表面檢查的方法。即如圖5、6所示，在圓筒體W的側上方部配置光源101，并且在圓筒體W的上方配置半透半反鏡 103，進而在半透半反鏡103的上方配置照相機102。從而通過半透半反鏡103使從光源101 照射的照明光L反射，使該反射的照明光L相對于圓筒體W從垂直上方同軸落射。進而通過圓筒體表面使該照明光L向垂直上方反射，使該反射光Lr透過半透半反鏡103，由照相機 102獲取。根據該檢查方法，如圖4A所示，在較淺的條狀凹部D即未缺陷條狀凹部Da的區域，脫離照相機102的光軸的漫反射光Ld較少，與此相對，如圖4B所示，在較深的條狀凹部 D即缺陷條狀凹部Db的區域，脫離照相機102的光軸的漫反射光Ld增多。因此根據照相機 102所獲取的光接收量的不同，能夠區別未缺陷條狀凹部Da以及缺陷條狀凹部Db，能夠正確地僅檢測條狀凹部D中具有缺陷的條狀凹部D。但是，本發明申請人在繼續進行嚴密的實驗以及研究時，判明了該提案技術也難以可靠地得到較高的檢查精度。即如圖7所示在上述提案技術的圓筒體的表面檢查裝置中，從光源101對圓筒體 W從側方即從俯視相對于圓筒體W的軸心方向X正交的方向水平照射照明光L，所以從光源 101照射的照明光L中直接到達圓筒體W的直接照明光Ll從相對于缺陷條狀凹部Db正交的方向投射。因此該直接照明光Ll由缺陷條狀凹部Db的內周側面漫反射，該漫反射光Lld 的一部分由照相機102獲取。這樣，判明了難以可靠解決下述的課題即使是缺陷條狀凹部 Db的區域，多余的漫反射光Lld由照相機102識別，根據情況，該缺陷條狀凹部Db被誤檢測為正常區域，檢查精度下降。上面的說明列舉條狀凹部為例進行說明，但在條狀凸部的情況下也與上述同樣， 多余的漫反射光不慎由照相機102識別，導致檢查精度的下降。用于解決課題的方案為了解決上述課題，本發明具備下面的方案。[1] 一種圓筒體的表面檢查裝置，該圓筒體的表面檢查裝置具備配置于圓筒體的上方的照明光源、與所述照明光源相對應地配置于圓筒體的上方的分光器和配置于所述分光器的上方的表面狀態識別單元，從所述照明光源照射的照明光由所述分光器反射而同軸落射到圓筒體表面，由該圓筒體表面反射的反射光透過所述分光器，由所述表面狀態識別單元識別，其特征在于從所述照明光源從圓筒體的軸心方向的一端側與軸心方向平行地向另一端側照射照明光。[2]如前項1所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中所述分光器配置于圓筒體的軸心方向的至少一部分；由所述分光器反射的照明光落射到圓筒體的軸心方向的一部分。
[3]如前項1或2所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中所述分光器由半透半反鏡構成。[4]如前項1 3中的任意一項所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中作為圓筒體，使用通過拉拔加工而得到的鋁或者其合金制的拉拔管。[5]如前項1 4中的任意一項所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中作為圓筒體，使用感光鼓用基體。[6] 一種圓筒體的表面檢查方法，該圓筒體的表面檢查方法由分光器反射從照明光源照射的照明光而使其同軸落射到圓筒體表面，使由該表面反射的反射光透過所述分光器，由表面狀態識別單元識別，其特征在于從所述照明光源從圓筒體的軸心方向的一端側與軸心方向平行地向另一端側照射照明光。[7] 一種同軸落射照明裝置，該同軸落射照明裝置使用于基于由圓筒體的表面反射的反射光檢查圓筒體的表面狀態的圓筒體的表面檢查裝置，其特征在于具備照明光源，其配置于圓筒體的上方；和分光器，其與所述照明光源相對應地配置于圓筒體的上方，反射從所述照明光源照射的照明光而使其同軸落射到圓筒體表面，使由該圓筒體表面反射的反射光透過；從所述照明光源從圓筒體的軸心方向的一端側與軸心方向平行地向另一端側照射照明光。另外在本文件的“權利要求”以及“用于解決課題的方案”欄，在稱為“上方”的情況下，以相對于圓筒體的軸心方向正交的方向或者徑向外側的意義使用，不是以重力方向為基準。但是在后述的“具體實施方式
”一欄，以重力方向為基準對方向進行說明，在稱為 “上方”的情況下，以垂直方向的上側的意義使用。發明的效果根據發明[1]的圓筒體的表面檢查裝置，通過同軸落射照明光的反射光圖像識別圓筒體表面的狀態，所以能夠正確把握表面狀態，能夠提高檢查精度。進而由于從圓筒體的一端側沿著軸心方向照射照明光，所以即使存在沿著軸心方向的條狀凹凸部，也能夠防止直接照射到圓筒體表面的直接照明光的反射光不慎由表面狀態識別單元獲取，能夠可靠地維持較高的檢查精度。根據發明[2]的圓筒體的表面檢查裝置，能夠減小照明光源和/或分光器的尺寸， 能夠謀求小型緊湊化。根據發明[3]的圓筒體的表面檢查裝置，能夠更可靠地提高檢查精度。根據發明[4] [5]的圓筒體的表面檢查裝置，作為檢查對象物，使用與該檢查裝置相適應的構件，所以能夠更可靠地得到上述的效果。根據發明W]的圓筒體的表面檢查方法，與上述同樣，能夠得到同樣的作用效果。根據發明[7]的使用于圓筒體的表面檢查裝置的同軸落射照明裝置，與上述同樣，能夠得到同樣的作用效果。


圖1是概略表示作為本發明的實施方式的圓筒體的表面檢查裝置的立體圖。圖2是概略表示實施方式的表面檢查裝置的側視圖。圖3是用于對實施方式的表面檢查裝置中的缺陷條狀凹部周邊的直接照明光的反射狀況進行說明的立體圖。圖4A是用于對未缺陷條狀凹部周邊的同軸落射照明光的反射狀況進行說明的正視圖。圖4B是用于對缺陷條狀凹部周邊的同軸落射照明光的反射狀況進行說明的正視圖。圖5是概略表示作為提案技術的圓筒體的表面檢查裝置的立體圖。圖6是概略表示提案技術的表面檢查裝置的正視圖。圖7是用于對提案技術的表面檢查裝置中的缺陷條狀凹部周邊的直接照明光的反射狀況進行說明的立體圖。圖8是概略表示以往的圓筒體的表面檢查裝置的正視圖。圖9是將在圓筒體的表面產生的條狀凹部夸大而表示該圓筒體的立體圖。圖10是用于對以往的表面檢查裝置中的條狀凹部周邊的照明光的反射狀況進行說明的立體圖。
具體實施例方式圖1、2是表示作為本發明的實施方式的圓筒體的表面檢查裝置的圖。如兩圖所示，該表面檢查裝置能夠檢查作為檢查對象物(工件)的圓筒體W的表面。圓筒體W，在例如構成電子照片系統的復印機、打印機、傳真機、復合機中，被用于感光鼓、轉印輥、顯像輥、其他各部。能夠構成這樣的構件的圓筒體W中，作為優選的例子在實施方式中能夠列舉作為復印機和/或打印機等中的感光鼓用的原料管和/或基體而使用的圓筒體W，特別是采用了電子照片系統的復印機和/或打印機。另外，作為感光鼓用基體，指的是進行了切削加工和/或拉拔加工等后而形成感光層之前的管體。另外，在感光鼓用基體上形成了感光層后的管體也能夠構成為作為本發明的檢查對象的圓筒體W。作為圓筒體W的制造方法，能夠列舉擠壓成型以及拉拔成型的組合。另外不用說， 在本發明中，圓筒體W的制造方法并不僅限于此，只要是擠壓成型、拉拔成型、鑄造、鍛造、 注塑成型、切削加工或者它們的組合等能夠制造管體的方法，能夠采用任何方法。另外圓筒體W的材質沒有特別限定，除了各種金屬材料，也能夠應用合成樹脂等， 例如能夠列舉鋁以及鋁合金(1000 7000系)、銅以及銅合金、鋼材、錳以及錳合金。其中鋁合金制的圓筒體W特別適于作為本發明的檢查對象。本實施方式的表面檢查裝置作為基本的構成要素具備配置于圓筒體W的上方的同軸落射照明裝置1和配置于同軸落射照明裝置1的上方的照相機2。同軸落射照明裝置1具備配置于圓筒體W的一端側的軸心方向X的外側的上方的照明光源11，和與照明光源11相對應地配置于圓筒體W的上方并且構成分光器的半透半反鏡13。照明光源11配置成使其發光面12朝向另一端側的狀態，從該發光面12照射的照明光L從圓筒體W的一端側的上部向半透半反鏡13相對于圓筒體W的軸心方向X平行地向另一端側投射。半透半反鏡13沿著圓筒體W的軸心方向整個區域配置于圓筒體W的上方，并且以一端側處于高位另一端側處于低位的方式配置為45°的傾斜姿勢。從而從照明光源11照射而朝向半透半反鏡13的照明光L由半透半反鏡13反射， 從垂直上方落射到圓筒體表面，并且落射到圓筒體表面的照明光L通過圓筒體表面向垂直上方反射，該反射光Lr透過半透半反鏡13。在本實施方式中，同軸落射照明裝置1的照明光源11由例如排列成線或者平面的多個LED和/或熒光燈等能夠得到高亮度的發光單元構成。照相機2以朝向下方的姿勢配置于半透半反鏡13的垂直上方位置。從而由圓筒體表面反射而透過半透半反鏡13的反射光Lr由照相機2獲取。在本實施方式中照相機2由例如沿著圓筒體W的軸心方向X—維地排列有多個光量檢測要素的線性傳感器等構成。在這里在本實施方式中，由半透半反鏡13反射而落射到圓筒體W的照明光L變為其光軸相對于反射光Lr的光軸(照相機2的光軸)一致的所謂的同軸落射照明。在本實施方式中，照相機2構成表面狀態識別單元。另外作為表面狀態識別單元， 也能夠采用測定光量的光量測定單元等。另一方面如圖1所示，本實施方式的表面檢查裝置具備對由照相機2拍攝的反射光圖像進行處理的圖像處理部4，和對處理后的圖像和/或基于該圖像而判定的檢查結果進行顯示的液晶顯示器和/或CRT顯示器等檢查結果顯示部5。進而在本實施方式的表面檢查裝置上設有未圖示的旋轉驅動單元等，所述旋轉驅動單元圍繞軸心旋轉驅動所設置的圓筒體W。另外在本實施方式中，具備根據預定的程序控制表面檢查裝置的動作的控制器。 該控制器由例如微型計算機構成，設定有對由照相機2獲取的圖像數據進行處理的圖像處理用程序。在本實施方式中，該圖像處理用程序作為上述圖像處理部4而起作用。另外控制器基于由圖像處理部4處理的圖像檢查圓筒體W的表面狀態而檢測缺陷部Db的有無，將該檢測結果和/或圖像處理后的缺陷部圖像等圓筒體表面的圖像向上述檢查結果顯示部5輸出。在如上所述那樣構成的本實施方式的表面檢查裝置中，在對圓筒體W的表面狀態進行檢查的情況下，在將圓筒體W設置在預定位置的狀態下，向上述控制器給予檢查開始指令。由此圓筒體W圍繞軸心旋轉驅動，并且將照明光源11點亮。從照明光源11照射的照明光L從圓筒體W的一端側相對于軸心方向X平行地投射，由半透半反鏡13向垂直下方反射。由半透半反鏡13反射的照明光L直角同軸落射到圓筒體W的上側部表面，由該表面向垂直上方反射。進而該反射光Lr透過半透半反鏡13 由照相機2獲取。這樣由照相機2拍攝的拍攝圓筒體表面的反射光圖像由圖像處理部4處理，基于該處理圖像，檢查缺陷部的有無。該缺陷部的有無的判斷基于由照相機2獲取的反射光Lr 的光量進行。即在圓筒體表面中，在沒有凹部等的平坦的區域，照明光L的正反射光Lr較多，反射光圖像的光量較多。與此相對，在存在凹部等的區域，照明光Lr的漫反射增多而正反射光減少，反射光圖像的光量減少。因此基于該光量差，檢測凹部等缺陷部。在這里在本實施方式中，能夠明確區別條狀凹部D中不構成缺陷部的比較淺的未缺陷條狀凹部Da與構成缺陷部的比較深的缺陷條狀凹部Db，能夠可靠地僅檢測缺陷條狀凹部Db。即如圖4A所示在較淺的未缺陷條狀凹部Da的區域，同軸落射的照明光L的漫反射光Ld較少而正反射光Lr較多，與此相對，如圖4B所示在較深的缺陷條狀凹部Db的區域， 照明光Ll的漫反射光Ld較多而正反射光Lr較少。因此，在由照相機2獲取的條狀凹部D 的反射光圖像，在光量比預定值少的情況下判斷為未缺陷條狀凹部Da，在光量較多的情況下判斷為缺陷條狀凹部Db。由此能夠正確地僅檢測缺陷條狀凹部Db作為缺陷部，能夠提高檢測精度。而且本實施方式的表面檢查裝置能夠防止如上述圖5 7所示的提案技術的表面檢查裝置那樣直接照明光Ll的反射光Lld不慎由照相機2獲取。即如已經在上述圖5 7的提案技術中敘述那樣，在來自照明光源101的直接照明光Ll照射到圓筒體表面上的缺陷條狀凹部Db上時，直接照明光Ll由缺陷條狀凹部Db 的內周側面漫反射，漫反射光Lld的一部分由照相機2獲取，使檢測精度下降。與此相對在本實施方式的表面檢查裝置中，將照明光L從圓筒體W的軸心方向X 的一端側沿著軸心方向X照射，所以照明光L沿著條狀凹部D的長度方向照射。因此如圖 1、3所示，在直接照射于圓筒體表面的直接照明光Ll投射于缺陷條狀凹部Db等條狀凹部D 的區域時，正反射光Llr以及漫反射光Lld —起向圓筒體W的另一端側向斜上方反射，反射光Llr、Lld不朝向垂直上方。因此防止了直接照明光Ll的反射光Llr、Lld由照相機2獲取，照相機2的實際的光接收量與由同軸落射照明光L的反射光Lr的產生的光接收量正確地一致，能夠正確地識別例如缺陷條狀凹部Db作為缺陷部，能夠進一步提高檢測精度。另外在上面的說明中，對條狀凹部D判斷是缺陷部還是正常部，但當然不用說，在本實施方式的表面檢查裝置中，也可以基于由照相機2拍攝的反射光圖像，檢測條狀凹部以外的缺陷部，例如條狀以外的凹凸部、傷痕、異物附著、污垢等。如上所述，根據本實施方式的表面檢查裝置，通過同軸落射照明光的反射光圖像識別圓筒體表面的狀態，所以能夠正確地把握表面狀態，能夠提高檢測精度。進而在本實施方式中，從圓筒體W的一端側沿著軸心方向X照射來自照明光源11 的照明光L，所以從照明光源11直接照射于圓筒體表面的直接照明光Ll的反射光不會不慎由照相機2獲取，能夠維持較高的檢測精度。另外在本實施方式的表面檢查裝置中，構成為將同軸落射照明光Ll 一次照射到檢查對象的圓筒體W上的長度方向的整個區域，所以能夠一次檢查圓筒體W的長度方向整個區域，能夠提高檢查效率。另外根據本實施方式的表面檢查裝置，與缺陷部的長度方向平行地照射照明光， 所以即使從照明光源11直接向圓筒體表面照射直接照明光Li，也難以產生漫反射光。因此，不會有較多的漫反射光進入照相機2，不需要另外設置用于防止該進入的光圈(小孔) 和/或平行光照明等光學單元，能夠謀求相應的構造的簡單化以及成本的削減。另外在上述實施方式中，作為缺陷部列舉條狀凹部為例進行說明，但對于條狀凸部也與上述同樣，能夠可靠地區別構成缺陷的較高的凸部與不構成缺陷的較低的凸部，能夠正確地檢測構成缺陷的條狀凸部。另外在上述實施方式中，作為半透半反鏡，使用從圓筒體的一端側到另一端側遍及長度方向整個區域地配置的反射鏡，向圓筒體的長度方向整個區域照射照明光，但并不僅限于此，在本發明中，作為半透半反鏡，也可以使用僅配置于圓筒體的長度方向的一部分的反射鏡，僅向圓筒體的長度方向的一部分照射照明光。在該情況下，能夠謀求同軸落射照明裝置本身的小型緊湊化，進而能夠謀求表面檢查裝置整體的小型緊湊化。進而在使用僅照明圓筒體的一部分的小型的同軸落射照明裝置的情況下，可以構成為能夠在圓筒體W的長度方向上移動同軸落射照明裝置，通過該移動而使得能夠檢查圓筒體W的長度方向整個區域；也可以沿著圓筒體W的長度方向排列多個同軸落射照明裝置， 使得能夠通過各同軸落射照明裝置一次檢查圓筒體W的長度方向整個區域。另外在上述實施方式中，列舉將照明光源、半透半反鏡以及照相機等光學系統部件相對于水平配置的圓筒體配置于上方的情況為例進行說明，但并不僅限于此，在本發明中，只要是與圓筒體的軸心方向正交的徑向外側即圓筒體的側方，可以將光學系統部件配置于任何位置。本申請主張2009年6月23日申請的日本國專利申請的特愿2009-148191號的優先權，其公開內容原樣構成本申請的一部分。必須認識到，這里所使用的用語以及表達是為了說明而使用，并不是為了限定性解釋而使用，并不排除在這里表示并且敘述的特征事項的任何的均等物，也允許本發明的權利要求的范圍內的各種變形。本發明能夠以多種不同的形態具體化，本公開應該視為提供本發明的原理性的實施例，這些實施例的意圖并不是將本發明限定于在這里記載并且/或者圖示的優選的實施方式，基于該了解，在這里記載了較多的圖示實施方式。在這里記載了幾個本發明的圖示實施方式，但本發明并不限定于在這里記載的各種優選的實施方式，也包含具有所有的本領域一般技術人員基于本公開能夠識別的均等的要素、修正、刪除、組合(例如，跨過各種實施方式的特征的組合)、改良以及/或者變更的所有的實施方式。權利要求的限定事項應該基于在該權利要求中使用的用語而較寬地解釋， 并不應該限定于在本說明書或者本申請的執行中記載的實施例，這樣的實施例應該解釋為非排他性的。工業應用前景本發明的表面檢查裝置能夠應用于檢查圓筒體的表面狀態時的檢查裝置。符號說明1 同軸落射照明裝置11 照明光源13:半透半反鏡(分光器)2 照相機(表面狀態識別單元)L:照明光Lr 正反射光W:圓筒體X 軸心方向
權利要求
1.一種圓筒體的表面檢查裝置，該圓筒體的表面檢查裝置具備配置于圓筒體的上方的照明光源、與所述照明光源相對應地配置于圓筒體的上方的分光器和配置于所述分光器的上方的表面狀態識別單元，從所述照明光源照射的照明光由所述分光器反射而同軸落射到圓筒體表面，由該圓筒體表面反射的反射光透過所述分光器，由所述表面狀態識別單元識另Ij，其特征在于從所述照明光源從圓筒體的軸心方向的一端側與軸心方向平行地向另一端側照射照明光。
2.如權利要求1所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中所述分光器配置于圓筒體的軸心方向的至少一部分；由所述分光器反射的照明光落射到圓筒體的軸心方向的一部分。
3.如權利要求1或2所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中所述分光器由半透半反鏡構成。
4.如權利要求1 3中的任意一項所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中作為圓筒體， 使用通過拉拔加工而得到的鋁或者其合金制的拉拔管。
5.如權利要求1 4中的任意一項所述的圓筒體的表面檢查裝置，其中作為圓筒體， 使用感光鼓用基體。
6.一種圓筒體的表面檢查方法，該圓筒體的表面檢查方法由分光器反射從照明光源照射的照明光而使其同軸落射到圓筒體表面，使由該表面反射的反射光透過所述分光器，由表面狀態識別單元識別，其特征在于從所述照明光源從圓筒體的軸心方向的一端側與軸心方向平行地向另一端側照射照明光。
7.一種同軸落射照明裝置，該同軸落射照明裝置使用于基于由圓筒體的表面反射的反射光檢查圓筒體的表面狀態的圓筒體的表面檢查裝置，其特征在于具備照明光源，其配置于圓筒體的上方；和分光器，其與所述照明光源相對應地配置于圓筒體的上方，反射從所述照明光源照射的照明光而使其同軸落射到圓筒體表面，使由該圓筒體表面反射的反射光透過；從所述照明光源從圓筒體的軸心方向的一端側與軸心方向平行地向另一端側照射照明光。
全文摘要
本發明以圓筒體的表面檢查裝置為對象，所述圓筒體的表面檢查裝置具備配置于圓筒體W的上方的照明光源11、與照明光源11相對應地配置于圓筒體W的上方的分光器13和配置于所述分光器13的上方的表面狀態識別單元2，從照明光源11照射的照明光L由分光器13反射而同軸落射到圓筒體表面，由該圓筒體表面反射的反射光Lr透過分光器13，由表面狀態識別單元2識別。本裝置從照明光源11從圓筒體W的軸心方向X的一端側與軸心方向X平行地向另一端側照射照明光L。本發明的裝置能夠僅檢測條狀凹凸部中構成缺陷的條狀凹凸部。
文檔編號G01N21/952GK102460130SQ20108002792
公開日2012年5月16日 申請日期2010年6月18日 優先權日2009年6月23日
發明者若竹克則, 高橋洋恭 申請人:昭和電工株式會社