一種檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置制造方法
【專利摘要】一種檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置，屬于三氯氫硅合成設備【技術領域】，用于檢測合成爐的尾氣中的不凝氣含量。其技術方案是：它包括一臺鹽水冷凝器，在鹽水冷凝器外有保溫層，鹽水冷凝器的進氣口與三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，鹽水冷凝器的出氣口連接尾氣取樣管，鹽水冷凝器與多個三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，在各個三氯氫硅合成爐的尾氣出口管道上安裝有合成爐尾氣閥門。本實用新型將高溫的合成爐尾氣進入鹽水冷凝器冷凝后，不凝氣由取樣口取出，合成爐尾氣閥門可以控制需檢測的合成爐，反應不好的合成爐可停車檢修，避免長期使用造成成本的浪費。本實用新型結構簡單、制作容易、成本低，能有效地解決三氯氫硅合成爐尾氣檢測的問題。
【專利說明】一種檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種檢測三氯氫硅生產中合成爐尾氣中不凝氣含量的裝置，屬于三氯氫硅合成設備【技術領域】。
【背景技術】
[0002]三氯氫硅是生產多晶硅的重要原料，隨著多晶硅在現代科技、國防、工業等領域的廣泛應用，三氯氫硅的生產也得到了快速發展，提高產品質量、降低成本消耗、擴大生產能力、提高尾氣回收利用率是進一步促進生產發展的目標。三氯氫硅生產工藝主要以沸騰氯化法為主，三氯氫硅合成工序是整個三氯氫硅生產中最重要的部分，反應器內最佳溫度一般恒定在325°C左右，在正常反應過程中合成爐尾氣是關閉的。由于很多企業的合成爐尾氣與罐區尾氣、塔的尾氣、膜壓機尾氣及變壓吸附尾氣走一根管道，只能檢測總管尾氣不凝氣含量，無法準確測出各合成爐尾氣不凝氣含量。為了檢測各合成爐的反應情況是否良好，有必要設計對合成爐尾氣進行檢測的專用裝置。
實用新型內容
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置，以檢測各合成爐的尾氣中的不凝氣含量，對合成爐的反應情況進行準確的分析。
[0004]解決上述技術問題的技術方案是:
[0005]一種檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置，它的構成中包括一臺鹽水冷凝器，在鹽水冷凝器外有保溫層，鹽水冷凝器的進氣口與三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，鹽水冷凝器的出氣口連接尾氣取樣管，尾氣取樣管處有通氣孔。
[0006]上述檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置，所述鹽水冷凝器的進氣口通過管道與多個三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，各個三氯氫硅合成爐的尾氣出口管道相并聯，在各個三氯氫硅合成爐的尾氣出口管道上安裝有合成爐尾氣閥門。
[0007]本實用新型的有益效果是:
[0008]本實用新型采用簡單的冷卻裝置，將高溫的合成爐尾氣進入鹽水冷凝器冷凝后，不凝氣由取樣口取出，不凝氣主要組分是氯化氫、氮氣、氫氣等。各個合成爐尾氣出口均有合成爐尾氣閥門控制，如果需檢測哪臺合成爐只需將其尾氣閥門打開，通過檢測到的各個合成爐尾氣含量可得知各合成爐的反應情況，如反應不好的合成爐可停車檢修，避免長期使用造成成本的浪費。本實用新型結構簡單、制作容易、成本低，能有效地解決三氯氫硅合成爐尾氣檢測的問題。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0010]圖中標記如下:鹽水冷凝器1、保溫層2、合成爐尾氣閥門3、尾氣取樣管4、鹽水進水管道5、鹽水回水管道6。【具體實施方式】
[0011]圖中顯示，本實用新型由鹽水冷凝器1、尾氣取樣管4組成。在鹽水冷凝器I外有保溫層2，以-35°的鹽水作為冷卻介質，鹽水冷凝器I上有鹽水進水管道5和鹽水回水管道6。
[0012]圖中顯示，鹽水冷凝器I的進氣口與三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，鹽水冷凝器I的出氣口連接尾氣取樣管4，三氯氫硅合成爐中的尾氣不凝氣從尾氣取樣管4取出，尾氣取樣管4處有通氣孔，目的是保持檢測氣體氣速均勻，取樣的準確性。本實用新型的一個實施例的通氣孔的直徑為2mm。
[0013]圖中顯示，鹽水冷凝器I的進氣口通過管道與多個三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，各個三氯氫硅合成爐的尾氣出口管道相并聯，在各個三氯氫硅合成爐的尾氣出口管道上安裝有合成爐尾氣閥門3。每臺合成爐尾氣測完后合成爐尾氣閥門3均需關閉，合成爐尾氣取樣管4只在測尾氣含量時使用。
[0014]各個合成爐尾氣出口均有合成爐尾氣閥門3控制，如果需檢測哪臺合成爐只需將其合成爐尾氣閥門3打開，通過檢測到的各個合成爐尾氣含量可得知各合成爐的反應情況，如反應不好的合成爐可停車檢修，避免長期使用造成成本的浪費。
【權利要求】
1.一種檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置，其特征在于:它的構成中包括一臺鹽水冷凝器(I)，在鹽水冷凝器(I)外有保溫層(2 )，鹽水冷凝器(I)的進氣口與三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，鹽水冷凝器(I)的出氣口連接尾氣取樣管(4 )，尾氣取樣管(4 )處有通氣孔。
2.根據權利要求1所述的檢測三氯氫硅合成爐尾氣的裝置，其特征在于:所述鹽水冷凝器(I)的進氣口通過管道與多個三氯氫硅合成爐的尾氣出口相連接，各個三氯氫硅合成爐的尾氣出口管道相并聯，在各個三氯氫硅合成爐的尾氣出口管道上安裝有合成爐尾氣閥門(3)。
【文檔編號】G01N33/00GK203616189SQ201320733512
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2013年11月20日 優先權日:2013年11月20日
【發明者】周連會 申請人:唐山三孚硅業股份有限公司