一種向劑量控制器中輸入工藝參數的方法及裝置的制作方法

專利名稱：一種向劑量控制器中輸入工藝參數的方法及裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體工藝設計領域，尤其涉及一種向劑量控制器中輸入工藝參數的 方法及裝置。
背景技術：
在集成電路的制造過程中，摻雜工藝是一項非常重要的生產工藝程序，它被廣泛 應用于集成電路制造的全過程。針對不同功能的產品摻入雜質的元素、雜質離子的數量 (即劑量)及摻雜深度都需要經過精確控制，避免生產出的產品不能達到設計要求而導致 產品報廢的問題。目前，在集成電路制造過程中，摻雜工序主要是通過離子注入機來實現，劑量控制 器是離子注入機的核心部件，主要用于精確控制摻入雜質離子的劑量；如圖1所示為目前 國內6英寸集成電路所用到的離子注入機的劑量控制器的結構示意圖，該離子注入機的型 號比較老，在集成電路制造工藝過程中需要注入離子時，操作人員根據當前的工藝規定，通 過手動的方式在手動輸入按鍵電路將待注入的離子的劑量及相應的修正系數(該修正系 數用于修正生產線上同型號機臺間在劑量控制方面的偏差)輸入到劑量控制器中，以控制 摻入雜質離子的劑量。現有技術通過手動方式將離子劑量與修正系數輸入至劑量控制器的方式雖然能 夠在一定程度上實現精確控制離子的注入劑量，但是仍然還存在以下缺陷(1)由于通過操作人員手動的輸入待注入的離子的相關參數，很可能會由于人為 原因而出錯，從而導致生產出的產品達不到設計要求而產品報廢的問題；一般情況下，成熟 的集成電路生產線存在上百種不同類型的劑量、修正系數，需要操作人員記住每種產品每 個工序需要注入的劑量及修正系數是件很因難的事情，并且很容易出現劑量與修正系數匹 配錯誤而導致向劑量控制器輸入數據的準確性較低、產品報廢率較高的問題。(2)在注入離子的全過程都沒有運行記錄，在后續若產品出現異常時，無法追查產 品出現異常的原因，從而造成故障排查較難的問題。如集成電路的生產周期約為7-30天， 生產流程通常有數百個工藝程序，一旦產品出現異常時很難排查故障。上述兩個技術問題是在集成電路工藝生產過程中注入離子所經常面臨的問題，急 切需要一種解決方案來解決上述問題。

發明內容
本發明實施例提供一種向劑量控制器中輸入工藝參數的方法及裝置，以解決現有 技術中由于人為因素向劑量控制器輸入工藝參數的準確性較低而導致產品報廢率較高的 問題。一種向劑量控制器中輸入工藝參數的裝置，包括輸入設備、中央處理器設備、工藝 參數存儲設備以及模擬按鍵電路設備，其中工藝參數存儲設備，用于以菜單形式存儲工藝參數；
輸入設備，用于輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數的輸入請求，該輸入請求攜 帶有待輸入工藝參數的菜單的標識信息；中央處理器設備，用于根據所述標識信息從所述工藝參數存儲設備中獲取與標識 對應的菜單，向所述模擬按鍵電路設備發送輸入工藝參數的指令；模擬按鍵電路設備，用于根據所述指令向劑量控制器輸入所述菜單中的工藝參數。一種采用上述裝置向劑量控制器中輸入工藝參數的方法，在工藝參數存儲設備中 以菜單的形式存儲工藝參數，包括以下步驟輸入設備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數的輸入請求，該輸入請求攜帶有待 輸入工藝參數的菜單的標識信息；中央處理器設備根據所述輸入設備輸入的標識信息，從所述工藝參數存儲設備中 獲取與標識對應的菜單，并向所述模擬按鍵電路設備發送輸入工藝參數的指令；模擬按鍵電路設備，用于根據所述中央處理器設備發送的指令，向劑量控制器輸 入所述菜單中的工藝參數。本發明實施例中，在工藝參數存儲設備中以菜單的形式存儲工藝參數，當輸入設 備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數的輸入請求(該輸入請求攜帶有待輸入工藝參數 的菜單的標識信息)；中央處理器設備根據所述輸入設備輸入的標識信息，從所述工藝參 數存儲設備中獲取與標識對應的菜單，并向所述模擬按鍵電路設備發送輸入工藝參數的指 令；模擬按鍵電路設備，用于根據所述中央處理器設備發送的指令，向劑量控制器輸入所述 菜單中的工藝參數。采用本發明技術方案，在需要向劑量控制器中輸入工藝參數時，由中央 處理器設備通過模擬按鍵設備將工藝參數輸入至劑量控制器中，克服了現有技術通過人工 向劑量控制器輸入工藝參數而由于人為因素導致輸入工藝參數準確性較低繼而導致產品 報廢率較高的問題。


圖1為本發明實施例中實現向劑量控制器輸入工藝參數的系統的結構示意圖；圖2為本發明實施例中采用如圖1所示的系統向劑量控制器輸入數據的方法流程 圖；圖3為本發明實施例中提供的向劑量控制器輸入工藝參數的具體實現方式的方 法流程圖。
具體實施例方式下面結合說明書附圖對本發明實施例進行詳細的描述。參見圖1，為本發明實施例中實現向劑量控制器輸入工藝參數的系統的結構示意 圖，該結構包括劑量控制器1與劑量控制管理裝置2，其中，劑量控制器1包括手動輸入按鍵 電路11與控制器復位電路12 ；劑量控制管理裝置2包括中央處理器設備21、顯示設備22、 工藝參數存儲設備23、運行記錄存儲設備24、時鐘調節模塊25、輸入設備沈、模擬按鍵電路 設備27、按鍵反饋電路觀以及同步復位電路四，其中模擬按鍵電路設備27、按鍵反饋電路 28以及同步復位電路四組成劑量控制器接口電路，該接口電路用于與劑量控制器1進行信息交互，以完成向劑量控制器1輸入工藝參數(如參雜離子的劑量及其修正系數)；其中中央處理器設備21，用于對整個劑量控制管理裝置2中的各個設備進行控制，如 接收輸入設備26輸入的信息，并根據輸入信息控制其他設備進行相應的操作。輸入設備沈，與中央處理器設備21的外部中斷引腳相連，作為整個劑量控制管理 裝置2的輸入設備，為操作人員提供編輯菜單與調選菜單的平臺。顯示設備22，與中央處理器設備21相連，作為劑量控制管理裝置2的顯示界面，以 顯示操作行為與報警提示等，該顯示設備22可采用具備圖文功能的IXD(Liquid Crystal Display Panel，液晶顯示屏)顯示器實現。工藝參數存儲設備23，與中央處理器設備21相連，用于接收到中央處理器設備21 的控制指令之后，以菜單的形式存儲操作人員通過輸入設備沈輸入的工藝參數(如劑量 與修正系數)，該工藝參數存儲設備23可采用大容量的EEPROM(ElectricalIy Erasable Programmable Read-Only Memory，電可擦可編程只讀存儲器)芯片或其他較為常規的存儲 芯片實現。運行記錄存儲設備M，與中央處理器設備21連接，用于實時記錄工藝參數存儲設 備23中存儲的菜單被調用的起始時間、終止時間、被調用的菜單的標識信息(如菜單名稱、 ID號)等運行記錄信息。時鐘調節模塊25，與中央處理器設備21連接，用于為劑量控制管理裝置2提供準 確的實時時間，并在接收到中央處理器設備21的時間調整指令之后，根據輸入設備沈輸入 的時間信息更新時間。模擬按鍵電路設備27，與手動輸入按鍵電路11電氣連接，并且還與中央處理器設 備21相連，用于在接收到中央處理器設備21的信息輸入指令之后，模擬人工按鍵過程將工 藝參數輸入至劑量控制器1的手動輸入按鍵電路11中。按鍵反饋電路觀，分別與中央處理器設備21和手動輸入按鍵電路11連接，用于監 控模擬按鍵電路設備27是否已經成功將待輸入工藝參數輸入至手動輸入按鍵電路11中。同步復位電路四，與劑量控制器1中的控制器復位電路12電氣連接，并與中央處 理器設備21連接，用于檢測控制器復位電路12的復位信號，并根據該復位信號對劑量控制 管理裝置2與劑量控制器1完成同步復位。為了更清楚的描述本發明技術方案，下面以一具體的方法流程對本發明技術方案 進行詳細的描述，該方法流程如圖2所示。參見圖2，為本發明實施例中采用如圖1所示系統向劑量控制器輸入工藝參數的 方法流程圖，工藝參數存儲設備23以菜單的形式存儲工藝參數，該方法包括步驟步驟201、中央處理器設備21接收用戶通過輸入設備沈輸入的用于表征向劑量控 制器2輸入工藝參數(如摻入雜質的劑量與修正系數)的輸入請求，該輸入請求中攜帶工 藝參數對應的菜單的標識信息(如菜單名稱或ID號等用于唯一標識該菜單的標識信息)。步驟202、中央處理器設備21根據接收到的輸入請求中的標識信息，從工藝參數 存儲設備23中獲取標識所對應的菜單。步驟203、中央處理器設備21將獲取到的菜單中的工藝參數通過模擬按鍵電路27 輸入至劑量控制器1中的手動輸入按鍵電路11中。較佳地，為了更好的保證模擬按鍵設備28成功的向劑量控制器1中的手動輸入按鍵電路11輸入工藝參數，以保證工藝流程的正常進行，中央處理器設備21在通過模擬按鍵 設備觀向劑量控制器1的手動輸入按鍵電路11的過程中向模擬按鍵設備觀輸入高電平 信號(或低電平信號)，該高電平信號(或低電平信號)通過手動輸入按鍵電路11、按鍵反 饋電路28之后返回至中央處理器設備21，上述流程還包括步驟204、中央處理器設備21將按鍵反饋電路觀返回的信號與之前向模擬按鍵設 備觀輸入高電平信號(或低電平信號)是否一致，當不一致時，確定該模擬按鍵設備觀未 能成功的向劑量控制器1中輸入工藝參數時，中央處理器設備21啟動重輸入機制，重新通 過模擬按鍵電路設備27向劑量控制器1輸入工藝參數，以保證向劑量控制器1輸入工藝參 數的實時性與準確性。較佳地，為了實現實時的跟蹤運行記錄，為后續故障排查提供依據，上述流程還包 括以下步驟步驟205、在中央處理器設備21通過模擬按鍵電路設備27成功向劑量控制器1中 輸入工藝參數之后，運行記錄存儲設備M記錄該菜單被調用的起始時間、終止時間以及該 被調用的菜單的名稱等信息。該步驟中，菜單被調用的起始時間設置為模擬按鍵設備觀成功向劑量控制器1成 功輸入工藝參數的時間，菜單終止時間設置為下一個菜單被調用的起始時間，即下一菜單 被調用的起始時間與該菜單被調用的終止時間相同。較佳地，為保證運行記錄存儲設備M記錄的運行記錄在時間上的準確性，本發明 實施例還提供了系統時間調整操作，該操作可以是在步驟201之前執行，也可以是在步驟 205之前的任意步驟之前完成，該操作通過中央處理器設備21根據用戶通過輸入設備沈輸 入的時間調整請求時(改時間調整請求中攜帶有準確的時間信息)，由中央處理器設備21 向時鐘調節模塊25發送時鐘調整指令，以指示時鐘調節模塊25根據接收到的時間調整請 求中的時間信息更新時間。較佳地，為保證實時的更新工藝參數存儲設備23中存儲的信息，本發明實施例為 用戶提供菜單編輯界面，以方便操作人員實時的對工藝參數存儲設備23中的信息進行更 新；進一步的，為更好的保證工藝參數存儲設備23中存儲的菜單信息的安全性，以避免非 操作人員由于人為因素錯誤刪除、增加或修改菜單中的工藝參數，本發明實施例還提供用 戶登錄操作，只允許擁有菜單編輯權限的用戶在登錄成功之后進入菜單編輯界面，以完成 對工藝參數存儲設備23中的信息進行更新。下面以向劑量控制器1輸入參雜離子的劑量與修正系數為例對本發明技術方案 進行詳細的描述，該流程如圖3所示。參見圖3，為本發明實施例中提供的向劑量控制器輸入工藝參數的具體實現方式 的方法流程圖，當用戶通過輸入設備沈輸入菜單選擇請求時，則執行以下步驟331 335， 并在根據需要將選取的菜單的劑量與修正系數輸入到劑量控制器1時，還執行步驟351 354 ；當輸入菜單編輯請求時，則執行步驟371 374 ；當輸入用戶登錄信息修改請求時，則 執行步驟341 347 ；當輸入系統時間調整請求時，則執行步驟361 364 ；該流程包括以下 步驟步驟311、對劑量控制管理裝置2與劑量控制器1進行同步復位，劑量控制管理裝 置2中的中央處理器設備21接收用戶通過輸入設備沈輸入的輸入信息。
該步驟中，輸入設備沈為普通的PS/2鍵盤，用戶可通過按鍵Fl輸入菜單選擇請 求，通過按鍵F2輸入菜單編輯請求，通過按鍵F3輸入用戶登錄信息修改請求，通過按鍵F9 輸入系統時間調整請求，以及通過按鍵F12輸入向劑量控制器1輸入劑量與修正系數的請 求。步驟321、中央處理器設備21根據接收到的輸入信息向相應設備發出指令信息， 以指示相應設備進行相應的操作。該步驟中，當中央處理器設備21接收到的輸入信息菜單選擇請求時，則啟動并執 行以下步驟331 335 ；當中央處理器設備21接收到的輸入信息為菜單編輯請求時，則啟 動并執行步驟371 374 ；當中央處理器設備21接收到的輸入信息為用戶登錄信息修改請 求時，則啟動并執行步驟341 347 ；當中央處理器設備21接收到的輸入信息為向劑量控 制器1輸入劑量與修正系數的請求時，則啟動并執行步驟351 354 ；當中央處理器設備21 接收到的輸入信息為系統時間調整請求時，則啟動并執行步驟361 364。步驟331 335、中央處理器設備21指示顯示設備22在顯示界面顯示菜單選擇界 面，并提示用戶輸入待選取菜單的標識信息(如菜單名稱、ID號等)；根據接收到的菜單的 標識信息在工藝參數存儲設備23中進行查詢匹配，當匹配到該待選取菜單時，讀取該菜單 的劑量與修正系數，并在界面上顯示待選取菜單的劑量與修正系數，若不能在工藝參數存 儲設備23中查詢到該待選取菜單，則返回至菜單選取界面并提示用戶選取的菜單不存在。步驟351 354、中央處理器設備21接收用戶發送的向劑量控制器1輸入劑量 與修正系數的請求，若該提交請求中沒有攜帶選取的菜單的標識信息，則判斷該用戶還未 選取菜單并提示用戶選取菜單；若用戶發送的菜單提交請求中攜帶有選取的菜單的標識信 息，則通過模擬按鍵設備27將該選取的菜單的劑量與修正系數輸入到劑量控制器1的手動 輸入按鍵電路11中。步驟341 347、中央處理器設備21指示顯示設備22在顯示界面顯示用戶登錄界 面，并提示用戶輸入用戶登錄信息(包括用戶名與密碼)，根據用戶輸入的用戶名與密碼對 該用戶的身份進行驗證，在驗證成功后提示用戶輸入新的用戶登錄信息，并保存輸入的新 的用戶登錄信息，在驗證身份不成功時，則返回用戶登錄界面，并提示用戶重新輸入用戶登 錄信息。步驟361 364、中央處理器設備21指示顯示設備22在顯示界面顯示時間編輯界 面，并提示用戶輸入新的時間，再向時間調節模塊25發送時間調整指令，以指示時間調整 模塊25根據用戶輸入的時間更新時間。步驟371 374、中央處理器設備21指示顯示設備22在顯示界面顯示菜單編輯登 錄界面，并提示用戶輸入用戶登錄信息(包括用戶名、密碼)；中央處理器設備21對用戶輸 入的登錄信息進行驗證，在驗證成功之后指示顯示設備22在顯示界面顯示菜單編輯界面， 并將用戶輸入的菜單名及其對應的劑量與修正系數保存至工藝參數存儲設備23中。上述步驟374中還包括步驟3740 3749，其中步驟3740、用戶通過輸入設備沈輸入退出編輯菜單請求；中央處理器設備21退 出菜單編輯界面。步驟3741 3742、用戶通過輸入設備沈輸入編輯菜單名稱的請求(該請求中攜 帶有需要編輯的菜單的名稱)；中央處理器設備21緩存編輯后的菜單名稱。
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該步驟中，用戶可通過輸入設備沈的按鍵F4輸如編輯菜單名稱的請求；中央處理 器設備21接收到該編輯菜單名稱的請求后，指示顯示設備22在顯示界面顯示菜單名編輯 框。步驟3743 3744、用戶通過輸入設備沈輸入編輯劑量的請求(該請求中攜帶有 需要編輯的劑量)，中央處理器設備21緩存編輯后的劑量。 該步驟中，用戶可通過輸入設備沈的按鍵F5輸入編輯劑量的請求；中央處理器設 備21接收到該編輯劑量請求后，指示顯示設備22在顯示界面顯示劑量編輯框。步驟3745 3746、用戶通過輸入設備沈輸入編輯修正系數的請求；中央處理器 設備21緩存編輯后的修正系數。該步驟中，用戶可通過輸入設備沈的按鍵F6輸入編輯修正系數的請求；中央處理 器設備21接收到編輯修正系數的請求之后，指示顯示設備22在顯示界面顯示修正系數編 輯框。步驟3747 3748、用戶輸入的菜單上翻或下翻請求；中央處理器存儲模塊指示顯 示設備22將上一或下一菜單以可編輯的形式展現在顯示界面。步驟3749、用戶輸入表征菜單編輯結束信息時，中央處理器存儲模塊21將用戶在 該次編輯所編輯的菜單的信息存儲至工藝參數存儲設備23中。該步驟中，用戶可通過輸入設備沈的按鍵FlO輸入表征菜單編輯結束的信息；中 央處理器設備21接收到該表征菜單編輯結束的信息時，將編輯后的菜單信息存儲至工藝 參數存儲設備23中。采用本發明技術方案，由于在工藝參數存儲設備中預先以菜單的形式存儲有工藝 參數，當輸入設備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數的輸入請求(該輸入請求攜帶有待 輸入工藝參數的菜單的標識信息)，中央處理器設備根據輸入設備輸入的輸入請求，從工 藝參數存儲設備中獲取與標識對應的菜單，并向模擬按鍵電路設備發送輸入工藝參數的指 令；模擬按鍵電路設備再根據中央處理器設備發送的指令向劑量控制器輸入該菜單中的工 藝參數；因此，采用本發明技術方案通過調用工藝參數存儲設備中的菜單即可將該菜單中 的工藝參數輸入至劑量控制器中，以克服了每次需要向劑量控制器輸入工藝參數時需要通 過人工的方式輸入相應的工藝參數而導致由于人為因素輸入工藝參數錯誤，繼而導致生產 出的產品報廢率較高的問題；另外，本發明技術方案中，在模擬按鍵設備在向劑量控制器輸 入工藝參數之后，中央處理器設備啟動運行記錄存儲設備記錄菜單被調用的起始時間、終 止時間以及菜單名稱等信息，從而為后續進行故障排查提供了依據，更快速、有效的定位出 故障原因。顯然，本領域的技術人員可以對本發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精 神和范圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍 之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求
1.一種向劑量控制器中輸入工藝參數的裝置，其特征在于，包括輸入設備、中央處理器 設備、工藝參數存儲設備以及模擬按鍵電路設備，其中工藝參數存儲設備，用于以菜單形式存儲工藝參數；輸入設備，用于輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數的輸入請求，該輸入請求攜帶有 待輸入工藝參數的菜單的標識信息；中央處理器設備，用于根據所述標識信息從所述工藝參數存儲設備中獲取與標識對應 的菜單，向所述模擬按鍵電路設備發送輸入工藝參數的指令；模擬按鍵電路設備，用于根據所述指令向劑量控制器輸入所述菜單中的工藝參數。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括運行記錄存儲設備；所述中央處理器設備進一步用于，在向所述劑量控制器輸入工藝參數之后，啟動運行 記錄存儲設備；運行記錄存儲設備，用于記錄所述菜單被調用的起始時間、停止時間以及該菜單的標 識fe息。
3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括時間調節模塊；所述輸入設備進一步用于，輸入時間調整請求，該請求中攜帶有時間信息；所述中央處理器設備進一步用于，根據所述時間調整請求向所述時間調節模塊發送 時間調整指令，以指示所述時間調節模塊根據所述時間調整請求中攜帶的時間信息調整時 間；時間調節模塊，用于根據所述時間調整請求中攜帶的時間信息調整時間。
4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括按鍵反饋電路，其中按鍵反饋電路，用于檢測所述中央處理器設備是否成功向所述劑量控制器輸入工藝參 數；若否，則向所述中央處理器設備發送工藝參數傳輸失敗通知消息；所述中央處理器設備進一步用于，在接收到所述失敗通知消息之后，重新向所述劑量 控制器輸入工藝參數。
5.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括同步復位電路，其中同步復位電路，用于檢測所述劑量控制器的控制器復位電路的復位信號，在所述復位 信號表征復位時，根據所述復位信號完成所述裝置與所述劑量控制器之間的同步復位。
6.一種采用如權利要求1所述裝置向劑量控制器中輸入工藝參數的方法，其特征在 于，在工藝參數存儲設備中以菜單的形式存儲工藝參數，包括以下步驟輸入設備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數的輸入請求，該輸入請求攜帶有待輸入 工藝參數的菜單的標識信息；中央處理器設備根據所述輸入設備輸入的標識信息，從所述工藝參數存儲設備中獲取 與標識對應的菜單，并向所述模擬按鍵電路設備發送輸入工藝參數的指令；模擬按鍵電路設備，用于根據所述中央處理器設備發送的指令，向劑量控制器輸入所 述菜單中的工藝參數。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述中央處理器設備在所述模擬按鍵電路 設備向所述劑量控制器輸入工藝參數之后，所述中央處理器設備啟動運行記錄存儲設備；運行記錄存儲設備記錄所述菜單被調用的起始時間、停止時間以及該菜單的標識信息。
8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述輸入設備在所述中央處理器設備啟動 運行記錄存儲設備之前，輸入時間調整請求，該請求中攜帶有時間信息；所述中央處理器設備根據所述輸入設備輸入的時間調整請求向時間調節模塊發送時 間調整指令；時間調節模塊，用于在接收到所述中央處理器設備發送的時間調整指令之后，根據所 述時間調整請求中攜帶的時間信息調整時間。
9.如權利要求6所述的方法，其特征在于，在所述模擬按鍵設備向所述劑量控制器輸 入工藝參數之后，還包括按鍵反饋電路檢測所述中央處理器設備是否成功向所述劑量控制器輸入工藝參數；若 否，則向所述中央處理器設備發送工藝參數傳輸失敗通知消息；所述中央處理器設備在接收到所述失敗通知消息之后，重新向所述劑量控制器輸入工 藝參數。
10.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述裝置還包括同步復位電路；所述同步復位電路檢測所述劑量控制器的控制器復位電路的復位信號，在所述復位信 號表征復位時，根據所述復位信號完成所述裝置與所述劑量控制器之間的同步復位。
全文摘要
本發明公開了一種向劑量控制器中輸入工藝參數的方法及裝置，以解決現有技術由于人為因素向劑量控制器輸入工藝參數的準確性較低而導致產品報廢率較高的問題。該方法包括在工藝參數存儲設備中以菜單的形式存儲工藝參數，當輸入設備輸入表征向劑量控制器輸入工藝參數的輸入請求時；中央處理器設備根據所述輸入請求從所述工藝參數存儲設備中獲取相應的菜單，并向所述模擬按鍵電路設備發送輸入該菜單工藝參數的指令；模擬按鍵電路設備，用于根據所述中央處理器設備發送的指令，向劑量控制器輸入所述菜單中的工藝參數。采用本發明技術方案提高了向劑量控制器輸入工藝參數的準確性，從而降低了產品報廢率。
文檔編號G05B19/04GK102096377SQ20091024184
公開日2011年6月15日 申請日期2009年12月10日 優先權日2009年12月10日
發明者林偉旺 申請人:北大方正集團有限公司, 深圳方正微電子有限公司