專利名稱：薄片盤狀物清洗甩干器的制作方法
技術領域：
本發明涉及集成電路加工工藝技術領域，特別涉及一種薄片盤狀物清洗甩干器。
背景技術：
在集成電路的加工工藝過程中，薄片盤狀物，例如晶片或硅片，在出廠時其背面由于附著有各種雜質因而需要用化學藥液清洗掉，清洗之后背面會殘留有化學藥液，而且在臨界加工狀態過程中也會產生一些顆粒附著在其背面，這些殘留的藥液和顆粒均需要清洗掉。現有技術中一種傳統的清洗方法為旋轉薄片薄片盤狀物，并在薄片薄片盤狀物的表面噴灑另一種液體來清洗掉之前的化學藥液，旋轉產生的離心力可以甩干薄片薄片盤狀物表面的化學藥液，這種方法的缺陷是仍會留下這一種液體的化學殘留；另一種清洗方法是旋轉薄片薄片盤狀物，然后向其噴灑另一種液體和噴射氮氣(或者其他類型的氣體)，氣體用來幫助甩干薄片薄片盤狀物表面的液體，這種方法的缺陷是會留下液體印。
發明內容
(一 )要解決的技術問題本發明要解決的技術問題是如何徹底、快速的將集成電路的薄片盤狀物上附著的藥液殘留和顆粒清洗干凈。( 二 )技術方案為了解決上述技術問題，本發明提供了一薄片盤狀物清洗甩干器，包括:甩干裝置，其上具有第一噴嘴、第二噴嘴和真空孔，分別與液體管、氣體管和真空管連接；卡盤，設置在所述甩干裝置的下方，能夠與所述甩干裝置一起旋轉。進一步的技術方案是，所述甩干裝置包括交叉設置的第一甩干臂和第二甩干臂，所述第一甩干臂中具有與第一噴嘴連通的液體管路，所述第二甩干臂中具有與第二噴嘴連通的氣體管路。進一步的技術方案是，所述第二甩干臂兩端的真空孔與其內部的真空管路連接。進一步的技術方案是，第一甩干臂和第二甩干臂的交叉點設置有通管。進一步的技術方案是，所述卡盤包括若干根支架，各個所述支架的連接端設置有通孔。進一步的技術方案是，所述通管位于所述通孔中。進一步的技術方案是，所述支架為L型，一端連接，另一端朝向上方且具有卡件。進一步的技術方案是，所述卡盤與驅動裝置連接。進一步的技術方案是，所述支架的個數為三個。(三)有益效果上述技術方案具有如下有益效果:通過采用氣體和藥液同時作用在薄片盤狀物背部，對其進行清洗和甩干，并通過對殘留液滴進行抽真空，能夠將薄片盤狀物背面的藥液殘留和顆粒徹底清洗干凈，保證薄片盤狀物的無污染，且本裝置結構簡單、易于實現。
圖1是本發明實施例的薄片盤狀物清洗甩干器的結構分解示意圖；圖2是本發明實施例的薄片盤狀物清洗甩干器的結構示意圖；圖3是本發明實施例的薄片盤狀物清洗甩干器的俯視圖；圖4是本發明實施例的薄片盤狀物清洗甩干器的甩干臂的剖視圖。其中，2:薄片盤狀物；4:甩干裝置；41:第一甩干臂；42:第二甩干臂；43:第一噴嘴；44:第二噴嘴；45:氣體管路；46:真空管路；47:真空孔；48:通管；49:液體管路；5:卡盤；51:支架；52:通孔；6:液體管；7:氣體管；8:真空管。
具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發明，但不用來限制本發明的范圍。如圖1-圖4所示，本發明實施例提供的薄片盤狀物清洗甩干器，包括:卡盤5，甩干裝置4、三條管路以及薄片盤狀物2。其中，卡盤5為三腳支架，兩兩支架51之間呈120°夾角，其連接處具有通孔52，三根支架51均為L型，一端朝向上方，朝向上方這一段設置有卡槽或其它卡件用于支撐薄片盤狀物2。卡盤5與驅動裝置，比如電機連接，驅動裝置用于驅動卡盤5旋轉。甩干裝置4，包括第一甩干臂41和第二甩干臂42。兩個甩干臂41和42互相垂直呈十字型，第一甩干臂41的上表面具有若干個第一噴嘴43，第二甩干臂42的上表面具有若干個第二噴嘴44。其中第一噴嘴43用于噴灑藥液，第一甩干臂41內部具有藥液管路49，藥液管路49與第一噴嘴43連接；第二噴嘴44用于噴出氣體。第二甩干臂42內部具有氣體管路45，第二噴嘴44與氣體管路45相通；第二甩干臂42上還具有兩條真空管路46，且第二甩干臂42的兩端分別具有兩個真空孔47，真空孔47與真空管路46連接。真空孔47和真空管路46也可以設置在用于噴射藥液的第一甩干臂41上。第一甩干臂41和第二甩干臂42的連接處具有通管48，通管48位于卡盤5的通孔52中。通管48的下端接三根管子，分別是液體管6、氣體管7和真空管8 ;液體管6與液體管路49連接，氣體管7與氣體管路45連接，真空管8與真空管路46連接。其中，薄片盤狀物2和第一噴嘴43、第二噴嘴44之間的距離取決于第一噴嘴43、第二噴嘴44的形狀和噴射包絡。薄片盤狀物2和第一甩干臂41、第二甩干臂42之間的距離同樣取決于噴嘴形狀和噴射包絡以及噴射速度等。下面簡述本發明提供的薄片盤狀物清洗甩干器的工作原理:當驅動裝置驅動卡盤5高速旋轉起來之后，控制液體管6向藥液管路49中輸送藥液，藥液從第一甩干臂41的第一噴嘴43中噴出，噴向薄片盤狀物2的背面，對薄片盤狀物2的背面進行清洗；液體管6輸送藥液的同時啟動氣體管7向氣體管路45輸送氣體，例如氮氣或者其它氣體，氣體從第二噴嘴44中噴出，用于對薄片盤狀物2背面的藥液進行攪動，使得藥液對薄片盤狀物2背面的清洗更為均勻，并將薄片盤狀物2背面的液滴甩干。當藥液對薄片盤狀物2快清洗完時，卡盤5由高速旋轉調整為低速旋轉，這時薄片盤狀物2的背面只剩下細小液滴，這時可以控制液體管6停止送液，啟動真空管8進行抽真空，薄片盤狀物2背面的殘留液滴在真空負壓的作用下通過真空孔47被吸入到真空管路46中，隨著卡盤5的旋轉，液滴移動到薄片盤狀物2的邊緣也會掉到真空孔47中。為了保證薄片盤狀物2背面清洗的徹底，氣體管7要一直噴射氣體。由以上實施例可以看出，本發明實施例通過采用氣體和藥液同時作用在薄片盤狀物背部，對其進行清洗和甩干，并通過對殘留液滴進行抽真空，能夠將薄片盤狀物背面的藥液殘留和顆粒徹底清洗干凈，保證薄片盤狀物的無污染，且本裝置結構簡單、易于實現。以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變型，這些改進和變型也應視為本發明的保護范圍。
權利要求
1.一種薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，包括: 甩干裝置，其上具有第一噴嘴、第二噴嘴和真空孔，分別與液體管、氣體管和真空管連接; 卡盤，設置在所述甩干裝置的下方，能夠與所述甩干裝置一起旋轉。
2.如權利要求1所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述甩干裝置包括交叉設置的第一甩干臂和第二甩干臂，所述第一甩干臂中具有與第一噴嘴連通的液體管路，所述第二甩干臂中具有與第二噴嘴連通的氣體管路。
3.如權利要求2所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述第二甩干臂兩端的真空孔與其內部的真空管路連接。
4.如權利要求2所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，第一甩干臂和第二甩干臂的交叉點設置有通管。
5.如權利要求4所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述卡盤包括若干根支架，各個所述支架的連接端設置有通孔。
6.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述通管位于所述通孔中。
7.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述支架為L型，一端連接，另一端朝向上方且具有卡件。
8.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述卡盤與驅動裝置連接。
9.如權利要求5所述的薄片盤狀物清洗甩干器，其特征在于，所述支架的個數為三個。
全文摘要
本發明涉及集成電路加工工藝技術領域，具體公開了一種薄片盤狀物清洗甩干器，包括甩干裝置，其上具有第一噴嘴、第二噴嘴和真空孔，分別與液體管、氣體管和真空管連接；卡盤，設置在所述甩干裝置的下方，能夠與所述薄片盤狀物一起旋轉。本發明實施例通過采用氣體和藥液同時作用在薄片盤狀物背部，對其進行清洗和甩干，并通過對殘留液滴進行抽真空，能夠將薄片盤狀物背面的藥液殘留和顆粒徹底清洗干凈，保證薄片盤狀物的無污染，且本裝置結構簡單、易于實現。
文檔編號H01L21/00GK103177934SQ201110441878
公開日2013年6月26日 申請日期2011年12月26日 優先權日2011年12月26日
發明者凱里·雷, 王浩 申請人:北京七星華創電子股份有限公司