專利名稱：用于pecvd工序中承載石墨舟的推車的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池生產技術領域，尤其涉及一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車。
背景技術：
太陽能電池片生產過程中，多采用PECVD工序進行鍍膜(PECVD工序，即等離子體增強型化學氣象沉積工序)。在操作過程當中，需要通過推車來承載/轉運石墨舟，通過人工操作對石墨舟進行插卸硅片的操作以進行PECVD工序。如圖1所示，現有技術中的石墨舟200是水平放置在推車100的平臺1001上的，操作人員只能以垂直方式進行插卸硅片的操作，由于石墨舟體積比較大，具有相當的寬度，操作人員很難以完全垂直視角的方式進行操作，無法完整地觀察石墨舟內的工藝點，只能靠經驗和感覺完成對整個石墨舟的插卸硅片操作。這種操作方式一方面大大增加了工作強度，使操作人員易于疲勞，另一方面，即使是經驗豐富、操作熟練的技術工人使用這種帶有操作盲區的工裝設備也會大大增加硅片的報廢率。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，操作人員在插卸硅片的時候能夠清晰看見石墨舟內的工藝點。為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架，還包括用于承托所述石墨舟的承托架，所述承托架的相對兩端分別樞接于所述車架的相對兩端，所述車架設有使所述承托架處于水平位置的第一限位裝置和使所述承托架處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置。作為優選，所述夾角的大小為20度到30度之間。作為優選，所述夾角的大小為25度。作為優選，還包括氣缸，所述氣缸的活塞桿與所述車架鉸接，所述氣缸的缸體與所述承托架鉸接。作為優選，所述氣缸的活塞桿與所述車架的鉸接處設有固定所述氣缸的調整螺母。作為優選，所述車架的相對兩端均設置有軸套座，所述承托架的相對兩端均相應設置有樞接于所述軸套座上的轉軸。作為優選，所述承托架設置有把手。 作為優選，所述車架上設置有托盤，所述托盤位于所述承托架的下方。 與現有技術相比，本實用新型的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的有益效果在于承托架以樞接方式安裝在車架上，通過限位裝置將承托架卡持在最佳的操作位置插卸硅片，操作人員可清晰看見石墨舟內的工藝點，大大減少了插片難度，降低了員工的工作強度和硅片報廢率，提高了產能。
圖1為現有技術的承載石墨舟的推車與石墨舟的立體結構示意圖；圖2為本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車與石墨舟的立體結構示意圖；圖3為本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的正面示意圖；圖4為圖3中A部分結構的放大示意圖；圖5為本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的側面示意
圖。[0018]主要附圖標記說明[0019]100-推車1001-平臺[0020]200-石墨舟[0021]1-車架[0022]11-第一限位裝置12-第二限位裝置[0023]13-軸套座14-導向輪[0024]15-卡鉤16-托盤[0025]2-承托架[0026]21-轉軸[0027]3-氣缸4-調整螺母
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車作進一步詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。圖2為本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車與石墨舟的立體結構示意圖，圖3為本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的正面示意圖，圖4為圖3中A部分結構的放大示意圖，圖5為本實用新型的實施例的用于PECVD 工序中承載石墨舟的推車的側面示意圖。如圖2、圖3、圖4和圖5所示，本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架1，還包括用于承托石墨舟200的承托架2，承托架2的相對兩端分別樞接于車架1的相對兩端。如圖2所示，本實施例中樞接采用轉軸連接方式，車架1的相對兩端均設置有軸套座13，承托架2的相對兩端均相應設置有樞接所述軸套座的轉軸21。當然，也可以采用在車架上設置軸，而在承托架上相應設置軸套的方式實現樞接。承托架2承托石墨舟200在車架1上以圖2示的X軸沿a方向轉動。這種結構設置使得承托架2與車架1的樞接結構簡單、牢固，安裝方便。同時，由于石墨舟體積大、比較沉重，可以在轉軸21與軸套座13之間設有阻尼，使得承托架2能夠承托石墨舟 200緩慢地轉動，減少了石墨舟摔落、磕碰等產品安全事故。這樣的結構設置使得承托架2 能夠承托石墨舟2在車架1上傾斜轉動，操作人員對傾斜石墨舟進行插卸硅片操作時符合人體工程學，同時操作人員能夠全視角地觀察到石墨舟，清晰地看到石墨舟內的工藝點，減少了插片難度，降低了員工的工作強度和硅片報廢率，提高了產能。[0030]如圖2所示，本實施例中，車架1的兩側分別設有用于限制承托架2處于水平位置的第一限位裝置11和使承托架2處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置12。本實施例給出的實施方式是，如圖2所示，將第一限位裝置11和第二限位裝置12的底部設置于同一水平面上并且第一限位裝置11高于第二限位裝置12，第一限位裝置11的高度能夠使承托架2處于水平位置，第二限位裝置12的高度能夠使承托架2處于與水平位置成一夾角的位置。操作時，操作人員將石墨舟200通過導向輪14置于承托架2上，并且將石墨舟 200用卡鉤15固定好。此時，第一限位裝置11限制承托架2于水平位置，不會晃動。松開第一限位裝置11，由于受重力作用，承托有石墨舟200的承托架2轉動，當承托架2轉動至與水平位置成一夾角的位置時，遇到第二限位裝置12，第二限位裝置12將承托架2卡持住。 作為優選，所述的夾角可在20度到30度之間進行選擇，如21度、22度、25度J6度、27度 30度等。此時，操作人員對處于傾斜20度至30度的承托架2上的石墨舟200插卸硅片。 20度至30度之間的角度是操作人員普遍感覺舒適并且操作視角較好的角度，當然，可以根據實際情況適當調整第二限位裝置12的高度。作為本實施例的更進一步的優選方案，所述的夾角為25度。經過測試，承托架2傾斜至與水平夾角為25度是操作人員手感最佳并且操作視角最好的角度。作為一種改進，本實用新型的實施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車還包括氣缸3，氣缸3的活塞桿與車架1鉸接，氣缸3的缸體與承托架2鉸接；或者，氣缸3的活塞桿與承托架2鉸接，氣缸3的缸體與車架1鉸接。如圖2、圖3、圖4和圖5所示，本實施例給出的實施方式是氣缸3的活塞桿與車架1鉸接，氣缸3的缸體與承托架2鉸接。作為更進一步改進，氣缸3的活塞桿與車架1的鉸接處設有固定氣缸3的調整螺母4。當將石墨舟200水平置于承托架2上時，調整螺母4處于緊固狀態，氣缸3通過調整螺母4固定在車架1上，對承托架2起到一定的支撐作用。當承托架2以圖2示X軸沿a方向轉動時，松開調整螺母4，承托架2牽動氣缸3分別與承托架2和車架1相對轉動，并且氣缸3的活塞桿與缸體相對伸縮運動，氣缸3的活塞桿與缸體之間的作用力給承托架2的轉動以阻尼，保證承托架2承托石墨舟200安全、平穩地轉動，不會由于速度過快而造成石墨舟200的滑落、 磕碰等產品安全事故。當承托架2轉動至操作人員所需要的角度位置時(例如，與水平位置的夾角為25度的位置)，固緊調整螺母4，固定了氣缸3與車架1的相對位置，對承托架2 起到一定支撐作用，這樣可以最大程度避免承托架2的晃動，從而影響插卸硅片的質量。當然，氣缸3的缸體端與承托架2的鉸接處也可以相應設置調整螺母，進一步穩固承托架2。作為另一種改進，為了解決由于石墨舟比較重、體積大帶來的對承托架2的轉動操作比較困難的問題，如圖2、圖3所示，承托架2設置有把持承托架轉動的把手22，操作人員可以在承托架2傾斜轉動過程中，輕松地通過把手22操縱承托架2，進一步保障產品的安全。同時，第一限位裝置11和第二限位裝置12可以通過卡持把手22來限制承托架2，結構簡單，便于操作者操作。作為改進，如圖2所示，車架1上設置有托盤16，托盤16位于承托架2的下方。托盤16用于收集石墨舟中掉落的硅片和碎片，這樣的結構設置使得裂損的硅片以及碎片能夠掉在托盤16上，便于回收，有利于潔凈廠房的環保和清潔。以上實施例僅為本實用新型的示例性實施例，不用于限制本實用新型，本實用新型的保護范圍由權利要求書限定。本領域技術人員可以在本實用新型的實質和保護范圍內，對本實用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應視為落在本實用新型的保護范圍內。
權利要求1.一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架，其特征在于，還包括用于承托所述石墨舟的承托架，所述承托架的相對兩端分別樞接于所述車架的相對兩端，所述車架設有使所述承托架處于水平位置的第一限位裝置和使所述承托架處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置。
2.根據權利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述夾角的大小為20度到30度之間。
3.根據權利要求2所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述夾角的大小為25度。
4.根據權利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，還包括氣缸，所述氣缸的活塞桿與所述車架鉸接，所述氣缸的缸體與所述承托架鉸接。
5.根據權利要求4所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述氣缸的活塞桿與所述車架的鉸接處設有固定所述氣缸的調整螺母。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述車架的相對兩端均設置有軸套座，所述承托架的相對兩端均相應設置有樞接于所述軸套座上的轉軸。
7.根據權利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述承托架設置有把手。
8.根據權利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述車架上設置有托盤，所述托盤位于所述承托架的下方。
專利摘要本實用新型公開了一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架，還包括用于承托所述石墨舟的承托架，所述承托架的相對兩端分別樞接于所述車架的相對兩端，所述車架設有使所述承托架處于水平位置的第一限位裝置和使所述承托架處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置。本實用新型使操作人員在插卸硅片的時候能夠清晰看見石墨舟內的工藝點，減少了插片難度，降低了員工的工作強度和硅片報廢率，提高了產能。
文檔編號H01L31/18GK202196805SQ201120337179
公開日2012年4月18日 申請日期2011年9月8日 優先權日2011年9月8日
發明者程建松 申請人:無錫尚德太陽能電力有限公司, 無錫德鑫太陽能電力有限公司