專利名稱:應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置的制作方法
技術領域:
本發明涉及激光放大器領域,尤其涉及一種應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置。
背景技術:
隨著激光技術的發展,人們對激光器輸出能量的要求越來越高,同時激光裝置逐漸向結構緊湊的方向發展。傳統的端泵放大器結構如圖I所示,由于激光工作介質靠近泵浦源的一側鍍有與需被放大的激光波長相同的反射膜,需被放大的激光兩次經過工作介質,稱激光在激光工作介質內部走“兩程”。
其缺點是,沒有充分利用泵浦源泵浦激光工作介質釋放出的能量,能量利用率低。如果要使需被放大的激光輸出更高的能量,只有在下級放大器中增加類似結構,這樣使激光放大器整體的空間增加,不利于激光放大器向小型化的趨勢發展。
發明內容
本發明的目的是提供一種應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置,提高泵浦源泵浦激光工作介質釋放出的能量的利用率。根據本發明的一個方面,提供一種應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置,所述端泵放大器包括激光工作介質,其靠近泵浦源的一側鍍有與需被放大的激光波長相同的反射膜,該反射膜反射所述需被放大的激光;該多程放大裝置包括依次設置在主光路上的偏振器件,用于透射第一類型和第二類型偏振光中的一種、反射另一種;所述第一類型和第二類型偏振光的偏振面之間的夾角為90度;四分之一波片,用于將線偏振光轉換為圓偏振光,或者將圓偏振光轉換為線偏振光;和反射結構,用于接收來自反射膜的激光,并將該激光按照入射方向的反方向反射回激光工作介質;設置在從光路上的從光路反射鏡,用于接收來自偏振器件的激光,并將該激光沿原路反射回偏振器件;其中,所述反射膜的法向量與第一方向之間存在不為零的夾角;所述需被放大的激光的入射方向為第一方向。可選的,該多程放大裝置還包括環路結構,用于在所述反射結構之前接收來自反射膜的激光,并將激光反射回反射膜,所述反射結構適于接收來自環路結構經反射膜反射的激光,并將該激光按照入射方向的反方向反射回激光工作介質。可選的,所述環路結構包括兩塊反射鏡,所述反射結構包括一塊反射鏡。可選的,所述環路結構的數量為I個;其中,所述環路結構內的兩塊反射鏡分別為第一反射鏡和第二反射鏡,所述反射結構內的反射鏡為第三反射鏡; 所述第一反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到第二反射鏡;所述第二反射鏡用于接收來自第一反射鏡的激光,并將該激光反射到反射膜;所述反射膜還用于將激光再次反射到第三反射鏡;所述反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到反射膜。可選的,所述環路結構的數量為2個,分別為第一環路結構和第二環路結構;其中,所述第一環路結構內的兩塊反射鏡分別為第一反射鏡和第二反射鏡,所述第二環路結構內的兩塊反射鏡分別為第三反射鏡和第四反射鏡,所述反射結構內的反射鏡為第五反射鏡;所述第一反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到第二反射鏡;所述第二反射鏡用于接收來自第一反射鏡的激光,并將該激光反射到反射膜;所述反射膜還用于將激光再次反射到第三反射鏡;所述第三反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到第四反射鏡;所述第四反射鏡用于接收來自第三反射鏡的激光,并將該激光反射到反射膜;所述反射膜還用于將激光再次反射到第五反射鏡;所述第五反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到反射膜。可選的,所述環路結構內的兩塊反射鏡之間的激光行進方向為第二方向,該第二方向與所述第一方向垂直;第i環路結構中的反射鏡與第二方向的夾角Y為Y = 45° +iX Θ反射結構中的反射鏡與第二方向的夾角P為P = 2 θ X (1+1)其中,Θ表示所述反射膜的法向量與第一方向之間的夾角,I表示環路結構數量。可選的,夾角Θ為0.1° 25。。可選的,夾角Θ為4° 8°。與現有技術相比,本發明優點包括(I)可充分利用泵浦源泵浦激光工作介質釋放出的能量,提高能量利用率;(2)本發明結構緊湊,利于激光放大器向小型化的趨勢發展;(3)利于本發明裝置通過實驗驗證,激光器輸出的能量非常穩定。
圖I是現有技術中的端泵放大器結構示意圖;圖2是本發明一個實施例中提供的端泵放大器多程放大裝置的結構示意圖;圖3是本發明另一個實施例中提供的不包括環路結構的端泵放大器多程放大裝置的結構示意圖;圖4是本發明另一個實施例中提供的包括一個環路結構的端泵放大器多程放大裝置的結構示意圖;圖5a是圖4所示的實施例的一個具體的例子,其中激光工作介質沿垂直方向的傾斜角度為5° ;圖5b是圖5a的簡圖;圖6是本發明另一個實施例中提供的包括兩個環路結構的端泵放大器多程放大裝置的結構示意圖;圖7a是圖6所示的實施例的一個具體的例子,激光工作介質沿垂直方向的傾斜角度為5。;圖7b是圖6所示的實施例的角度分析示意圖;圖8是本發明另一個實施例中提供的應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置結構示意圖。
具體實施例方式為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖,對本發明進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明,并不用于限定本發明。為了解決現有技術中的技術問題,發明人經過研究發現,可以通過使需要放大的激光多次經過激光工作介質,來達到提高能量利用率的目的。基于上述分析,根據本發明一個實施例,提供一種多程放大裝置。如圖2所示,該裝置包括激光工作介質201,其靠近泵浦源的一側鍍有與需被放大的激光波長相同的反射膜 202 ;環路結構203,接收來自反射膜202的激光,并將激光反射回激光工作介質201,然后激光經反射膜202后,將不再進入該環路結構203 ;反射結構204,接收來自反射膜202的激光,并將激光按照入射方向的反方向反射回激光工作介質201。激光經過反射結構之后,將按照原路返回,并最終按照初始方向的反方向離開裝置。首先,為便于說明,以激光初次入射方向為水平方向,以平面內垂直于該水平方向的方向為垂直方向。其中,激光工作介質201與入射的需被放大的激光不再如圖I所示垂直放置,激光工作介質201沿垂直方向傾斜小角度Θ (例如O. 1° 25。,優選1° 15°,更優選4° 8° )放置,該Θ角在圖中標記為夾角。其中,環路結構203可以有一個或多個。前一個環路結構203出射的激光經過反射膜202反射后,進入下一個環路結構203,直到進入反射結構204。根據本發明另一個實施例,提供一種多程放大裝置,其中不包括環路結構。如圖3所示,該多程放大裝置包括
激光工作介質501,其靠近泵浦源的一側鍍有與需被放大的激光波長相同的反射膜502 ;激光工作介質501與入射的需被放大的激光不再如圖I所示垂直放置,激光工作介質501沿垂直方向傾斜小角度放置;和
反射鏡503,用于使得入射的需被放大的激光多次經過激光工作介質501,并在放大后沿入射方向的反方向返回。為方便理解光路,在圖3中,以虛線標記的①②表示前半段的光路,后半段的光路沿原路返回。具體過程如下I)入射的需被放大的 激光進入激光工作介質501,放大第I程;2)由于激光工作介質501鍍有反射膜502,需被放大的激光被反射,放大第2程;3)由于激光工作介質501沿垂直方向傾斜,被反射的需被放大的激光不再按原路返回,而是入射到反射鏡503上(入射光線與反射鏡503的法線的夾角為0° ),再經反射鏡I反射,再次進入激光工作介質,放大第3程;4)經激光工作介質的反射膜502反射,放大第4程;最后,放大后的激光沿最初入射方向的反方向返回。經過上述光路過程,入射的需被放大的激光4次經過激光工作介質,即四程放大。如果激光工作介質沿垂直方向的傾斜角度為5°,則反射鏡與垂直方向的夾角為10。。根據本發明另一個實施例,提供一種多程放大裝置,其中包括一個環路結構。如圖4所示,該多程放大裝置包括激光工作介質,其靠近泵浦源的一側鍍有與需被放大的激光波長相同的反射膜;激光工作介質與入射的需被放大的激光不再如圖I所示垂直放置,激光工作介質沿垂直方向傾斜小角度(例如,4° 8。,采用較小的角度是因為要考慮泵浦光和激光工作介質的角度)放置;和在光路中依次放置的反射鏡I、反射鏡2、反射鏡3,用于使得入射的需被放大的激光多次經過激光工作介質,并在放大后沿入射方向的反方向返回。為方便理解光路,在圖4中,以虛線標記的①②③④⑤表示前半段的光路,后半段的光路沿原路返回。具體過程如下I)入射的需被放大的激光進入激光工作介質,放大第I程;2)由于激光工作介質鍍有反射膜,需被放大的激光被反射,放大第2程;3)由于激光工作介質沿垂直方向傾斜,被反射的需被放大的激光不再按原路返回,而是入射到反射鏡I上,再經反射鏡2反射,再次進入激光工作介質,放大第3程;4)經激光工作介質反射膜反射,放大第4程;5)被反射的需被放大的激光入射到反射鏡3上,反射回的需被放大的激光入射到激光工作介質上,放大第5程;6)經激光工作介質反射膜反射,放大第6程;7)需被放大的激光放大第6程后,入射到反射鏡2上,再經反射鏡I反射,再次進入激光工作介質,放大第7程;8)經激光工作介質反射膜反射,放大第8程;最后,放大后的激光沿最初入射方向的反方向返回。經過上述光路過程,入射的需被放大的激光八次經過激光工作介質,S卩八程放大。其中反射鏡I與反射鏡2組成環路結構,反射鏡3組成反射結構。圖4中所示實施例的一個具體例子如圖5a所示(簡圖如圖5b所示)。其中,激光工作介質沿垂直方向的傾斜角度為5° ;入射的需被放大的激光口徑為8mm ;反射鏡I的口徑為20mm,厚度為5mm,沿垂直方向的傾斜角度是50° ;反射鏡2的口徑為20mm,厚度為5mm,沿垂直方向的傾斜角度是50° ;反射鏡3的口徑為15mm,厚度為5mm,沿垂直方向的傾斜角度為20° (圖中的距離單位都是mm)。根據本發明另一個實施例,提供一種多程放大裝置,其中包括兩個環路結構。如圖6所示,該多程放大裝置包括激光工作介質,其靠近泵浦源的一側鍍有與需被放大的激光波長相同的反射膜;激光工作介質與入射的需被放大的激光不再如圖I所示垂直放置,激光工作介質沿垂直方向傾斜小角度(例如O. 1° 25°,例如1° 15°,例如4° 8° )放置;和第一回路結構,包括反射鏡I、反射鏡2,接收來自反射膜的激光,并將激光反射回激光工作介質,并且激光經反射膜反射后不再進入該環路結構; 第二回路結構,包括反射鏡3、反射鏡4,接收來第一回路結構的激光并將激光反射回激光工作介質,并且激光經反射膜反射后不再進入該環路結構;和反射結構,包括反射鏡5,接收來自第二回路結構的激光并將該激光沿原路反射回第二回路結構。上述第一回路結構、第二回路結構和反射結構配合使需被放大的激光多次經過激光工作介質,并在放大后沿入射方向的反方向返回。繼續參考圖6,該多程放大裝置的光路描述如下I)入射的需被放大的激光進入激光工作介質,放大第I程;2)由于激光工作介質鍍有反射膜,需被放大的激光反射,放大第2程;3)由于激光工作介質沿垂直方向有傾斜,I)中反射回的需被放大的激光不再按原路返回,D中反射回的需被放大的激光入射到反射鏡I上,再經反射鏡2反射,再次進入激光工作介質,放大第3程;4)激光經激光工作介質反射膜反射,放大第4程;5)出射的需被放大的激光入射到反射鏡3上,再經反射鏡4反射,再次進入激光工作介質,放大第5程;6)激光經激光工作介質反射膜反射,放大第6程。7)出射的需被放大的激光入射到反射鏡5上,經反射鏡5反射,再次進入激光工作介質,放大第7程;8)激光經激光工作介質反射膜反射,放大第8程。9)需被放大的激光放大第8程后,入射到反射鏡4上,經反射鏡3反射,再次進入激光工作介質,放大第9程;10)激光經激光工作介質反射膜反射,放大第10程。11)出射的需被放大的激光入射到反射鏡2上,經反射鏡I反射,再次進入激光工作介質,放大第11程;12)經激光工作介質反射膜反射,放大第12程。最后,按I)中沿入射的需被放大的激光反向返回。圖6中所示實施例的一個具體例子如圖7a所示激光工作介質沿垂直方向的傾斜角度為5° ;反射鏡I沿垂直方向的傾斜角度是50° ;反射鏡2沿垂直方向的傾斜角度是50° ;反射鏡3沿垂直方向的傾斜角度是55° ;反射鏡4沿垂直方向的傾斜角度是55° ;反射鏡5沿垂直方向的傾斜角度為30°。更詳細的分析參考圖7b(為了方便顯示,避免光路重疊,圖7b中的第二環路結構的位置放置在第一 環路結構之后),反射鏡I與反射鏡2組成反射結構,反射鏡I與反射鏡2以水平線為對稱軸,軸對稱放置。激光工作介質(反射膜)沿垂直方向的傾斜角度為5° (角度Θ)。水平方向入射的激光(實心箭頭)經過反射膜反射后,與水平方向夾角為10° (2 Θ )。激光被反射到達第一環路結構的反射鏡I后,沿垂直方向被反射到反射鏡2,所以反射鏡I的入射線和反射線之間的夾角為80° (90° _2 Θ ),所以反射鏡I與垂直方向的夾
90° - 2Θ
角為 50。(90。——即 45。+Θ)。反射鏡2與反射鏡I以水平方向為對稱軸軸對稱放置,反射鏡2與垂直方向的夾角也為50°,激光經過反射鏡2反射(空心箭頭)到反射膜,其與水平方向的夾角為10° ,與反射膜的法線的夾角為15° (3 Θ ),經過反射膜反射的激光與水平方向夾角為20° (4 Θ),到達第二環路結構的反射鏡3。激光被反射到達第二環路結構的反射鏡3后,第二環路結構的反射鏡3將該入射激光沿著垂直方向反射到反射鏡4,所以反射鏡3的入射和反射光線夾角為
90° - 4Θ
70° (90° _4 Θ),反射鏡3與垂直方向的夾角為55° (90°——-~ ,即45° +2 Θ )。反射鏡4與反射鏡3以水平方向為對稱軸軸對稱放置,反射鏡4與垂直方向的夾角也為55°,激光經過反射鏡4反射(雙空心箭頭)到反射膜,其與水平方向的夾角為20。,與反射膜的法線的夾角為25° (5 Θ ),經過反射膜反射的激光與水平方向夾角為30° (6 Θ),到達反射結構的反射鏡5。由于反射結構的反射鏡5將按照原路將入射激光反射回去,所以,其法線與入射激光的夾角為0°,其與垂直方向的夾角為30° (6Θ)。經過上述分析,當環路結構中包括兩個以水平線為對稱軸的軸對稱設置的反射鏡,可以總結出環路結構和反射結構中的反射鏡的放置角度假設激光工作介質(反射膜)沿垂直方向的傾斜角度為Θ,第i環路結構中的反射鏡與垂直方向的夾角Y為Y = 45° +iX Θ反射結構中的反射鏡與垂直方向的夾角P為P = 2 Θ+1X2 Θ,即 P = 2 θ X (1+1),其中,I為裝置中環路結構的總數量。需要注意的是,上述實施例中,在環路結構內,兩個反射鏡之間的激光沿垂直方向也不是必須的,這種環路內反射鏡的對稱結構是為了計算方便、機械方便,利于調光操作。在本發明其他實施例中,兩個反射鏡之間的激光也可以不沿著垂直方向,環路結構只要能夠將接收到的激光反射回反射膜即可。需要注意的是,上述實施例所示的環路結構由兩個反射鏡組成,在本發明其他實施例中,也可以由多個反射鏡組成,或由其他光學元件組成,只要能夠將接收到的激光反射回反射膜即可。
本領域技術人員可以理解,上述實施例中顯示的四程、八程、十二程放大光路,以及在光路中激光工作介質沿垂直方向的傾斜角度為5°,都是為了體現本發明的思想的一種具體的實施方式,并不用于限定本發明的范圍。多程放大裝置中包含的環路結構的數量沒有限制。根據本發明又一個實施例,提供一種應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置。如圖8所示,該應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置包括如圖4所示的多程放大裝置;偏振片,用于透射水平或垂直偏振光中的一種、反射另一種;反射鏡4,以及四分之一波片,用于將線偏振光轉換為圓偏振光,或者將圓偏振光轉換為線偏振光。其中,圖4所示的多程放大裝置已經在前面詳細描述,這里不再贅述。線偏振光兩次經過四分之一波片后,偏振態旋轉90°。例如水平線偏振光兩次經過四分之一波片后,變成垂直線偏振光。本實施例中正是利用這個性質水平線偏振光入射,第一次經過偏振片時是透射,第二次經過偏振片時已經經過四分之一波片兩次,此時水平線偏振光變成垂直線偏振光,被偏振片反射,入射到反射鏡4上。該應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置的光路描述如下I)入射的需被放大的線偏振激光由A 口進入,經過偏振片透射,經過四分之一波片,進入激光工作介質,放大第I程,由于激光工作介質鍍有反射膜,需被放大的線偏振激光反射,放大第2程。2)由于激光工作介質沿垂直方向有傾斜,步驟I中反射回的需被放大的線偏振激光入射到反射鏡I上,再經反射鏡2反射,再次進入激光工作介質,放大第3程,經激光工作介質反射膜反射,放大第4程。3)出射的需被放大的線偏振激光入射到反射鏡3上,反射回的需被放大的線偏振激光入射到激光工作介質上,放大第5程,經激光工作介質反射膜反射,放大第6程。4)需被放大的線偏振激光放大第6程后,入射到反射鏡2上,再經反射鏡I反射,再次進入激光工作介質,放大第7程,經激光工作介質反射膜反射,放大第8程。5)此后,按步驟I中沿入射的需被放大的線偏振激光反向返回,再次經過四分之一波片,線偏振光的偏振態旋轉90°,經偏振片反射,再經過反射鏡4反射后再次經偏振片反射,經過四分之一波片,進入激光工作介質,放大第9程,由于激光工作介質鍍有反射膜,需被放大的線偏振激光反射,放大第10程。6)反射回的需被放大的線偏振激光入射到反射鏡I上,再經反射鏡2反射,再次進入激光工作介質,放大第11程,經激光工作介質反射膜反射,放大第12程。7)出射的需被放大的線偏振激光入射到反射鏡3上,反射回的需被放大的線偏振激光入射到激光工作介質上,放大第13程,經激光工作介質反射膜反射,放大第14程。8)需被放大的線偏振激光放大第14程后,入射到反射鏡2上,再經反射鏡I反射,再次進入激光工作介質,放大第15程,經激光工作介質反射膜反射,放大第16程。9)此時,需被放大的線偏振激光按步驟I中沿入射方向反向返回,再次經過四分之一波片,線偏振光的偏振態再次旋轉90°與第I次經過偏振片時偏振態一致,經偏振片、透射,從A 口出去。本發明提出一種應用于端泵激光放大器的多程放大裝置,使需被放大激光在激光工作介質內部多次經過(即多走幾程),充分利用泵浦源泵浦激光工作介質釋放出的能量,提高能量利用率,利于激光放大器向小型化的趨勢發展,同時激光器輸出的能量非常穩定。 應該注意到并理解,在不脫離后附的權利要求所要求的本發明的精神和范圍的情況下,能夠對上述詳細描述的本發明做出各種修改和改進。因此,要求保護的技術方案的范圍不受所給出的任何特定示范教導的限制。
權利要求
1.一種應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置,所述端泵放大器包括激光工作介質,其靠近泵浦源的一側鍍有與需被放大的激光波長相同的反射膜,該反射膜反射所述需被放大的激光; 該多程放大裝置包括 依次設置在主光路上的 偏振器件,用于透射第一類型和第二類型偏振光中的一種、反射另一種;所述第一類型和第二類型偏振光的偏振面之間的夾角為90度; 四分之一波片,用于將線偏振光轉換為圓偏振光,或者將圓偏振光轉換為線偏振光;和反射結構,用于接收來自反射膜的激光,并將該激光按照入射方向的反方向反射回激光工作介質; 設置在從光路上的 從光路反射鏡,用于接收來自偏振器件的激光,并將該激光沿原路反射回偏振器件;其中,所述反射膜的法向量與第一方向之間存在不為零的夾角;所述需被放大的激光的入射方向為第一方向。
2.根據權利要求I所述的多程放大裝置,還包括 環路結構,用于在所述反射結構之前接收來自反射膜的激光,并將激光反射回反射膜,所述反射結構適于接收來自環路結構經反射膜反射的激光,并將該激光按照入射方向的反方向反射回激光工作介質。
3.根據權利要求2所述的多程放大裝置,其中,所述環路結構包括兩塊反射鏡,所述反射結構包括一塊反射鏡。
4.根據權利要求3所述的多程放大裝置,其中,所述環路結構的數量為I個; 其中,所述環路結構內的兩塊反射鏡分別為第一反射鏡和第二反射鏡,所述反射結構內的反射鏡為第三反射鏡; 所述第一反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到第二反射鏡; 所述第二反射鏡用于接收來自第一反射鏡的激光,并將該激光反射到反射膜; 所述反射膜還用于將激光再次反射到第三反射鏡; 所述反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到反射膜。
5.根據權利要求3所述的多程放大裝置,其中,所述環路結構的數量為2個,分別為第一環路結構和第二環路結構; 其中,所述第一環路結構內的兩塊反射鏡分別為第一反射鏡和第二反射鏡,所述第二環路結構內的兩塊反射鏡分別為第三反射鏡和第四反射鏡,所述反射結構內的反射鏡為第五反射鏡; 所述第一反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到第二反射鏡; 所述第二反射鏡用于接收來自第一反射鏡的激光,并將該激光反射到反射膜; 所述反射膜還用于將激光再次反射到第三反射鏡; 所述第三反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到第四反射鏡; 所述第四反射鏡用于接收來自第三反射鏡的激光,并將該激光反射到反射膜; 所述反射膜還用于將激光再次反射到第五反射鏡; 所述第五反射鏡用于接收來自反射膜的激光,并將該激光反射到反射膜。
6.根據權利要求3所述的多程放大裝置,其中,所述環路結構內的兩塊反射鏡之間的激光行進方向為第二方向,該第二方向與所述第一方向垂直; 第i環路結構中的反射鏡與第二方向的夾角Y為 Y = 45° +iX 0 反射結構中的反射鏡與第二方向的夾角P為P = 2 9 X (1+1) 其中,Q表示所述反射膜的法向量與第一方向之間的夾角,I表示環路結構數量。
7.根據權利要求I所述的多程放大裝置,其中,夾角0為0.1° 25。。
8.根據權利要求6所述的多程放大裝置,其中,夾角e為4。 8。。
全文摘要
本發明提供一種應用于線偏振光的端泵放大器多程放大裝置,包括依次設置在主光路上的偏振器件,用于透射第一類型和第二類型偏振光中的一種、反射另一種;所述第一類型和第二類型偏振光的偏振面之間的夾角為90度;四分之一波片,用于將線偏振光轉換為圓偏振光,或者將圓偏振光轉換為線偏振光;和反射結構,用于接收來自反射膜的激光,并將該激光按照入射方向的反方向反射回激光工作介質;設置在從光路上的從光路反射鏡,用于接收來自偏振器件的激光,并將該激光沿原路反射回偏振器件;其中,所述反射膜的法向量與第一方向之間存在不為零的夾角;所述需被放大的激光的入射方向為第一方向。
文檔編號H01S3/10GK102664340SQ20121012362
公開日2012年9月12日 申請日期2012年4月25日 優先權日2012年4月25日
發明者唐熊忻, 樊仲維, 邱基斯 申請人:北京國科世紀激光技術有限公司