專利名稱：一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法
技術領域：
本發明涉及一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法。
背景技術：
傳統的太陽能電池選擇性發射極進行重擴散時，需要制作掩膜，然后采用一些漿料腐蝕掩膜部分，再對腐蝕漿料進行清洗等多重工藝步驟，步驟繁瑣且工藝成本投入較大， 清洗亦不徹底。
發明內容
本發明要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種實現選擇性發射極工藝的方法，操作簡單，生產成本 低，能夠有效腐蝕阻擋層。本發明解決其技術問題所采用的技術方案是一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，具有以下步驟(I)太陽能電池片制絨后在太陽能電池片上采用濕氧氧化生長一層SiO2阻擋層；(2)將可通入氣體的壓緊裝置壓在太陽能電池片的電池柵線區域；(3)壓緊裝置內通入HF氣體，HF氣體把電池柵線區域的SiO2阻擋層全部去除后抽走殘留HF氣體；(4)取走壓緊裝置，將太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散，電池柵線區域形成高摻雜深擴散區，電池非柵線區域為SiO2阻擋層；步驟(4)中，太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散后電池柵線區域方阻為O 60ohm/sq0(5)清洗去除SiO2阻擋層后將太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散，電池非柵線區域形成輕摻雜淺擴散區。步驟(5)中，太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散后電池非柵線區域方阻為60 200ohm/sq。本發明的有益效果是本發明相對于常規工藝需要增加一臺可通HF氣體同時具備抽氣功能的氣體刻蝕機，但是對于常規工藝所需的漿料涂覆機及清洗機則不需要，電池柵線區域由于HF的腐蝕作用，電池刪線區域形成高摻雜深擴散區，非柵線區域由于Si02阻擋層的作用因此形成輕摻雜淺擴散區，這樣太陽能電池片形成選擇性發射極。本發明采用氣體刻蝕，減少漿料使用，大大節約成本，氣體刻蝕后不用清洗工藝， 直接進行重擴散，減少工序，提高良率，減少成本操作流程簡單，生產成本低，而且太陽能電池能夠形成選擇性發射極，提高太陽能電池的光電轉換效率。
具體實施例方式一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，具有以下步驟(I)太陽能電池片制絨后在太陽能電池片上采用濕氧氧化生長一層Si02阻擋層。
(2)將可通入氣體的壓緊裝置壓在太陽能電池片的電池柵線區域。(3)壓緊裝置內通入HF氣體，HF氣體把電池柵線區域的SiO2阻擋層全部去除后抽走殘留HF氣體。(4)取走壓緊裝置，將太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散，電池柵線區域形成高摻雜深擴散區，電池非柵線區域為SiO2阻擋層。太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散后電池柵線區域方阻為O 60ohm/sq。(5)采用0_50%HF溶液浸泡清洗去除SiO2阻擋層后將太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散，電池非柵線區域形成輕摻雜淺擴散區，太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散后電池非柵線區域方阻為60 200ohm/sq。本發明相對于常規工藝需要增加一臺可通HF氣體同時具備抽氣功能的氣體刻蝕機，但是對于常規工藝所需的漿料涂覆機及清洗機則不需要，電池柵線區域由于HF的腐蝕作用，電池柵線區域形成高摻雜深擴散區，非柵線區域由于SiO2阻擋層的作用因此形成輕摻雜淺擴散區，這樣太陽能電池片形成選擇性發射極。本發明采用氣體刻蝕，減少漿料使用，大大節約成本，氣體刻蝕后不用清洗工藝， 直接進行重擴散，減少工序，提高良率，減少成本操作流程簡單，生產成本低，而且太陽能電池能夠形成選擇性發射極，提高太陽能電池的光電轉換效率。 以上述依據本發明的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項發明技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項發明的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。
權利要求
1.一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，其特征在于具有以下步驟 (1)太陽能電池片制絨后在太陽能電池片上采用濕氧氧化生長一層SiO2阻擋層； (2)將可通入氣體的壓緊裝置壓在太陽能電池片的電池柵線區域； (3)壓緊裝置內通入HF氣體，HF氣體把電池柵線區域的SiOJl擋層全部去除后抽走殘留HF氣體； (4)取走壓緊裝置，將太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散，電池柵線區域形成高摻雜深擴散區，電池非柵線區域為SiO2阻擋層； (5)清洗去除SiO2阻擋層后將太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散，電池非柵線區域形成輕摻雜淺擴散區。
2.根據權利要求I所述的一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，其特征在于步驟(4)中，太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散后電池柵線區域方阻為0 60ohm/Sq。
3.根據權利要求I所述的一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，其特征在于步驟(5)中，太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散后電池非柵線區域方阻為60 200ohm/Sq。
全文摘要
本發明涉及一種實現太陽能電池選擇性發射極的方法，具有以下步驟(1)太陽能電池片制絨后在太陽能電池片上生長一層SiO2阻擋層；(2)壓緊裝置壓在太陽能電池片的電池柵線區域；(3)壓緊裝置內通入HF氣體，HF氣體把電池柵線區域的SiO2阻擋層全部去除后抽走殘留HF氣體；(4)將太陽能電池片放入擴散爐進行重擴散，(5)清洗去除SiO2阻擋層后將太陽能電池片放入擴散爐進行輕擴散。本發明采用氣體刻蝕，減少漿料使用，大大節約成本，氣體刻蝕后不用清洗工藝，直接進行重擴散，減少工序，提高良率，減少成本操作流程簡單，生產成本低。
文檔編號H01L31/18GK102709388SQ20121014180
公開日2012年10月3日 申請日期2012年5月8日 優先權日2012年5月8日
發明者葉權華 申請人:常州天合光能有限公司