檢測電阻率的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提出一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，包括：承載臺，放置于承載臺上的檢測盤，位于檢測盤上方的固定部件，位于承載臺上方的運輸部件，運輸部件包括運輸盤和旋轉盤，運輸盤和旋轉盤相連，設置在旋轉盤上的多個檢測頭；將多個檢測頭放置在旋轉盤上，當對不同類型的晶圓進行阻值檢測時，可以根據不同的需求選擇不同的檢測頭，避免了頻繁的手動更換檢測頭，提高了檢測效率，同時大大減少了人工操作產生的意外。
【專利說明】檢測電阻率的裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體裝置領域，尤其涉及一種檢測電阻率的裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體制造過程中，需要對不同工藝形成的薄膜進行電阻率的檢測，以監控生產出的薄膜是否符合工藝的要求。
[0003]請參考圖1，圖1為現有技術中檢測電阻率的裝置結構示意圖，所述檢測電阻率的裝置包括:檢測盤10、固定夾21、固定座22、運輸盤30以及檢測頭40，其中，所述檢測盤10用于盛放待測晶圓，所述固定夾21位于所述檢測盤10表面待測晶圓上方，并與所述固定座22固定連接；所述運輸盤30通過一活動臂31連接所述檢測頭40，所述活動臂31能夠帶動所述檢測頭40上下水平移動。
[0004]在具體檢測過程中，根據待測晶圓表面的薄膜不同，選擇需要的檢測頭40并由人工安裝至所述運輸盤30上，進行檢測時，運輸盤30將所述檢測頭40運輸至所述固定夾21處，并下移將所述檢測頭40放入所述固定夾21內，由所述固定件21夾緊所述檢測頭40，此時所述運輸盤30移開，檢測臺10開始帶動待測晶圓進行運動，同時檢測頭40開始對所述待測晶圓進行電阻率的檢測。
[0005]然而，由于現有技術中檢測電阻率的裝置一次只能使用一種類型的檢測頭，當需要對不同薄膜進行電阻率檢測時，就需要使用人工更換檢測頭，這不僅導致檢測時間的加長降低了檢測機臺的檢測效率，而且手動誤操作還容易帶來檢測頭污染以及檢測頭接口處的接觸不良，降低檢測頭使用壽命。
實用新型內容
[0006]本實用新型的目的在于提供一種檢測電阻率的裝置，能夠自動選擇不同的
[0007]為了實現上述目的，本實用新型提出一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，所述裝置包括:
[0008]承載臺、檢測盤、固定部件、運輸部件以及多個檢測頭；其中，所述檢測盤放置于所述承載臺上，所述固定部件位于所述檢測盤的上方，所述運輸部件位于所述承載臺上方，所述運輸部件包括運輸盤和旋轉盤，所述運輸盤和旋轉盤相連，所述檢測頭設置在所述旋轉盤上。
[0009]進一步的，所述運輸盤上設有紅外感應器。
[0010]進一步的，所述運輸盤連接一運輸臂。
[0011]進一步的，所述檢測盤的個數大于等于I。
[0012]進一步的，所述固定部件包括固定夾和固定座，所述固定夾位于所述檢測盤的上方并與所述固定座相連。
[0013]進一步的，所述檢測頭的個數大于等于2。
[0014]進一步的，所述檢測頭均勻分布在所述旋轉盤上。[0015]與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于，將多個檢測頭放置在旋轉盤上，當對不同類型的晶圓進行阻值檢測時，可以根據不同的需求選擇不同的檢測頭，避免了頻繁的手動更換檢測頭，提高了檢測效率，同時大大減少了人工操作產生的意外。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為現有技術中檢測電阻率的裝置結構示意圖；
[0017]圖2為本實用新型一實施例中檢測電阻率的裝置結構示意圖；
[0018]圖3為本實用新型一實施例中檢測盤和運輸部件的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面將結合示意圖對本實用新型的檢測電阻率的裝置進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此
[0020]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。
[0021]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0022]請參考圖2和圖3，在本實施例中，提出了一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，所述裝置包括:
[0023]承載臺100、檢測盤200、固定部件210、運輸部件以及多個檢測頭400 ;其中，所述檢測盤200的個數大于等于I個，例如是2個，所述檢測盤200放置于所述承載臺100上，承載臺100用于承載上述部件的作用；所述固定部件210位于所述檢測盤200的上方，在檢測時，待測晶圓會放置在所述檢測盤200上，所述固定部件210用于固定所述檢測頭400，便于所述檢測頭400與所述待測晶圓表面接觸，并避免所述檢測頭400發生搖晃；所述運輸部件位于承載臺100上方，所述運輸部件包括運輸盤310和旋轉盤320，所述運輸盤310和旋轉盤320相連，所述檢測頭400設置在所述旋轉盤320上,所述旋轉盤320能夠帶動所述檢測臺400旋轉，便于選擇不同的檢測頭400對待測晶圓進行檢測。
[0024]在本實施例中，所述運輸盤310連接一運輸臂330，所述運輸臂330能夠帶動所述運輸盤310在所述承載臺100上自由移動,所述運輸盤310上還設有紅外感應器(圖未示出)，所述紅外感應器能夠感應出不同類型的檢測頭400，從而方便自動選擇檢測頭400。
[0025]在本實施例中，所述固定部件210包括固定夾211和固定座212，所述固定夾211位于所述檢測盤200的上方并與所述固定座212相連，所述固定夾211位于所述檢測盤200的上方，在檢測時，由所述固定夾211固定所述檢測頭400。
[0026]在本實施例中，所述檢測頭400的個數大于等于2，例如是4個，其中，為了能夠對不同類型的晶圓進行檢測，所述檢測頭400的尺寸各不相同，同時紅外感應器能夠根據所述檢測頭400不同的尺寸來進行選擇，所述檢測頭400均勻分布在所述旋轉盤320上，使旋轉盤320在更換所述檢測頭400時更加方便，只需旋轉固定角度即可更換下一個檢測頭400。
[0027]在具體檢測過程中，先將不同的檢測頭400安裝至所述旋轉盤320上，不同探頭曲率半徑的差異，由紅外感應器感應，從而選擇合適的檢測頭400，并由運輸盤310將所述旋轉盤320和相應的檢測頭400移動至待測晶圓的表面，待測晶圓放置于其中一個檢測盤200上，由所述旋轉盤320下移將相應的檢測頭400放置固定夾211中，并由固定夾211固定，當另一待測晶圓放置在另一個檢測盤200上時，此時還可以由紅外感應器選擇適合另一待測晶圓的檢測頭400，并由運輸盤310將旋轉盤320和相應的檢測頭400移動至另一待測晶圓的表面，再由固定夾211固定住相應的檢測頭400并對另一待測晶圓進行檢測。
[0028]可見，在本實施例中，能夠同時對兩個不同晶圓進行電阻率的檢測，然而在本實施例的其他實施例中，檢測盤和檢測頭的個數可以根據要求進行選擇，從而能夠實現同時對多個待測晶圓進行檢測，極大程度的提高檢測效率。
[0029]綜上，在本實用新型實施例提供的檢測電阻率的裝置中，將多個檢測頭放置在旋轉盤上，在對不同類型的晶圓進行阻值檢測時，可以根據不同的需求選擇不同的檢測頭，避免了頻繁的手動更換檢測頭，提高了檢測效率，同時大大減少了人工操作產生的意外。
[0030]上述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術領域】的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的范圍內，對本實用新型揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術方案的內容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，其特征在于，所述裝置包括: 承載臺、檢測盤、固定部件、運輸部件以及多個檢測頭；其中，所述檢測盤放置于所述承載臺上，所述固定部件位于所述檢測盤的上方，所述運輸部件位于所述承載臺上方，所述運輸部件包括運輸盤和旋轉盤，所述運輸盤和旋轉盤相連，所述檢測頭設置在所述旋轉盤上。
2.如權利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述運輸盤上設有紅外感應器。
3.如權利要求2所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述運輸盤連接一運輸臂。
4.如權利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述檢測盤的個數大于等于1
5.如權利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述固定部件包括固定夾和固定座，所述固定夾位于所述檢測盤的上方并與所述固定座相連。
6.如權利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述檢測頭的個數大于等于2。
7.如權利要求6所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述檢測頭均勻分布在所述旋轉盤上。
【文檔編號】H01L21/66GK203444014SQ201320557521
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年9月9日 優先權日:2013年9月9日
【發明者】曹艷, 李廣寧 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司