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一種柔性互連金屬的制備方法與流程

文檔序號：12065929閱讀：來源：國知局

導航： X技術> 最新專利>電氣元件制品的制造及其應用技術>一種柔性互連金屬的制備方法與流程

技術總結
本發明公布了一種柔性互連金屬的制備方法，其步驟包括：第一步在基板上涂覆一層正膠，并進行光刻，光刻出凹凸不平的結構；第二步：濺射金屬鈦/金；第三步：在金屬上涂覆AZ膠，光刻出互連金屬線條；第四步：蒸發鎳/金兩層金屬；第五步：剝離頂層光刻膠，形成有彎曲的互連金屬。

技術研發人員：劉麗蓉;王勇;丁超
受保護的技術使用者：東莞市廣信知識產權服務有限公司;東莞華南設計創新院
文檔號碼：201611141945
技術研發日：2016.12.12
技術公布日：2017.05.24

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