引線框架的處理產線的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體領域的引線框架的處理設備，特別是一種引線框架的處理產線。
【背景技術】
[0002]在集成電路領域，一般需要采用引線框架作為集成電路芯片的載體。引線框架采用諸如金絲、鋁絲、銅絲的鍵合材料實現芯片內部電路引出端與外引線的電氣連接，形成電氣回路的關鍵結構件，它起到了和外部導線連接的橋梁作用。由于集成芯片的高精度的生產要求，需要引線框架光滑而沒有毛刺。因而，一般需要進行化學浸泡，從而便于進一步加工處理。現有技術中的對引線框架的處理設備一般效率比較低下、操作設置不甚合理。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的之一是為了克服現有技術中的不足，提供一種自動化程度高、處理效率高的引線框架的處理產線。
[0004]為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案實現:
[0005]本實用新型公開一種引線框架的處理產線。所述引線框架的處理產線包括:
[0006]取料機構，所述取料機構包括推料裝置、第一驅動裝置及承載件;所述推料裝置可移動地設置，所述推料裝置移動時推動引線框架移動地設置;所述第一驅動裝置直接驅動所述推料裝置移動或通過傳動裝置驅動所述推料裝置移動地設置;所述承載件設置在所述推料裝置的移動方向上，所述承載件用于接收所述推料裝置推送的引線框架地設置；
[0007]引線框架處理槽，所述引線框架處理槽包括槽體;所述槽體具有容腔，該槽體的容腔用于灌裝化學處理液；
[0008]引線框架夾具，所述引線框架夾具包括接液槽及夾持機構;所述接液槽具有槽腔，所述接液槽的槽腔可盛裝引線框架上滴落的化學處理液;所述夾持機構用于夾持引線框架并使引線框架位于所述槽腔上方；
[0009]引線框架推送設備，所述引線框架推送設備包括支撐機構、從動件及第二驅動裝置;所述支撐機構用于支撐引線框架;所述從動件可移動地設置，所述從動件移動時推動位于所述支撐機構上的引線框架移動地設置;所述第二驅動裝置直接驅動所述從動件或通過傳動機構驅動所述從動件地設置；
[0010]水刀，所述水刀設置為沖刷經過所述引線框架處理槽浸泡處理過的半導體引線框架上的毛刺。
[0011]優選地，所述第一驅動裝置為旋轉電機或直線氣缸;所述傳動裝置為絲杠螺母，所述絲杠螺母包括螺母和絲桿;所述螺母與所述絲桿螺紋配合，所述螺母可沿所述絲桿移動地套裝在所述絲桿上;所述推料裝置為推板，所述推板與所述螺母連接。
[0012]優選地，所述取料機構還包括導向裝置，所述推料裝置設置在所述導向裝置上，所述導向裝置限制所述推料裝置移動軌跡地設置。
[0013]優選地，所述承載件上設置有夾持件，所述夾持件用于夾持引線框架;所述夾持件可翻轉地設置。
[0014]優選地，所述夾持件包括夾持底座和多組夾持桿;所述多組夾持桿設置在所述夾持底座上;每組夾持桿包括兩根，且該兩根夾持桿相對設置;多組夾持桿間隔設置。
[0015]優選地，所述的引線框架取料機構還包括移位板，所述移位板設置在所述承載件上，并可靠近及遠離所述夾持底座地設置。
[0016]優選地，所述的引線框架取料機構還包括第二導軌或第二滑槽，所述移位板可沿所述第二導軌移動地設置在所述第二導軌上或可沿所述第二滑槽移動地設置在所述第二滑槽上。
[0017]優選地，所述的引線框架取料機構還包括第二驅動裝置，所述第二驅動裝置驅動所述夾持件翻轉地設置。
[0018]優選地，所述第二驅動裝置為旋轉氣缸。
[0019]優選地，所述引線框架處理槽還包括:
[0020]傳動機構，該傳動機構設置在所述槽體的容腔內；
[0021]固持機構，該固持機構包括至少兩個限位件，該至少兩個限位件沿所述傳動機構的運轉方向依次排列設置，所有相鄰兩個限位件之間間隔設置且所述間隔大于或等于半導體引線框架的厚度。
[0022]優選地，所述傳動機構為鏈條或鋼帶;所述鏈條包括多個依次連接的鏈節。
[0023]優選地，所述限位件為止檔柱或止檔壁。
[0024]優選地，所述固持機構還包括支撐件，所述支撐件設置在所述傳動機構上，所述限位件設置在所述支撐件上。
[0025]優選地，所述支撐件開設有缺口及突出部。所述支撐件的突出部及缺口在沿所述傳動機構的運轉方向上分別設置在所述支撐件的前端和尾端。所述缺口具有與所述突出部相同的形狀及尺寸。相鄰兩個支撐件中的一個支撐件的突出部設置為延伸至另一個支撐件的缺口內。
[0026]優選地，所述限位件包括主體、底端及頂端。所述限位件的底端設置在所述傳動機構上。相鄰兩個限位件的頂端之間的間距設置為大于所述相鄰兩個限位件的主體之間的間距。
[0027]優選地，所述限位件的主體為圓柱形，所述限位件的底端為圓錐形。
[0028]優選地，所述傳動機構為鏈條或鋼帶;所述鏈條包括多個依次連接的鏈節。
[0029]優選地，所述相鄰兩個限位件之間的間距與一個鏈節長度相同。
[0030]優選地，所述鏈條的鏈節上設置有安裝座，所述安裝座沿與所述鏈條的運轉方向垂直的方向突出設置；
[0031]所述固持機構還包括支撐件，所述支撐件設置在所述安裝座上;所述限位件設置在所述支撐件上。
[0032]優選地，所述引線框架處理槽還包括動力裝置。所述動力裝置設置為輸出動力以驅動所述傳動機構運轉。
[0033]優選地，所述引線框架處理槽還包括上蓋。所述上蓋設置在所述槽體的容腔的開口上。所述上蓋的前端開設有入料口。所述上蓋的尾端開設有取料口。
[0034]優選地，所述引線框架處理槽還包括放料裝置及取料裝置；
[0035]所述放料裝置包括第一夾持機械手，所述第一夾持機械手設置在所述槽體上方，所述第一夾持機械手可升降并可水平移動地設置；
[0036]所述取料裝置包括第二夾持機械手，所述第二夾持機械手設置在所述槽體上方，所述第二夾持機械手可升降并可水平移動地設置。
[0037]優選地，所述引線框架夾具還包括多組夾爪，每組夾爪數目為兩個;每一組中的兩個夾爪可遠離及靠近地設置;所述夾爪位于所述槽腔上方。
[0038]優選地，所述的引線框架夾具還包括第三驅動裝置，所述第三驅動裝置驅動每一組中的兩個所述夾爪相互靠近及遠離地設置。
[0039]優選地，所述的引線框架夾具還包括第二驅動裝置，所述第二驅動裝置驅動所述第一底座沿第一軸線旋轉地設置。
[0040]優選地，所述的引線框架夾具還包括第三驅動裝置;所述第一底座與所述第二驅動裝置連接，所述第三驅動裝置驅動所述第二驅動裝置沿第二軸線旋轉地設置;所述第一軸線與所述第二軸線垂直。
[0041 ]優選地，所述的引線框架夾具還包括第三驅動裝置及第二底座，所述第一底座可移動地設置在所述第二底座上;所述第三驅動裝置驅動所述第二底座沿第二軸線旋轉地設置;所述第一軸線與所述第二軸線垂直。
[0042]優選地，所述第二驅動裝置及第三驅動裝置為旋轉電機或旋轉氣缸。
[0043]優選地，所述的引線框架夾具還包括滑塊和導軌，所述滑塊可沿所述導軌移動地設置在所述導軌上;所述第一底座設置在所述滑塊上;所述導軌設置在所述第二底座上。
[0044]引線框架推送設備，其特征在于，包括:
[0045]支撐機構，所述支撐機構用于支撐引線框架；
[0046]從動件，所述從動件可移動地設置，所述從動件移動時推動位于所述支撐機構上的引線框架移動地設置；
[0047]驅動裝置，所述驅動裝置直接驅動所述從動件或通過傳動機構驅動所述從動件地設置。
[0048]優選地，所述支撐機構包括支撐板，所述支撐板設置有通槽;所述從動件為推桿；所述推桿貫穿所述通槽;所述推桿可沿所述通槽移動地設置。
[0049]優選地，所述的引線框架推送設備還包括第一導向裝置，所述從動件可沿所述第一導向裝置移動地設置在所述第一導向裝置上。
[0050]優選地，所述第一導向裝置為第一導軌，所述第一導軌上設置有第一滑塊，所述第一滑塊可沿所述第一導軌滑動地設置;所述從動件與所述第一滑塊連接。
[0051 ]優選地，所述支撐板上設置有一塊或兩塊側壁板;所述側壁板突出于所述支撐板；兩塊所述支撐板間隔設置。
[0052]優選地，一塊或兩塊所述支撐板上設置有多個缺口，所述多個缺口間隔設置。
[0053]優選地，所述傳動機構與所述從動件非接觸地設置。
[0054]優選地，所述傳動機構包括磁性件，所述驅動裝置驅動所述磁性件移動地設置;所述從動件具有磁性，或者所述從動件設置在可被所述磁性件吸引或排斥的安裝座上;所述磁性件與所述從動件或所述安裝座間隔設置。
[0055]優選地，所述傳動機構包括絲杠螺母，所述絲杠螺母包括絲桿和螺母;所述螺母與所述絲桿螺紋配合，并可沿所述絲桿移動地套裝在所述絲桿上;所述磁性件與所述螺母連接。
[0056]優選地，所述的引線框架推送設備還包括第二導軌，所述螺母可沿所述第二導軌滑動地設置在所述第二導軌上。
[0057]優選地，所述磁性件設置在所述從動件或所述安裝座前方，所述磁性件移動時吸引所述從動件或所述安裝座移動;所述磁性件上安裝有接近開關;所述接近開關位于所述從動件或所述安裝座的移動方向上。
[0058]與現有技術相比，本實用新型的引線框架的處理產線的引線框架取料機構，通過推料裝置將引線框架從料盒中推出至承載件上，供機械手拿取。承載件上設置可翻轉的夾持件，在翻轉后方便機械手拿取。夾持件采用多組夾持桿，可減小與引線框架的接觸面積，為機械手夾持提供更多空間。推料裝置通過第一驅動裝置驅動，可實現自動工作。設置第一導向裝置，有助于推料裝置移動過程中的穩定，防止偏斜而損壞引線框架。夾持件采用夾持底座和夾持桿，使其結構簡單，降低撞壞引線框架的風險。移位板可移動地設置，方便調整移位板與夾持底座之間的距離，使其適應多種尺寸的引線框架。移位板與夾持底座之間的距離適應引線框架的尺寸，可幫助引線框架受推送過程中穩定地移動而不偏斜。
[0059]所述引線框框架的處理產線的引線框架處理槽的固持機構將半導體引線框架維持在豎直位置，也即是半導體引線框架的厚度方向即為引線框架處理槽的長度方向或運轉方向，使得半導體引線框架占用空間小且浸泡時間長，從而獲得了較佳的處理效果。使用本實用新型，可將引線框架全部浸入化學處理液內，處理效果更好所述固持機構將半導體引線框架維持在豎直位置，也即是半導體引線框架的厚度方向即為引線框架處理槽的長度方向或運轉方向，使得半導體引線框架占用空間小且浸泡時間長，從而使得水刀更容易去除半導體引線框架上的毛刺，從而達到了較高的精度要求、具有良好的品質。
[0060]所述引線框架的處理產線的引線框架夾具，設置的接液槽能夠完全接收引線框架上滴落的化學處理液，避免化學處理液滴落在氣缸、導軌等結構而造成腐蝕，從而在實現夾持、中轉功能的同時保護了機械設備、延長了使用壽命。第一底座可移動、可旋轉地設置，方便調整引線框架的方向，便于與其他機構配合。
[0061]所述引線框架的處理產線的引線框架推送設備，支撐板用于放置引線框架，利用從動件移動可方便地推送引線框架。從動件移動時通過第一導向裝置導向，可確保從動件按照規定路線穩定地移動，防止損壞引線框架。傳動機構包括磁性件，利用磁性件的吸力或排斥力驅動從動件移動，從而可使從動件與磁性件之間設置一定的間隔，當發生卡料時，從動件與磁性件之間的間隔可使從動件具有一定的緩沖距離。且當卡料時，磁性件與從動件還可以分離，驅動裝置的驅動力不會傳遞至從動件，更不會傳遞至引線框架。因此，即使發生卡料，從動件能夠及時停止移動，防止繼續推送引線框架而導致損壞，增加報廢成本。本實用新型還設置有接近開關，也可以防止從動件移動過限。本實用新型結構簡單，使用安全，可防止損壞引線框架，降低廢品率及報廢成本
【附圖說明】
[0062]圖1為本實用新型提供的一種引線框架的處理產線的結構示意圖。
[0063]圖2為圖1的引線框架的處理產線沒有安裝部分外殼及支架的結構示意圖之一。
[0064]圖3為圖1的引線框架的處理產線沒有安裝部分外殼及支架的結構示意圖之二。
[0065]圖4為圖1的第一夾持機械手的結構示意圖。
[0066]圖5為圖2的引線框架取料機構的結構示意圖。
[0067]圖6圖1的夾持件與第二驅動裝置配合的結構示意圖。
[0068]圖7為圖6的夾持件沒有夾持引線框架的結構示意圖。
[0069]圖8為圖5的料盒的結構示意圖。
[0070]圖9為圖5的推料裝置、第一驅動裝置及傳動裝置的配合示意圖。
[0071]圖10為圖2的引線框架處理槽的結構示意圖。
[0072]圖11為圖10的引線框架處理槽包括上蓋時的結構示意圖。
[0073]圖12為圖10中的A處的放大示意圖。
[0074]圖13為圖12中的部分第一限位件設置在支撐件、鏈節上的結構示意圖之一。
[0075]圖14為圖13的部分第一限位件設置在支撐件、鏈節上的結構示意圖之二。
[0076]圖15為圖14的部分第一限位件設置在支撐件、鏈節上的立體分解圖。
[0077]圖16為圖2的引線框架夾具的結構示意圖；
[0078]圖17為圖16的引線框架夾具沒有設置在底板上的結構示意圖。
[0079]圖18為圖16的夾持機構設置在接液槽上的結構示意圖。
[0080]圖19為圖2的引線框架推送設備的結構示意圖之一。
[0081]圖20為圖19的引線框架推送設備的結構示意圖之二。
[0082]圖21為圖19的引線框架推送設備在沿輸送前進方向的左側隱匿部分支撐機構的結構示意圖。
[0083]圖22為圖21的引線框架推送設備隱匿支撐板的結構示意圖。
[0084]圖23為圖19的引線框架推送設備隱匿支撐板及支架的結構示意圖。
[0085]圖24為圖19的從動件設置在滑軌上的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0086]下面結合附圖對本實用新型進行詳細的描述:
[0087]請參閱圖1至圖3，其為本實用新型提供的一種引線框架的處理產線801的結構示意圖。所述引線框架的處理產線801包括引線框架取料機構600、引線框架處理槽100、引線框架夾具500、引線框架推送設備200及水刀450 ο根據需要，在本實施例中，為了便于自動中轉操作，所述引線框架的處理產線801包括相應的放料裝置及取料裝置。所述引線框架的處理產線801還包括相應的計算機操控設備、外殼、支架等，其不為本實用新型重點，在此不再贅述。
[0088]請一并參閱圖4，所述放料裝置包括第一夾持機械手105。所述第一夾持機械手105設置在所述槽體101上方。所述第一夾持機械手105可升降并可水平移動地設置。所述取料裝置包括第二夾持機械手107。所述第二夾持機械手107設置在所述槽體101上方。所述第二夾持機械手107可升降并可水平移動地設置。
[0089]使用時，第一夾持機械手105水平移動以夾取引線框架，然后移動至槽腔上方，第二底座1053沿豎直方向不動，則第一安裝座1052可帶動第一夾持機械手105升降。第一夾持機械手105夾持引線框架下降后可將引線框架從入料口 142放入槽腔內的固持機構120上。反之，第二夾持機械手107可自取料口 144從槽腔內的固持機構120上夾取引線框架后上升，再水平移動并輸送至指定的位置。
[0090]請繼續參閱圖4，本實用新型還包括第一驅動裝置1051，所述第一驅動裝置1051驅動所述第一夾持機械手105升降地設置。所述第一夾持機械手105設置在第一安裝座1052上，所述第一安裝座1052可升降地設置在第二安裝座1053上。第一驅動裝置1051為氣缸，驅動第一安裝座1052上升及下降。所述第二安裝座1053可水平移動地設置在支架1054上。所述第一安裝座1052上設置有第一導軌1055，所述第二安裝座1051套裝在所述第一導軌1055上。所述第二安裝座1053可沿所述第一導軌1055升降地設置在第一導軌1055上。所述支架1054上設置有第二導軌1056，所述第二安裝座1051可沿所述第二導軌1056滑動地設置在所述第二導軌1056上;所述第一導軌1055豎直設置;所述第二導軌1056水平設置。由于第一夾持機械手105與第二夾持機械手107結構可以相同，第二機械手107可使用相同的結構可升降并可水平移動地設置，在此就不再贅述。
[0091]如圖5至9所示，其為本實用新型提供的一種引線框架取料機構600。所述引線框架取料機構600包括承載件610及夾持件650。所述夾持件650設置在所述承載件610上。所述夾持件650包括至少兩個夾持桿655及夾持底座674。所述夾持桿655設置在所述夾持底座674上。所述夾持桿655可以為一組、兩組或多組。在每一組夾持桿655包括兩個相對設置的夾持桿655。在豎直方向上的兩個夾持桿655為一組。不同組夾持桿655之間間隔設置以能夠穩固夾持引線框架。如圖3所示，本實施例中，所述夾持桿655為兩組65A、65B。在該至少兩個夾持桿655之間設置有可容置引線框架的間隔。所述夾持件650可旋轉地設置。
[0092]請繼續參閱圖6及圖7，在本實施例中，所述第一夾持桿121和所述夾持桿655至少一個為止檔柱或止擋壁。在本實施例中，所述夾持桿655為四個。該四個夾持桿655設置為一條長邊沿水平設置的矩形，該矩形的短邊豎直設置。
[0093]所述引線框架取料機構600包括第一驅動裝置663及推料裝置690。在本實施例中，所述第一驅動裝置663為直線電機。當然，所述第一驅動裝置663也可以為氣缸，譬如旋轉氣缸。所述第一驅動裝置663驅動所述推料裝置690將下述料盒680內的引線框架推至所述夾持桿665之間。
[0094]所述夾持件650設置為在水平、豎直兩個位置交替旋轉。所述引線框架取料機構600還包括第四驅動裝置670。所述第四驅動裝置670可旋轉地設置在所述承載件610上。所述夾持件650設置在所述第四驅動裝置670上。在本實施例中，所述第四驅動裝置670為旋轉氣缸。所述旋轉氣缸的旋轉角度為90度。
[0095]為了便于使得推動軌跡保持一致而不會影響推料精度，所述引線框架取料機構600還包括導向裝置667 ο所述推料裝置690設置在所述導向裝置667上，所述導向裝置667限制所述推料裝置690移動軌跡地設置。在本實施例中，所述導向裝置667為第一導軌。具體地，所述第一導軌為工形件。所述推料裝置690可沿所述第一導軌滑動地設置在所述第一導軌上。當然，所述導向裝置667也可以為或第一滑槽。此時，所述推料裝置690可沿所述第一滑槽移動地設置在所述第一滑槽上。
[0096]在本實施例中，為了較長距離推送引線框架，所述引線框架取料機構600還包括傳動裝置631。所述傳動裝置631為絲杠螺母。所述絲杠螺母包括螺母633和絲桿635;所述螺母633與所述絲桿635螺紋配合，所述螺母633可沿所述絲桿635移動地套裝在所述絲桿635上。在本實施例中，所述推料裝置690為推板，所述推板與所述螺母633連接。
[0097]請一并參閱圖8，其為本實用新型所公開的一種料盒680。所述料盒680的內側壁開設有插槽682。根據需要，所述料盒680的兩個內側壁均開設有插槽682。所述插槽682用于插設引線框架。所述料盒680的有單開口設置為與所述夾持件650相正對。
[0098]請一并參閱圖9，所述引線框架取料機構600還包括移位機構685。所述移位機構685與所述料盒327連接設置。所述移位機構327用于提升或下降所述料盒680以將料盒680內的引線框架依次對準所述夾持件650。所述移位機構685包括伺服電機或氣缸。
[0099]請繼續參閱圖6至圖7，為了便于穩固夾持引線框架，所述引線框架取料機構600還包括移位板642。所述移位板642設置在所述承載件610上，并可靠近及遠離所述夾持底座地設置，從而便于相對于所述夾持底座的距離可調節，以夾持不同尺寸的引線框架。在本實施例中，所述引線框架取料機構600還包括第二導軌644。所述移位板642可沿所述第二導軌644移動地設置在所述第二導軌上644。當然，可以采用第二滑槽替代所述第二導軌644。此時。所述移位板642可沿所述第二滑槽移動地設置在所述第二滑槽上。
[0100]為了便于將所述料盒680內的引線框架的推送至夾持件650的夾持桿655之間，所述引線框架取料機構600還包括推料裝置690。所述推料裝置690設置為與所述料盒680的另一端開口相正對。在本實施例中，所述推料裝置690為推板。所述推料裝置690用于將所述料盒680內的引線框架依次推動至所述夾持件650的夾持桿655之間。所述推料裝置690可以包括氣缸，所述氣缸的活塞桿設置為與所述料盒680內的引線框架相正對。在本實施例中，所述推料裝置690包括氣缸692及推桿694。所述推桿335設置在所述氣缸692的活塞桿上。所述推料裝置690設置為與所述料盒327內的引線框架相正對。在本實施例中，所述夾持件650相對于所述料盒680可旋轉地設置。
[0101]如圖10、圖11及圖12所示，其為本實用新型提供的一種引線框架處理槽100。所述引線框架處理槽100包括槽體101、傳動機構110、固持機構120及動力裝置130。
[0102]所述槽體101具有容腔。所述槽體101的容腔用于灌裝化學處理液。在本實施例中，半導體引線框架通過化學處理液的處理能夠便于去除毛刺。所述槽體101可以設置在長方體槽。可以想到的是，所述槽體101的上方具有開口。
[0103]請一并參閱圖13、圖14及圖15，所述傳動機構110設置在所述槽體1I內。所述傳動機構110用于帶動引線框架。所述傳動機構110可以為鋼帶、皮帶等傳輸帶。在本實施例中，所述傳動機構110采用鏈條實現傳動。所述鏈條的數量只要滿足傳輸要求即可。在本實施例中，為了平衡受力以便于傳輸，所述鏈條為兩條，且該兩條鏈條平行設置。可以想到的是，所述鏈條由多個鏈節依次連接而成。當然，所述傳動機構110可以包括齒輪以帶動鏈條。所述傳動機構110的鏈節還突出設置有安裝座115。所述安裝座115便于實現對下述限位件121的設置。
[0104]可以想到的是，可以采用人力轉動傳動機構110的方式實現半導體引線框架的傳輸。在本實施例中采用動力裝置130驅動所述傳動機構110運轉。所述動力裝置130可以為電動機。
[0105]所述固持機構120用將半導體引線框架在運轉過程中不脫落，以實現化學處理液的浸泡。所述固持機構120包括至少兩個限位件121。所述限位件121沿所述傳動件機構110的運轉方向設置在該傳動機構110上，以跟隨所述傳動機構110運轉。在本實施例中，所述每一個鏈條上設置有一排限位件121。在同一排內的相鄰限位件121之間間隔設置。該間隔大于或等于引線框架的厚度，使得引線框架沿豎直方向容置在槽體101內，從而使得合理利用了槽體101的內部空間，使得槽體101的長度能夠較短，同時延長浸泡時間而達到較佳的處理效果。所述限位件121可以為止擋柱或止擋壁，只要能夠實現阻擋使得引線框架豎直設置在槽體101內即可。所述止擋壁可以為盲孔、容腔的側壁實現豎直插設限位件121即可。在本實施例中，所述限位件121為止檔柱。所述限位件121包括主體128、底端127及頂端129。所述底端127插設或焊接在所述傳動機構110上。為了便于順利對準及實現插設，所述相鄰的頂端120之間的間隔大于所述相鄰主體128之間的間距。具體地，在本實施例中，所述主體128為圓柱形，所述頂端129為圓錐形。
[0106]為了便于安裝及提高支撐性能，所述固持機構120還包括支撐件122。所述支撐件122設置為板狀。所述支撐件122設置在所述傳動機構110的鏈節上。所述支撐件122開設有缺口 123及突出部124。所述缺口 123、突出部124分別設置在所述支撐件122的前端和尾端。需要說明的是，在本實施例中出現的“前”、“后”指的是沿傳動機構110的運轉方向的前后方向。
[0107]所述限位件121設置在支撐件122上。所述缺口123、突出部124能夠保證所有限位件121的安裝孔或焊接部沿同一條直線排列。所述相鄰兩個限位件121之間個間隔與所述一個鏈節長度相同，從而保證鏈條的鏈節轉動一個單位鏈節就能傳輸一個引線框架，從而便于對速度的控制。
[0108]為了密封防止化學處理液揮發及對環境及人體造成損傷，所述引線框架處理槽100還包括上蓋140。所述上蓋140設置在所述槽體101的容腔的開口上。為了便于進料及取料，所述上蓋140的前端開設有入料口 142，所述上蓋的尾端開設有取料口 144。
[0109]如圖16、圖17及圖18所示，其為本實用新型提供的一種引線框架夾具500。所述引線框架夾具500包括接液槽520及夾持機構550。
[0110]所述接液槽520具有槽腔525。所述槽腔525可盛裝引線框架上滴落的化學處理液。引線框架經過引線框架處理槽100的內的化學處理液浸泡后，需要進行后續處理，譬如通過輸送至水刀進行去毛刺。因而，需要將化學處理液浸泡后的引線框架進行中轉、輸送。
[0111]所述夾持機構550用于夾持引線框架，并使引線框架位于槽腔525上方。所述夾持機構550可以通過支架設置在所述接液槽520的上方，即與所述槽腔525在豎直方向上正對設置。當然，所述夾持機構550也可以直接設置在所述接液槽520上。所述夾持機構550為氣爪或氣動手指，甚至可以為機械手等。優選地，所述的引線框架夾具500還包括多組夾爪535。每組夾爪532數目為兩個。每一組中的兩個夾爪535可遠離及靠近地設置;所述夾爪535位于所述槽腔525上方。
[0112]在本實施例中，所述引線框架夾具500還包括連接件560。所述連接件560包括安裝部565及連接部567。所述安裝部565具有底端及頂端。所述安裝部565的底端設置在第一底座531上，且所述安裝部565設置為沿所述接液槽520的側壁的高度方向延伸至突出所述接液槽520。在本實施例中，所述安裝部565沿豎直方向延伸設置。所述連接部567設置在所述安裝部565的頂端。在本實施例中，所述連接部567沿水平方向延伸設置，沿槽腔525寬度方向延伸至槽腔525上方，以使安裝在連接部567上的夾持機構550位于槽腔525上方。所述夾持機構550設置在所述連接部565上。
[0113]為了便于實現支撐、托持作用，所述引線框架夾具500還包括Y形夾爪570。所述Y形夾爪570設置在所述接液槽520的槽腔內。所述Y形夾爪570與所述夾持機構550設置在同一條直線上，以便于在所述夾持機構550松動時托住引線框架。
[0114]所述的引線框架夾具500還包括第三驅動裝置543。所述第三驅動裝置543驅動每一組中的兩個所述夾爪535相互靠近及遠離地設置。在本實施例中，每一組中的其中一個夾爪535設置在其中一個連接件560的安裝部565上。所述第三驅動裝置543驅動所述連接件560移動地設置。所述第三驅動裝置543為氣爪或氣動手指。
[0115]所述引線框架夾具500還包括第一底座531。所述接液槽520設置在所述第一底座上531。所述安裝部565底端連接在所述第一底座531上。所述第一底座531可旋轉地設置。所述的引線框架夾具500還包括第五驅動裝置542 ο所述第五驅動裝置542驅動所述第一底座531沿第一軸線旋轉地設置。
[0116]所述的引線框架夾具500還包括第六驅動裝置563。所述第六驅動裝置563驅動所述第五驅動裝置542沿第二軸線旋轉地設置。所述第一軸線與所述第二軸線垂直，從而使得所述引線框架能夠實現在不同方向上旋轉，以便于輸送及操作。
[0117]作為另外一種實施方式，所述的引線框架夾具500還包括第六驅動裝置563及第二底座532。所述第一底座531可移動地設置在所述第二底座上532。所述第五驅動裝置542驅動所述第二底座532沿第一軸線旋轉地設置。
[0118]在本實施例中，所述第五驅動裝置542及第六驅動裝置563為旋轉電機或旋轉氣缸。
[0119]為了進一步確保接液槽520移動時的穩定性，所述的引線框架夾具500還包括滑塊573和導軌575。所述滑塊573可沿所述導軌575移動地設置在所述導軌575上。所述第一底座531設置在所述滑塊573上。所述導軌575設置在所述第二底座532上。
[0120]為了使接液槽520在更多方向上移動，所述引線框架夾具500還包括底座580。所述第六驅動裝置563可沿第二方向移動地設置在所述底座580上。在本實施例中，所述接液槽520通過旋轉電機(圖中未示出)配合絲桿螺母或者僅通過氣缸驅動第六驅動裝置563移動。所述旋轉電機、絲桿螺母或者氣缸均可設置在底座580上。
[0121]為了進一步便于實現位置的調節以便于中轉運輸，所述接液槽520沿第二方向可移動地設置。所述第一方向與所述第二方向垂直。在本實施例中，為了實現第二方向的移動，本實用新型采用直線滑臺590實現移動。所述直線滑臺590設置在底座580上且沿著第二方向延伸設置。所述接液槽520設置在所述直線滑臺590上以實現沿第二方向可移動地設置。
[0122]如圖19至圖22所示，其為本實用新型提供的一種述引線框架推送設備200。所述述引線框架推送設備200包括支撐機構201、從動件210及第二驅動裝置220。
[0123]所述支撐機構201用于支撐整個設備。所述支撐機構201包括支架205、支撐板207。所述支撐板207設置在所述支架205上;所述第一導向裝置206設置在所述支撐板207的下表面;所述支撐板207的上表面可承載半導體引線框架。所述支撐板207沿第二驅動裝置220輸出作用力的方向開設有通槽208。
[0124]為了便于實現運動方向的可控，所述引線框架推送設備200還包括第一導向裝置。所述從動件210可沿所述第一導向裝置移動地設置在所述第一導向裝置上。在本實施例中，所述第一導向裝置為第一導軌206。所述第一導軌206上設置有安裝座215。所述安裝座215可沿所述第一導軌206滑動地設置。從動件210與安裝座215連接。在本實施例中，所述第一滑塊219可沿所述第一導軌206滑動地設置在第一導軌206上。第一滑塊219與所述安裝座215連接。
[0125]為了便于與其他中轉、夾持機構配合，所述支撐板207上設置有一塊或兩塊側壁板274。所述側壁板274突出于所述支撐板207上表面地設置。兩塊所述側壁板274間隔設置。所述一塊或兩塊側壁板274上設置有多個缺口 275。所述側壁板274能夠防止引線框架在移動過程中滑落。設置所述缺口 275，可方便夾持引線框架的機械手自缺口275處將引線框架放置在支撐板207上表面，且放置位置與支撐板207上表面不會距離過大而摔壞引線框架。
[0126]請一并參閱圖23，所述從動件210設置在所述支撐機構201上。所述從動件210設置為在受作用力時帶動半導體引線框架可相對于所述支撐機構201移動。在本實施例中，所述從動件210包括安裝座215及推桿218。所述推桿218設置在所述安裝座215上。所述安裝座215開設有滑槽。所述滑槽與所述第一導向導軌206匹配設置。所述安裝座215通過所述滑槽相對于所述第一導軌206可移動地設置。所述推桿218能夠避免引線框架與所述安裝座215發生相對滑動，而能夠保證良好的推動效果。所述推桿218可以為任意阻擋部件，譬如凸臺或凸柱。在本實施例中，所述推桿218為一個突出設置在安裝座215上以實現阻擋、止動功能的止動桿。所述推桿218延伸進入所述引支撐板207的通槽208，且突出于所述支撐板207。
[0127]請一并參閱圖24，所述第二驅動裝置220也可以包括可以自主移動的部件，譬如帶有馬達或發動機的車輛。所述第二驅動裝置220只要能夠輸出牽引力或推力等以帶動從動件210實現移動即可。所述從動件210與第二驅動裝置220之間可以通過連接彈簧、橡皮筋或繩帶等，只要在從動件210上的引線框架受到外部的卡住、阻擋等情況時，所述從動件210推動引線框架的阻力變大，甚至發生擠壓引線框架而損壞引線框架的情況下，所述從動件210與從動件220之間的彈簧、橡皮筋或繩帶斷裂而實現分離，從而使得從動件220停止移動，SP停止對引線框架的擠壓。
[0128]為了實現可重復的利用材料，本實施例采用磁性件230實現所述從動件210與第二驅動裝置220的可分離設置。所述磁性件230只要能夠產生可吸引或排斥所述從動件210的磁性作用力即可，利用磁性件230可移動地設置，并通過磁性作用力驅動所述從動件210移動。所述磁性件230可以設置在從動件210和第二驅動裝置220之間的至少一個上。譬如，在所述驅動裝置210與從動件220為金屬等材料時，所述磁性件230只要一個即可。所述磁性件230可以分別設置在所述從動件210與從動件220之間。所述磁性件230可以為永磁鐵，或電磁鐵等。所述磁性件230在所述從動件210與所述第二驅動裝置220之間所產生的磁性吸引力大小，只要能夠驅動從動件210移動即可。而且該磁性作用力還可以設置為在發生卡料時，磁性件230可與從動件210脫離，以防止卡料時從動件210持續推動引線框架而損壞引線框架。
[0129]在本實施例中，所述引線框架推送設備200通過傳動機構實現推動。所述傳動機構包括絲杠螺母。所述絲杠螺母包括絲桿254及螺母252。為了適應不同的分離要求以滿足輸送引線框架的各種要求，所述磁性件230在所述第二驅動裝置220與所述從動件210之間的磁性作用力可調節，譬如在磁性件230為電磁鐵時，可以通過調節電流大小。當然，可以通過改變磁性件230的作用力的距離而實現磁力的可調節。在本實施例中，通過螺母252調節磁性件230的位置。所述磁性件230與所述螺母252連接。所述引線框架推送設備200還包括第二導軌256。所述螺母252可沿第二導軌256滑動地設置在所述第二導軌256上。
[0130]所述引線框架推送設備200還包括有接近開關278。所述接近開關278設置在所述磁性件230上。磁性件230位于從動件210前方，通過吸引從動件210而驅動從動件210移動。所述接近開關278位于所述從動件210或所述安裝座218的移動方向上。所述接近開關278用于在引線框架發生阻擋時關斷電力而使得第二驅動裝置220停止移動。所述第二驅動裝置220可以采用電機作用動力。
[0131]使用時，引線框架放置在支撐板207上表面。第二驅動裝置220通過絲杠螺母驅動磁性件230移動，磁性件230利用磁性作用力吸引從動件210移動。從動件210移動時，推桿218推送位于支撐板207上表面的引線框架，使引線框架移動至指定位置。如發生卡料時，推桿218受到的阻力大于磁性作用力時，從動件210與磁性件230脫離作用，可防止推桿218繼續推動引線框架而損壞引線框架。
[0132]以上僅為本實用新型較佳的實施例，并不用于局限本實用新型的保護范圍，任何在本實用新型精神內的修改、等同替換或改進等，都涵蓋在本實用新型的權利要求范圍內。
【主權項】
1.一種引線框架的處理產線，其特征在于，所述引線框架的處理產線包括: 取料機構，所述取料機構包括推料裝置、第一驅動裝置及承載件;所述推料裝置可移動地設置，所述推料裝置移動時推動引線框架移動地設置;所述第一驅動裝置直接驅動所述推料裝置移動或通過傳動裝置驅動所述推料裝置移動地設置;所述承載件設置在所述推料裝置的移動方向上，所述承載件用于接收所述推料裝置推送的引線框架地設置； 引線框架處理槽，所述引線框架處理槽包括槽體;所述槽體具有容腔，該槽體的容腔用于灌裝化學處理液； 引線框架夾具，所述引線框架夾具包括接液槽及夾持機構;所述接液槽具有槽腔，所述接液槽的槽腔可盛裝引線框架上滴落的化學處理液;所述夾持機構用于夾持引線框架并使引線框架位于所述槽腔上方； 引線框架推送設備，所述引線框架推送設備包括支撐機構、從動件及第二驅動裝置;所述支撐機構用于支撐引線框架;所述從動件可移動地設置，所述從動件移動時推動位于所述支撐機構上的引線框架移動地設置;所述第二驅動裝置直接驅動所述從動件或通過傳動機構驅動所述從動件地設置； 水刀，所述水刀設置為沖刷經過所述引線框架處理槽浸泡處理過的半導體引線框架上的毛刺。2.根據權利要求1所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述第一驅動裝置為旋轉電機或直線氣缸;所述傳動裝置為絲杠螺母，所述絲杠螺母包括螺母和絲桿;所述螺母與所述絲桿螺紋配合，所述螺母可沿所述絲桿移動地套裝在所述絲桿上;所述推料裝置為推板，所述推板與所述螺母連接。3.根據權利要求1所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述取料機構還包括導向裝置，所述推料裝置設置在所述導向裝置上，所述導向裝置限制所述推料裝置移動軌跡地設置。4.根據權利要求1所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述承載件上設置有夾持件，所述夾持件用于夾持引線框架;所述夾持件可翻轉地設置。5.根據權利要求4所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述夾持件包括夾持底座和多組夾持桿;所述多組夾持桿設置在所述夾持底座上;每組夾持桿包括兩根，且該兩根夾持桿相對設置;多組夾持桿間隔設置。6.根據權利要求4所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述的引線框架取料機構還包括旋轉氣缸，所述旋轉氣缸驅動所述夾持件翻轉地設置。7.根據權利要求1所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述引線框架處理槽還包括: 傳動機構，該傳動機構設置在所述槽體的容腔內； 固持機構，該固持機構包括至少兩個限位件，該至少兩個限位件沿所述傳動機構的運轉方向依次排列設置，所有相鄰兩個限位件之間間隔設置且所述間隔大于或等于半導體引線框架的厚度。8.根據權利要求7所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述傳動機構為鏈條或鋼帶;所述鏈條包括多個依次連接的鏈節。9.根據權利要求7所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述限位件為止檔柱或止檔壁。10.根據權利要求7所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述固持機構還包括支撐件，所述支撐件設置在所述傳動機構上，所述限位件設置在所述支撐件上。11.根據權利要求1所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述引線框架處理槽還包括放料裝置及取料裝置； 所述放料裝置包括第一夾持機械手，所述第一夾持機械手設置在所述槽體上方，所述第一夾持機械手可升降并可水平移動地設置； 所述取料裝置包括第二夾持機械手，所述第二夾持機械手設置在所述槽體上方，所述第二夾持機械手可升降并可水平移動地設置。12.根據權利要求1所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述引線框架夾具還包括多組夾爪，每組夾爪數目為兩個;每一組中的兩個夾爪可遠離及靠近地設置;所述夾爪位于所述槽腔上方。13.根據權利要求12所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述的引線框架夾具還包括第三驅動裝置，所述第三驅動裝置驅動每一組中的兩個所述夾爪相互靠近及遠離地設置。14.根據權利要求13所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述引線框架夾具還包括連接件，所述連接件包括安裝部及連接部； 所述安裝部具有底端及頂端，所述安裝部的底端設置在所述接液槽的側壁一側，且所述安裝部設置為沿所述接液槽的側壁的高度方向延伸至突出所述接液槽； 所述連接部設置在所述安裝部的頂端，沿所述槽腔寬度方向延伸在所述槽腔上方； 每一組中的其中一個夾爪設置在其中一個連接件的安裝部上； 所述第三驅動裝置驅動所述連接件移動地設置。15.根據權利要求1所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述支撐機構包括支撐板，所述支撐板設置有通槽;所述從動件為推桿;所述推桿貫穿所述通槽;所述推桿可沿所述通槽移動地設置。16.根據權利要求15所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述支撐板上設置有一塊或兩塊側壁板;所述側壁板突出于所述支撐板地設置;兩塊所述支撐板間隔設置;一塊或兩塊所述側壁板上設置有多個缺口，所述多個缺口間隔設置。17.根據權利要求15所述的引線框架的處理產線，其特征在于:所述傳動機構包括磁性件，所述第二驅動裝置驅動所述磁性件移動地設置;所述從動件具有磁性，或者所述從動件設置在可被所述磁性件吸引或排斥的安裝座上;所述磁性件與所述從動件或所述安裝座間隔設置。
【專利摘要】本實用新型公開了一種引線框架的處理產線。所述引線框架的處理產線包括取料機構、引線框架處理槽、引線框架夾具、引線框架推送設備及水刀。所述取料機構的推料裝置通過第一驅動裝置驅動，可實現自動工作。所述引線框架處理槽的固持機構將半導體引線框架維持在豎直位置，使得半導體引線框架占用空間小且浸泡時間長，獲得較佳的浸泡效果。所述引線框架夾具，設置的接液槽能夠完全接收引線框架上滴落的化學處理液，避免化學處理液滴落在氣缸、導軌等結構而造成腐蝕。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/48
【公開號】CN205385012
【申請號】CN201620042052
【發明人】黃春杰, 陳概禮, 黃利松
【申請人】上海新陽半導體材料股份有限公司
【公開日】2016年7月13日
【申請日】2016年1月15日