一種用于塑封器件開封的滴酸法開封裝置的制作方法

本實用新型涉及一種用于塑封器件開封的滴酸法開封裝置，屬于塑封器件開封技術領域。

背景技術：

在塑封器件的可靠性領域，很多試驗項目需要對塑封器件的包封層進行開封，以暴露出內部芯片、鍵合絲及引線框架等信息，以便于進行后續的試驗和分析。但是，目前對于塑封器件的開封方法中，使用傳統的酸洗的方法能夠保證內部芯片完整無損，但不能保證塑封器件整體結構的完整性；采用自動開封裝置能夠滿足通常的開封需求且內部芯片能夠保證完整暴露，但是自動開封裝置需要有合適的掩膜墊片，且噴出的酸霧腐蝕器件時，由于腐蝕的速度、腐蝕方向和可控性較低，開封的區域不能很好地控制，導致塑封器件開封過程中成功率較低。

塑封器件的激光開封方法能夠很好地控制開封區域，也能夠對開封的深度進行控制，但激光開封方法所采用的使用高能激光燒蝕的方法進行，使用激光開封方法開封至芯片表面時，高能激光同樣會將芯片表面鋁金屬布線燒蝕，破壞芯片表面。

因此，研究一種可得到完整的外部框架，無損內部結構，以及確定的開封區域具有重要的現實意義。

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種用于塑封器件開封的滴酸法開封裝置，使用該裝置對塑封器件進行開封，可以達到塑封器件開封中保存完好外部框架結構，開封區域確定，以及芯片內部完好的開封效果，可以克服現有技術的不足。

本實用新型的技術方案：一種用于塑封器件開封的滴酸法開封裝置，包括酸滴裝置，還包括加熱裝置、移動平臺、密封裝置和通風裝置，所述通風裝置與密封裝置連通，所述酸滴裝置、加熱裝置和移動平臺置于密封裝置內，其中，所述酸滴裝置置于密封裝置內上部，所述加熱裝置放置在移動平臺上。

所述密封裝置為由透明玻璃組成的外罩。

所述酸滴裝置由滴瓶、膠頭氣囊、磨砂開關和磨砂活塞組成，其中，膠頭氣囊通過磨砂開關與滴瓶連接，在滴瓶上方開口安裝有磨砂活塞，在滴瓶下方出口設有磨砂開關。

所述加熱裝置包括微電腦控制模塊和加熱模塊，微電腦控制模塊與加熱模塊連接。

所述加熱模塊包括加熱絲、鋁塊和溫度傳感器，其中加熱絲和溫度傳感器均置于鋁塊中，且均與微電腦控制模塊連接。

在所述鋁塊表面貼有耐強酸腐蝕的鋁箔。

所述移動平臺為XY軸移動平臺。

所述通風裝置包括風扇、通風軟管和風扇控制開關，其中風扇與通風軟管連接，風扇安裝在密封裝置內。

所述滴酸法開封裝置的操作方法包括以下步驟：

第一步：設定合適的溫度，啟動加熱裝置進行恒溫加熱；

第二步：在酸滴裝置中加入適量酸性物質，并置于密封裝置上部；

第三步：將待開封器件置于加熱器皿中，然后將加熱器皿放置在加熱平臺上加熱；

第四步：調節移動平臺，將待開封器件移動至酸滴裝置的正下方；

第五步：控制酸滴裝置對準待開封器件進行滴酸，如此重復，將需要開封的通過調節移動平臺并控制酸滴裝置進行滴酸開封。

對于開封窗口小于5mm的待開封器件，使用鋁箔對器件管腳等不需要開封的部位進行保護。

本實用新型的有益效果：本實用新型開封裝置結合滴酸法的優點，能夠很好地完成塑封器件的開封，可得到確定的開封區域，同時保證了塑封器件結構的完整性。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是酸滴裝置的結構示意圖；

圖3是移動平臺的結構示意圖；

圖4是通風裝置的結構示意圖；

圖中：1-酸滴裝置，2-密封裝置，3-加熱模塊，4-微電腦控制模塊，5-加熱器皿，6-移動平臺，7-通風裝置，11-膠頭氣囊，12-滴瓶，13-磨砂開關，14-磨砂活塞，61-X軸旋鈕，62-Y軸旋鈕，71-風扇，72-通風軟管，73-轉接接頭。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本實用新型作進一步地詳細描述。

本發明滴酸法開封裝置包括酸滴裝置1、加熱裝置、移動平臺6、密封裝置2和通風裝置7。其中：

密封裝置2是由透明玻璃組成的外罩，在外罩上端設有用于安裝酸滴裝置1的安裝孔，在其側面壁上設有用于安裝通風裝置7的通風孔。

加熱裝置由微電腦控制模塊4和加熱模塊3構成，加熱模塊3包括加熱絲、鋁塊和溫度傳感器，其中加熱絲和溫度傳感器均置于鋁塊中，且均與微電腦控制模塊4連接，在鋁塊表面貼有耐強酸腐蝕的鋁箔。微電腦控制模塊4的功能是檢測加熱模塊3溫度，在加熱模塊3溫度低于設置溫度時，對加熱模塊3輸出功率，使加熱模塊3升溫，當加熱模塊3溫度高于設定溫度時，停止對加熱模塊3輸出功率。

酸滴裝置1由滴瓶12、膠頭氣囊11、磨砂開關13和磨砂活塞14組成，其中，膠頭氣囊11通過磨砂開關13與滴瓶12連接，在滴瓶12上方開口安裝有磨砂活塞14，在滴瓶12下方出口也安裝有磨砂開關13，滴酸裝置的加工材料為透明石英材料，酸滴裝置1安裝在密封裝置2的安裝孔內。

通風裝置7包括風扇71、通風軟管72和風扇71控制開關，其中風扇71與通風軟管72連接，風扇71安裝在密封裝置2的通風孔上。通風裝置7的功能是將實驗產生的有毒有害氣體排出實驗區域，在本項目中的作用主要是將滴酸后高溫時產生的酸性氣體排出。使用加熱模塊3的微電腦控制模塊4的電源，組裝成通風裝置7，當加熱模塊3電源打開時，通風裝置7開始工作。通風裝置7的風扇71為220V AC供電，風扇71功率為5W，將風扇71電源接入溫控模塊的電源開關之上，當溫控模塊電源開關打開時，風扇71開始工作。風扇71外表面的油漆層能夠保護風扇71的金屬不被酸氣腐蝕。通過轉接接頭73將風扇71與通風軟管72連接，試驗中排出的廢氣通過通風軟管72排出室外。

移動平臺6為XY軸移動平臺6，其原理是通過X軸旋鈕61控制X軸方向左右移動，通過Y軸旋鈕62控制Y軸方向前后移動。XY軸移動平臺6的作用是帶動加熱模塊3移動位置，從而使放置在加熱模塊3上的待開封器件移動至滴酸裝置的正下方，便于將酸液滴入待開封器件的開封區域。 X軸有效行程大于10cm，Y軸有效行程大于5cm。XY軸工作臺底座有四個螺絲卡槽，能夠將工作臺固定于玻璃外罩的底座之上，使XY軸移動工作臺能固定。

本實用新型滴酸法開封裝置的操作方法包括以下步驟：

第一步：將開封裝置通電設置溫度為80℃，加熱10~25分鐘，使加熱臺溫度穩定。

第二步：在滴酸裝置中加入適量發煙硝酸，并將其放入密封裝置2的頂部安裝孔之中，蓋好磨砂活塞14。

第三步：對于激光預開封的開封窗口大于5mm的器件，將器件直接放入石英玻璃加熱器皿5之中，多只器件沿X軸排成一條直線；對于激光預開封的開封窗口小于5mm的器件，使用鋁箔對器件管腳等不需要開封的部位進行保護，具體做法是將激光開封后的器件用鋁箔包裹起來，用力按壓器件，使器件的開封窗口顯現出來，將開封窗口的鋁箔去掉，使開封窗口暴露出來，將包裹器件的鋁箔多余邊角剪掉，使余下部分成為規則的正方形或長方形，并將其放入石英玻璃加熱器皿5之中，多只器件沿X軸排成一條直線。

第四步：將放置好待開封器件的石英玻璃加熱器皿5放入加熱模塊3上，對器件加熱5分鐘；調節移動平臺6，將待開封器件移動至酸滴裝置1的正下方。

第五步：控制酸滴裝置1對準待開封器件的激光開封窗口內滴入2~4滴酸，調節移動平臺6位置，將另外一只待開封器件移動至滴酸裝置的正下方，控制滴酸裝置，對準待開封器件的激光開封窗口內滴入2~4滴酸，如此重復，將需要開封的器件均使用滴酸的方法進行開封。

以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內，因此，本實用新型的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。