本技術涉及硅片腐蝕機，具體為一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置。
背景技術：
1、硅片腐蝕機是一種用于處理硅片的設備，它能夠進行微電子制造清洗設備過濾芯的更換，硅片腐蝕機的主要功能是通過對硅片進行化學腐蝕，以實現硅片的表面處理和清洗，在半導體制造過程中，硅片表面處理是一個非常重要的環節，因為硅片表面的質量直接影響到半導體器件的性能和可靠性，因此，硅片腐蝕機在半導體制造領域中具有非常重要的應用。
2、目前的硅片腐蝕機一般采用清洗劑+超聲的方式，由于在腐蝕過程中，硅片表面會形成一層二氧化硅薄膜，這層薄膜不溶于水和硝酸，但能溶于氫氟酸，所以腐蝕液在硅片表面上的分布可能會不均勻，使部分區域的腐蝕液濃度較高，而其他區域的腐蝕液濃度較低，從而形成不均勻的腐蝕效果，導致處理效果不佳的問題。
技術實現思路
1、本實用新型的目的在于提供一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。
2、為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，包括設備主體，所述設備主體的內部開設有處理腔，所述設備主體的上方設置有安裝板，所述安裝板的下方設置有置物架，所述安裝板和置物架之間設置有轉動組件，所述置物架的內部通過固定組件安裝有置物盒，所述置物盒的一側固定安裝有把手，所述置物盒的內壁設置有硅片；
3、其中，所述轉動組件包括固定安裝在置物架頂端的轉動軸，所述轉動軸的頂端固定連接有電機，所述電機設置在安裝板的內部。
4、作為本技術方案的進一步優選的，所述置物盒的內部均勻開設有放置槽。
5、作為本技術方案的進一步優選的，所述安裝板的底端固定安裝有液壓桿，所述液壓桿安裝在設備主體的頂端。
6、作為本技術方案的進一步優選的，所述固定組件包括滑動安裝在置物盒內部的固定塊，所述固定塊對稱設置有兩個，兩個所述固定塊之間安裝有彈簧，兩個所述固定塊遠離置物盒的一端皆嵌入在固定槽的內壁，所述固定槽開設在置物架的內部。
7、作為本技術方案的進一步優選的，所述固定塊的一側設置為斜面。
8、作為本技術方案的進一步優選的，兩個所述固定塊的一端皆固定安裝有連接桿，兩個所述連接桿皆滑動安裝在滑槽的內部，所述滑槽開設在置物盒的內部。
9、作為本技術方案的進一步優選的，兩個所述連接桿之間固定連接有連接帶。
10、本實用新型提供了一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，具備以下有益效果：
11、(1)本實用新型通過轉動組件的設置，在需要對硅片進行處理時，可以通過外部電源啟動電機，由于電機的輸入端通過導線與外部電源電連接，電機的輸出端與轉動軸固定連接，所以轉動軸的轉動帶動置物架的轉動，置物架的轉動通過固定組件帶動置物盒轉動，置物盒的轉動帶動硅片的轉動，使硅片在處理腔的內部中轉動，并與處理腔內部的處理液充分接觸，避免了在腐蝕過程中，硅片表面會形成一層二氧化硅薄膜，這層薄膜不溶于水和硝酸，但能溶于氫氟酸，所以腐蝕液在硅片表面上的分布可能會不均勻，使部分區域的腐蝕液濃度較高，而其他區域的腐蝕液濃度較低，從而形成不均勻的腐蝕效果，導致處理效果不佳的問題，提高了對硅片的處理效果。
12、(2)本實用新型通過固定組件的設置，在需要置物盒安裝至置物架的內壁時，可以通過置物盒向置物架的一側推動，置物盒的移動帶動固定塊的移動，固定塊移動至固定槽的一側時，通過彈簧釋放彈性勢能帶動固定塊嵌入固定槽的內部，從而使置物盒與置物架連接，便于硅片在處理腔的內部中穩定轉動，提高設備的穩定性。
1.一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，包括設備主體(1)，其特征在于：包括設備主體(1)，所述設備主體(1)的內部開設有處理腔(16)，所述設備主體(1)的上方設置有安裝板(8)，所述安裝板(8)的下方設置有置物架(5)，所述安裝板(8)和置物架(5)之間設置有轉動組件，所述置物架(5)的內部通過固定組件安裝有置物盒(3)，所述置物盒(3)的一側固定安裝有把手(4)，所述置物盒(3)的內壁設置有硅片(2)；
2.根據權利要求1所述的一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，其特征在于：所述置物盒(3)的內部均勻開設有放置槽(17)。
3.根據權利要求1所述的一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，其特征在于：所述安裝板(8)的底端固定安裝有液壓桿(9)，所述液壓桿(9)安裝在設備主體(1)的頂端。
4.根據權利要求1所述的一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，其特征在于：所述固定組件包括滑動安裝在置物盒(3)內部的固定塊(10)，所述固定塊(10)對稱設置有兩個，兩個所述固定塊(10)之間安裝有彈簧(12)，兩個所述固定塊(10)遠離置物盒(3)的一端皆嵌入在固定槽(11)的內壁，所述固定槽(11)開設在置物架(5)的內部。
5.根據權利要求4所述的一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，其特征在于：所述固定塊(10)的一側設置為斜面。
6.根據權利要求4所述的一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，其特征在于：兩個所述固定塊(10)的一端皆固定安裝有連接桿(13)，兩個所述連接桿(13)皆滑動安裝在滑槽(15)的內部，所述滑槽(15)開設在置物盒(3)的內部。
7.根據權利要求6所述的一種用于硅片腐蝕機的轉動裝置，其特征在于：兩個所述連接桿(13)之間固定連接有連接帶(14)。