一種半導體激光器的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本發明屬于激光器技術領域，特別涉及一種半導體激光器。
【背景技術】
[0002]目前，大多數的多單管半導體激光器合束所采用的都是階梯結構，底板被加工成等間距的臺階，每個臺階上安裝一個激光二極管芯片，如圖1所示。這種方法對臺階間隔加工精度要求很高，且每個臺階的平行度都有嚴格要求，因此加工成本較高。同時每個臺階由于高度差的存在，散熱能力各有不同。為提高輸出功率而增加單管激光器數量時，必然會壓縮臺階間距，由于機械加工公差的存在，會給光學元件調裝帶來很大不利影響，降低成品率。
【發明內容】
[0003]針對上述問題，本發明的目的在于提供一種半導體激光器。該半導體激光器具備結構緊湊、光路簡單的特點。
[0004]為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案:
[0005]—種半導體激光器，包括底板及設置于底板上的激光器、快軸準直組件、慢軸準直組件、轉向壓縮光學系統、偏振合束棱鏡、聚焦鏡和光纖，其中激光器為兩排或單排。同排激光器均位于一個平面上，每個激光器沿光路方向均依次設有快軸準直組件和慢軸準直組件，同排激光器對應一組轉向壓縮光學系統，所述轉向壓縮光學系統用于對由快軸準直組件和慢軸準直組件準直的光束進行轉向和壓縮，對于兩排激光器時，所述偏振合束棱鏡用于將兩組所述轉向壓縮光學系統完成轉向和壓縮的兩束激光合束，所述聚焦鏡和光纖依次設置于偏振合束棱鏡的后邊，所述聚焦鏡將激光耦合進光纖。
[0006]所述轉向壓縮光學系統采用透射法或反射法。
[0007]所述轉向壓縮光學系統采用透射法時，所述轉向壓縮光學系統包括透射楔形棱鏡和多個轉向反射鏡，多個轉向反射鏡分別與同排中的各激光器相對應，各激光器發出的光束依次經過快軸準直組件、慢軸準直組件及轉向反射鏡，多個轉向反射鏡轉向的光束均通過所述透射楔形棱鏡進行壓縮。
[0008]所述轉向壓縮光學系統采用反射法時，所述轉向壓縮系統包括反射面具有傾斜角度的光學元件和多個轉向反射鏡，多個轉向反射鏡分別與同排中的各激光器相對應，各激光器發出的光束依次經過快軸準直組件、慢軸準直組件及轉向反射鏡，多個轉向反射鏡轉向的光束均通過所述光學元件進行壓縮。
[0009]同排的各激光器所對應的轉向反射鏡均位于同一平面上，且位于同一平面上的各轉向反射鏡相對于底板的傾斜角度相同。
[0010]位于同一平面上的各轉向反射鏡相對于底板的傾斜角度是1_10°。同排的激光器所在平面高于其相對應的轉向反射鏡所在平面。
[0011]所述底板上布設兩排激光器時，兩組所述轉向壓縮光學系統完成轉向和壓縮后的兩束激光在到達偏振合束棱鏡時位于同一高度。
[0012]兩排激光器可位于不同的平面內，或兩排激光器可分處具有高度差的兩個平面。
[0013]本發明的優點及有益效果是:
[0014]1.本發明由于多路激光器同處一個水平面，可以有效減薄底板厚度，提升激光器散熱能力，從而提升激光器的效率和可靠性。
[0015]2.本發明由于多路激光器同處一個水平面安裝，底板結構大為簡化，加工難度降低，可以大大降低機械物料成本。
[0016]3.本發明由于多路激光器同處一個水平面安裝，光束在快軸方向的臺階為特定傾斜角度的反射鏡制造出，可以通過調節反射鏡角度快速實現光束在快軸方向間距的變化，適用不同特性的半導體激光器，提升了機械物料的通用性，大大降低管理和生產成本。
[0017]4.本發明轉向壓縮光學系統，此系統可分為透射法和反射法兩種。透射法轉向壓縮系統為單路激光器轉向反射鏡和透射楔形棱鏡如直角楔形棱鏡組成;反射法轉向壓縮系統為單路激光器轉向反射鏡和反射面具有特定傾斜角度的光學元件如直角斜面反射棱鏡組成。這就允許相鄰兩路激光在經過反射鏡時可以有更大的間距，降低此步調節難度，提升產品成品率。
【附圖說明】
[0018]圖1為現有激光器的的結構示意圖；
[0019]圖2a為本發明實施例一的立體結構圖；
[0020]圖2b為本發明實施例一的側視圖；
[0021]圖2c為本發明實施例一的俯視圖；
[0022]圖3a為本發明實施例二的立體結構圖；
[0023]圖3b為本發明實施例二的側視圖；
[0024]圖3c為本發明實施例二的俯視圖；
[0025]圖4a為本發明實施例三的立體結構圖；
[0026]圖4b為本發明實施例三的側視圖；
[0027]圖4c為本發明實施例三的俯視圖；
[0028]圖5a為本發明實施例四的立體結構圖；
[0029]圖5b為本發明實施例四的側視圖；
[0030]圖5c為本發明實施例四的俯視圖；
[0031 ]圖6a為本發明實施例五的立體結構圖；
[0032]圖6b為本發明實施例五的側視圖；
[0033]圖6c為本發明實施例五的俯視圖；
[0034]圖7為本發明的原理不意圖。
[0035]圖中:100為底板，120為激光器，135為斜方棱鏡，140為轉向棱鏡，142為偏振合束棱鏡，154為快軸準直組件，158為慢軸準直組件，162為轉向反射鏡，166為轉向直角楔形棱鏡，167為公共反射鏡，168為斜面反射棱鏡，170為聚焦鏡，174為光纖。120.1為第一激光器，120.2為第二激光器，120.3為第三激光器，154.1為第一快軸準直組件，154.2為第二快軸準直組件，154.3為第三快軸準直組件，130.1為第一光束，130.2為第二光束，130.3為第三光束，158.1為第一慢軸準直組件，158.2為第二慢軸準直組件，158.3第三慢軸準直組件，162.1為第一轉向反射鏡，162.2為第二轉向反射鏡，163.3為第三轉向反射鏡，130c為光束堆疊。
【具體實施方式】
[0036]下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的詳細描述。
[0037]如圖2a_5c所示，本發明提供的一種半導體激光器，包括底板100及設置于底板100上的激光器120、快軸準直組件154、慢軸準直組件158、轉向壓縮光學系統、偏振合束棱鏡142、聚焦鏡170和光纖174，其中激光器120為兩排或一排，同排激光器120均位于一個平面上，每個激光器120沿光路方向均依次設有快軸準直組件154和慢軸準直組件158，同排激光器120對應一組轉向壓縮光學系統，所述轉向壓縮光學系統用于對由快軸準直組件154和慢軸準直組件158準直的光束進行轉向和壓縮。所述偏振合束棱鏡142用于兩排激光器時，將兩組所述轉向壓縮光學系統完成轉向和壓縮的兩束激光合束，所述聚焦鏡170和光纖174依次設置于偏振合束棱鏡142的后邊，所述聚焦鏡170將偏振合束棱鏡142合束的激光耦合進光纖174。
[0038]所述轉向壓縮光學系統采用透射法或反射法。所述轉向壓縮光學系統采用透射法時，所述轉向壓縮光學系統包括透射楔形棱鏡和多個轉向反射鏡162，多個轉向反射鏡162分別與同排中的各激光器120相對應，各激光器120發出的光束依次經過快軸準直組件154、慢軸準直組件158及轉向反射鏡162，多個轉向反射鏡162轉向的光束均通過所述透射楔形棱鏡進行壓縮。所述透射楔形棱鏡可采用直角楔形棱鏡166。
[0039]所述轉向壓縮光學系統采用反射法時，所述轉向壓縮系統包括反射面具有傾斜角度的光學元件和多個轉向反射鏡16 2，多個轉向反射鏡16 2分別與同排中的各激光器120相對應，各激光器120發出的光束依次經過快軸準直組件154、慢軸準直組件158及轉向反射鏡162，多個轉向反射鏡162轉向的光束均通過所述光學元件進行壓縮。所述光學元件可采用直角斜面反射棱鏡168。
[0040]兩組所述轉向壓縮光學系統完成轉向和壓縮后的兩束激光在到達偏振合束棱鏡時位于同一高度。
[0041]所述底板100為階梯結構，位于同排的各激光器120所對應的轉向反射鏡162均位于同一水平面上，且各轉向反射鏡162相對于底板100的傾斜角度相同，所述轉向反射鏡162相對于底板100的傾斜角度是1-10°。同排的激光器120所在平面高于其相對應的轉向反射鏡162所在平面，所述偏振合束棱鏡142、聚焦鏡170和光纖174位于同一平面內。
[0042]本發明的工作原理是: