一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯的制作方法
【專利摘要】一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，屬于單晶硅拋光片生產領域，本發明通過在5英寸片盒內設置獨特結構的盒芯，盒芯內通過特殊的六邊形支架固定4英寸片盒，從而實現了在5英寸片盒內安裝4英寸硅片，解決了4英寸、5英寸、6英寸3種尺寸硅片在同一清洗機上的兼容問題，大大節省了清洗成本；在盒芯的特定位置設置條形通孔和圓形透風孔，從而保證了甩干過程中氣流的順暢流動，不會產生渦流，保證了干燥的效果和清潔度；同時，在盒芯的特定部位設置聚偏氟乙烯材料制成的墊塊與5英寸片盒接觸，從而減少了甩干機在旋轉過程中盒芯與5英寸片盒的摩擦，避免了金屬和顆粒沾污，起到了良好的保護作用。
【專利說明】
一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯
技術領域
[0001]本發明涉及到單晶硅拋光片的生產領域，具體的說是一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯。
【背景技術】
[0002]隨著半導體行業的發展，市場對單晶硅拋光片的需求量越來越大，對單晶硅拋光片的規格尺寸的要求也越來越多樣化。為了滿足市場的需要，就要求單晶硅拋光片清洗機盡可能兼容多個尺寸，這樣就可以盡可能的實現硅拋光片規格和尺寸的多樣化。目前市場上的拋光片清洗機基本上只能兼容兩個尺寸，主要原因是甩干機由于受到清洗機寬度的限制，只能同時甩干兩個尺寸，甩干機的甩干腔內只能放置四個盒子，為了保證高速旋轉時的穩定性，相對的兩個盒子必須是同樣大小的。甩干時每次只能甩一組拋光片，并且這組拋光片必須是同尺寸的。
[0003]目前國內8英寸以下的拋光片主要是以甩干方式干燥的，而且主流的產品結構以4英寸、5英寸和6英寸為主，現有的拋光片清洗機也是以甩干方式干燥的，但是由于甩干機的限制，只能同時甩干5英寸和6英寸的拋光片，不能滿足4英寸、5英寸、6英寸3種尺寸產品結構的需求，所以在生產中至少需要兩臺清洗機才能滿足生產要求，但是如果使用兩臺清洗機，就不能充分發揮每臺清洗機的最大產能，就會大大增加清洗成本。
【發明內容】
[0004]為解決現有技術中的拋光片清洗機只能甩干5英寸和6英寸的硅片但不能兼容4英寸硅片的問題，本發明提供了一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，通過將該盒芯置于5英寸的甩干片盒內后，就可以將5英寸的片盒改裝成甩干4英寸硅片的片盒，從而實現了一臺清洗劑同時滿足4英寸、5英寸、6英寸3種尺寸硅片的清洗需求，還能充分保證甩干的干燥度和潔凈度，大大提高了生產效率，節約了成本。
[0005]本發明為解決上述技術問題所采用的技術方案為:一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，包括一矩形水平板和垂直設置在矩形水平板長度方向兩側上表面且與水平板等長的立板圍成的鋁合金框架，其中，水平板和立板之間為圓弧過渡連接，且沿兩者的連接處設置有條形通孔，在每條條形通孔上沿其長度方向均設置有兩個六邊形支架，且兩條條形通孔上的四個六邊形支架對稱，以形成固定支撐4英寸片盒的卡座;所述水平板的中部設置有將其沿長度方向分成兩部分的矩形槽，且在水平板長度方向兩端的下表面垂直設置有矩形護板I以將矩形槽的兩端封閉，所述矩形護板I的兩個側邊與水平板寬度方向的兩端平齊，所述矩形槽沿其兩側垂直向下設置有矩形護板Π，且矩形護板Π的下邊沿與矩形護板I的下邊沿平齊，從而將矩形槽圍成一矩形框體;所述矩形框體下部長度方向的兩側對稱設置有水平的底板，且底板、矩形護板Π、矩形護板I和水平板圍成向兩側開口的兩個條狀矩形空間，在條狀矩形空間內垂直設有若干連接底板和水平板的隔板，從而將條狀矩形空間分隔成若干個腔室;所述水平板上矩形槽的兩側演矩形槽的長度方向對稱分布有若干圓形透風孔，且這些圓形透風孔與條狀矩形空間相連通;所述兩塊立板上部的外側面和兩塊底板下表面上均設置有聚偏氟乙烯材料制成的墊塊，以使盒芯放入5英寸片盒內時，盒芯通過墊塊與5英寸片盒的內壁接觸。
[0006]所述兩塊立板的上邊沿傾斜設置有向兩側外擴的延長板。
[0007]所述墊塊為條狀，沿其長度方向設置有貫穿其寬度方向的若干斷槽。
[0008]所述兩塊立板上部的外側面設置有與其等長的支板，且支板與立板之間形成扁平空腔，所述設置在立板上部外側面的墊塊與支板等長，且沿其長度方向設置有貫穿其寬度方向的若干斷槽，每個斷槽內設置有連接螺栓，以將墊塊固定在支板上。
[0009]所述每個六邊形支架為兩條相同的垂直邊、兩條相同的水平邊、兩條連接垂直邊與水平邊的斜邊圍成板狀件，其中，一條垂直邊和一條水平邊分別與立板和水平板垂直設置，且連接該垂直邊和水平邊的斜邊架設在條形通孔上，并與條形通孔的寬度相等。
[0010]有益效果:本發明通過在5英寸片盒內設置獨特結構的盒芯，盒芯內通過特殊的六邊形支架固定4英寸片盒，從而實現了在5英寸片盒內安裝4英寸硅片，解決了 4英寸、5英寸、6英寸3種尺寸硅片在同一清洗機上的兼容問題，大大節省了清洗成本;在盒芯的特定位置設置條形通孔和圓形透風孔，從而保證了甩干過程中氣流的順暢流動，不會產生渦流，保證了干燥的效果和清潔度；同時，在盒芯的特定部位設置聚偏氟乙烯材料制成的墊塊與5英寸片盒接觸，從而減少了甩干機在旋轉過程中盒芯與5英寸片盒的摩擦，避免了金屬和顆粒沾污，起到了良好的保護作用;通過在盒芯內部設置獨特結構的四個六邊形支架，不僅起到固定4英寸片盒位置的作用，而且在甩干過程中起到對盒芯的支撐作用，具有結構簡單、操作方便的優點，同時還能充分保證甩干的干燥度和潔凈度，大大提高了生產效率，節約了成本。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發明的立體結構示意圖；
圖2為圖1的側視圖；
圖3為六邊形支架的結構示意圖；
附圖標記:1、立板，101、延長板，102、支板，103、扁平空腔，2、水平板，201、矩形護板Π，202、圓形透風孔，203、矩形槽，3、底板，4、矩形護板I，5、墊塊，501、斷槽，6、六邊形支架，601、水平邊，602、垂直邊，603、斜邊，7、矩形空間，8、隔板，9、條形通孔。
【具體實施方式】
[0012]如圖所示，一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，包括一矩形水平板2和垂直設置在矩形水平板2長度方向兩側上表面且與水平板2等長的立板I圍成的鋁合金框架，其中，水平板2和立板I之間為圓弧過渡連接，且沿兩者的連接處設置有條形通孔9，在每條條形通孔9上沿其長度方向均設置有兩個六邊形支架6，且兩條條形通孔9上的四個六邊形支架6對稱，以形成固定支撐4英寸片盒的卡座;所述水平板2的中部設置有將其沿長度方向分成兩部分的矩形槽203，且在水平板2長度方向兩端的下表面垂直設置有矩形護板14以將矩形槽203的兩端封閉，所述矩形護板14的兩個側邊與水平板2寬度方向的兩端平齊，所述矩形槽203沿其兩側垂直向下設置有矩形護板Π 201，且矩形護板Π 201的下邊沿與矩形護板14的下邊沿平齊，從而將矩形槽203圍成一矩形框體;所述矩形框體下部長度方向的兩側對稱設置有水平的底板3，且底板3、矩形護板Π 201、矩形護板14和水平板2圍成向兩側開口的兩個條狀矩形空間7，在條狀矩形空間7內垂直設有若干連接底板3和水平板2的隔板8，從而將條狀矩形空間7分隔成若干個腔室;所述水平板2上矩形槽203的兩側演矩形槽203的長度方向對稱分布有若干圓形透風孔202，且這些圓形透風孔202與條狀矩形空間7相連通;所述兩塊立板I上部的外側面和兩塊底板3下表面上均設置有聚偏氟乙烯材料制成的墊塊5，以使盒芯放入5英寸片盒內時，盒芯通過墊塊5與5英寸片盒的內壁接觸。
[0013]以上為本發明的基本實施方式，可在以上基礎上做進一步的優化、限定和改進:
如，所述兩塊立板I的上邊沿傾斜設置有向兩側外擴的延長板101;
又如，所述墊塊5為條狀，沿其長度方向設置有貫穿其寬度方向的若干斷槽501;
再如，所述兩塊立板I上部的外側面設置有與其等長的支板102，且支板102與立板I之間形成扁平空腔103，所述設置在立板I上部外側面的墊塊5與支板102等長，且沿其長度方向設置有貫穿其寬度方向的若干斷槽501，每個斷槽501內設置有連接螺栓，以將墊塊5固定在支板102上；
最后，所述每個六邊形支架6為兩條相同的垂直邊602、兩條相同的水平邊601、兩條連接垂直邊602與水平邊601的斜邊603圍成板狀件，其中，一條垂直邊602和一條水平邊601分別與立板I和水平板2垂直設置，且連接該垂直邊602和水平邊601的斜邊603架設在條形通孔9上，并與條形通孔9的寬度相等。
【主權項】
1.一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，該盒芯設置在5英寸片盒內，其特征在于:包括一矩形水平板(2)和垂直設置在矩形水平板(2)長度方向兩側上表面且與水平板(2)等長的立板(I)圍成的鋁合金框架，其中，水平板(2)和立板(I)之間為圓弧過渡連接，且沿兩者的連接處設置有條形通孔(9)，在每條條形通孔(9)上沿其長度方向均設置有兩個六邊形支架(6)，且兩條條形通孔(9)上的四個六邊形支架(6)對稱，以形成固定支撐4英寸片盒的卡座;所述水平板(2)的中部設置有將其沿長度方向分成兩部分的矩形槽(203)，且在水平板(2)長度方向兩端的下表面垂直設置有矩形護板1(4)以將矩形槽(203)的兩端封閉，所述矩形護板1(4)的兩個側邊與水平板(2)寬度方向的兩端平齊，所述矩形槽(203)沿其兩側垂直向下設置有矩形護板Π (201)，且矩形護板Π (201)的下邊沿與矩形護板1(4)的下邊沿平齊，從而將矩形槽(203)圍成一矩形框體;所述矩形框體下部長度方向的兩側對稱設置有水平的底板(3)，且底板(3)、矩形護板Π (201)、矩形護板1(4)和水平板(2)圍成向兩側開口的兩個條狀矩形空間(7)，在條狀矩形空間(7)內垂直設有若干連接底板(3)和水平板(2)的隔板(8)，從而將條狀矩形空間(7)分隔成若干個腔室;所述水平板(2)上矩形槽(203)的兩側演矩形槽(203)的長度方向對稱分布有若干圓形透風孔(202)，且這些圓形透風孔(202)與條狀矩形空間(7)相連通;所述兩塊立板(I)上部的外側面和兩塊底板(3)下表面上均設置有聚偏氟乙烯材料制成的墊塊(5)，以使盒芯放入5英寸片盒內時，盒芯通過墊塊(5)與5英寸片盒的內壁接觸。2.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，其特征在于:所述兩塊立板(I)的上邊沿傾斜設置有向兩側外擴的延長板(101)。3.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，其特征在于:所述墊塊(5)為條狀，沿其長度方向設置有貫穿其寬度方向的若干斷槽(501)。4.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，其特征在于:所述兩塊立板(I)上部的外側面設置有與其等長的支板(102)，且支板(102)與立板(I)之間形成扁平空腔(103)，所述設置在立板(I)上部外側面的墊塊(5)與支板(102)等長，且沿其長度方向設置有貫穿其寬度方向的若干斷槽(501)，每個斷槽(501)內設置有連接螺栓，以將墊塊(5)固定在支板(102)上。5.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片清洗機用兼容式甩干盒芯，其特征在于:所述每個六邊形支架(6)為兩條相同的垂直邊(602)、兩條相同的水平邊(601)、兩條連接垂直邊(602)與水平邊(601)的斜邊(603)圍成板狀件，其中，一條垂直邊(602)和一條水平邊(601)分別與立板(I)和水平板(2)垂直設置，且連接該垂直邊(602)和水平邊(601)的斜邊(603)架設在條形通孔(9)上，并與條形通孔(9)的寬度相等。
【文檔編號】H01L21/02GK106057713SQ201610659475
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年8月12日 公開號201610659475.0, CN 106057713 A, CN 106057713A, CN 201610659475, CN-A-106057713, CN106057713 A, CN106057713A, CN201610659475, CN201610659475.0
【發明人】邵奇, 熊誠雷, 吳躍峰
【申請人】麥斯克電子材料有限公司