陣列基板及其制作方法、顯示裝置的制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置，屬于顯示器領域。所述陣列基板包括沿同一方向并排且同層設置的第一信號線和第二信號線，所述第一信號線連接一第一引線，所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與所述第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。
【專利說明】
陣列基板及其制作方法、顯示裝置
技術領域
[0001]本發明涉及顯示器領域，特別涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。
【背景技術】
[0002]陣列基板通常包括像素顯示區和像素顯示區以外的外圍引線區。外圍引線區用于設置信號線，一種信號線通常有多根，多根信號線通常沿同一方向并排且同層設置，且通過引線連接到像素顯示區。引線在連接一根信號線時，經常會與其他信號線發生交叉。
[0003]在陣列基板封裝時，密封膠可能會覆蓋到引線與信號線交叉的區域，密封膠中的硅球可能會對引線與信號線交叉處產生擠壓，壓破引線與信號線之間的膜層，造成短路問題。
【發明內容】
[0004]為了解決密封膠中的硅球對引線與信號線交叉處產生擠壓，造成短路的問題，本發明實施例提供了一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。所述技術方案如下:
[0005]第一方面，本發明實施例提供了一種陣列基板，所述陣列基板包括沿同一方向并排且同層設置的第一信號線和第二信號線，所述第一信號線連接一第一引線，所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與所述第二信號線位于不同層的第二引線連接。
[0006]在本發明實施例的一種實現方式中，所述第一信號線上設有鏤空結構。
[0007]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述鏤空結構的面積與所述第二信號線斷開處的面積的差值小于設定值。
[0008]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述第一信號線上設有多個鏤空結構，所述多個鏤空結構按照所述第一信號線的長度方向排列。
[0009]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述第二信號線的斷開處在沿所述第二信號線的長度方向上的寬度為5-10微米。
[0010]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述陣列基板包括多個陣列基板行驅動GOA單元，所述第一信號線和第二信號線為時鐘信號線，所述時鐘信號線連接到所述GOA單
J L ο
[0011]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述陣列基板包括像素顯示區和所述像素顯示區以外的外圍引線區，所述第一信號線、所述第二信號線、所述第一引線和所述第二引線位于所述外圍引線區，所述像素顯示區包括柵極層、設置在所述柵極層上的柵極絕緣層、設置在所述柵極絕緣層上的有源層、設置在所述有源層上的源漏極層、以及設置在所述源漏極層上的鈍化層和透明電極層。
[0012]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述第一信號線和所述第二信號線與所述柵極層同層設置，所述第一引線與所述源漏極層同層設置，所述第二引線與所述透明電極層同層設置。
[0013]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述第一信號線、所述第二信號線、所述第一引線與所述源漏極層或所述柵極層同層設置，所述第二引線與所述透明電極層同層設置。
[0014]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述第一引線與柵極層同層設置，所述第一信號線和所述第二信號線與所述源漏極層同層設置，所述第二引線與透明電極層同層設置。
[0015]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述陣列基板還包括與所述第一信號線沿同一方向并排且同層設置的第三信號線和與所述第二信號線連接的第三引線，所述第三信號線分別與所述第一引線和所述第三引線交叉設置，所述第三信號線在與所述第三引線交叉位置處斷開，所述第三信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開，斷開的所述第三信號線通過與所述第三信號線位于不同層的第四引線連接。
[0016]在本發明實施例的另一種實現方式中，所述第一信號線和所述第二信號線上設有鏤空結構。
[0017]在本發明實施例的另一種實現方式中，每個所述鏤空結構的面積與斷開處的面積差值小于設定值，所述第二信號線上的鏤空結構的數量和所述第二信號線上的斷開處的數量之和、所述第一信號線上的鏤空結構的數量、以及所述第三信號線上的斷開處的數量相等。
[0018]第二方面，本發明實施例提供了一種顯示裝置，所述顯示裝置包括第一方面任一項所述的陣列基板。
[0019]第三方面，本發明實施例提供了一種陣列基板制作方法，所述方法包括:
[0020]在基板上形成柵極層、第一信號線和第二信號線，所述第一信號線和所述第二信號線形成于陣列基板的外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置；
[0021 ]在所述柵極層上形成柵極絕緣層；
[0022]在所述柵極絕緣層上形成有源層；
[0023]在所述有源層上形成源漏極層和第一引線，所述第一引線形成于所述外圍引線區，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接；
[0024]在所述源漏極層上形成鈍化層；
[0025]在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。
[0026]第四方面，本發明實施例提供了一種陣列基板制作方法，所述方法包括:
[0027]在基板上形成柵極層、第一信號線、第二信號線和第一引線，所述第一信號線、所述第二信號線和所述第一引線形成于陣列基板的外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接；
[0028]在所述柵極層上形成柵極絕緣層；
[0029]在所述柵極絕緣層上形成有源層；
[0030]在所述有源層上形成源漏極層；[0031 ]在所述源漏極層上形成鈍化層；
[0032]在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。
[0033]第五方面，本發明實施例提供了一種陣列基板制作方法，所述方法包括:
[0034]在基板上形成柵極層；
[0035]在所述柵極層上形成柵極絕緣層；
[0036]在所述柵極絕緣層上形成有源層；
[0037]在所述有源層上形成源漏極層、第一信號線、第二信號線和第一引線，所述第一信號線、所述第二信號線和所述第一引線形成于陣列基板的外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接；
[0038]在所述源漏極層上形成鈍化層；
[0039]在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。
[0040]第六方面，本發明實施例提供了一種陣列基板制作方法，所述方法包括:
[0041]在基板上形成柵極層和第一引線，所述第一引線形成于陣列基板的外圍引線區；
[0042]在所述柵極層上形成柵極絕緣層；
[0043]在所述柵極絕緣層上形成有源層；
[0044]在所述有源層上形成源漏極層、第一信號線和第二信號線，所述第一信號線和所述第二信號線形成于所述外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接；
[0045]在所述源漏極層上形成鈍化層；
[0046]在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。
[0047]本發明實施例提供的技術方案帶來的有益效果是:
[0048]在本發明實施例中，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，連接第一信號線的第一引線與第二信號線發生交叉，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。
【附圖說明】
[0049]為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0050]圖1是本發明實施例提供的一種陣列基板的結構示意圖；
[0051]圖2是本發明實施例提供的另一種陣列基板的結構示意圖；
[0052]圖3是本發明實施例提供的另一種陣列基板的結構示意圖；
[0053]圖4是本發明實施例提供的另一種陣列基板的結構示意圖；
[0054]圖5是本發明實施例提供的另一種陣列基板的局部放大結構示意圖；
[0055]圖6是本發明實施例提供的另一種陣列基板的局部放大結構示意圖；
[0056]圖7是本發明實施例提供的一種陣列基板制作方法的流程圖；
[0057]圖8是本發明實施例提供的另一種陣列基板制作方法的流程圖；
[0058]圖9是本發明實施例提供的另一種陣列基板制作方法的流程圖；
[0059]圖10是本發明實施例提供的另一種陣列基板制作方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0060]為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本發明實施方式作進一步地詳細描述。
[0061]圖1是本發明實施例提供的一種陣列基板的結構示意圖，參見圖1，陣列基板包括沿同一方向并排且同層設置的第一信號線11和第二信號線12，第一信號線11連接一第一引線13，第一引線13與第二信號線12交叉設置，第二信號線12在與第一引線13交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線12通過與第二信號線12位于不同層的第二引線14連接。
[0062]在本發明實施例中，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，連接第一信號線的第一引線與第二信號線發生交叉，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。
[0063]在本發明實施例中，斷開的第二信號線12在斷開處兩側的第二信號線12上分別設置有過孔，第二引線14通過過孔連接斷開的第二信號線12。
[0064]如圖1所示，第二信號線12在斷開處可以通過三條第二引線14連接。在其他實施例中，第二引線14的數量還可以設置成更多或更少(如I條或4條)。在本發明實施例中，三條第二引線14可以分別通過三對過孔連接。在其他實施例中，每條第二引線也可以通過多對過孔連接，如3對。
[0065]在本發明的一種實現方式中，如圖1所示，第一信號線11上設有鏤空結構15。
[0066]其中，鏤空結構15的面積與第二信號線12斷開處的面積的差值小于設定值，保證第一信號線11和第二信號線12的電阻平衡，保持第一信號線11和第二信號線12傳遞信號的一致性。
[0067]在本發明的另一種實現方式中，第一信號線11上設有多個鏤空結構，多個鏤空結構按照第一信號線的長度方向排列，保證在第一信號線11上各個位置間電阻平衡設計。
[0068]在本發明實施例中，第二信號線12斷開處在沿第二信號線12的長度方向上的寬度為5-10微米，避免第二信號線12與第一引線13交叉，保證第一引線13的順利經過，同時避免斷開太寬影響第二信號線12性能。
[0069]圖2是本發明實施例提供的一種陣列基板的結構示意圖，參見圖2，該陣列基板與圖1提供的陣列基板的區別在于，該陣列基板還包括多個GOA單元101，第一信號線11和第二信號線12為時鐘CLK信號線，時鐘信號線通過引線連接到GOA單元101，如第一信號線11通過第一引線13連接到GOA單元1I。
[0070]在其他實施例中，第一信號線11和第二信號線12還可以是其他信號線，如柵極低電平驅動線VGL(VGate Low)和柵極高電平驅動線VGH(VGate High)。
[0071]在本發明實施例中，陣列基板包括像素顯示區和像素顯示區以外的外圍引線區，第一信號線11、第二信號線12、第一引線13和第二引線14位于外圍引線區，像素顯示區包括多個像素單元，每行像素單元與一根柵線相連。每個像素單元包括設置柵極層、設置在柵極層上的柵極絕緣層、設置在柵極絕緣層上的有源層、設置在有源層上的源漏極(SourceDrain，簡稱SD)層、以及設置在SD層上的鈍化層和透明電極層。
[0072]在本發明實施例的一種實現方式中，第一信號線11和第二信號線12與柵極層同層設置，第一引線13與SD層同層設置，第二引線14與透明電極層同層設置。
[0073]在本發明實施例的另一種實現方式中，第一信號線11、第二信號線12、第一引線13與SD層或柵極層同層設置，第二引線14與透明電極層同層設置。
[0074]在本發明實施例的另一種實現方式中，第一引線13與柵極層同層設置，第一信號線11和第二信號線12與SD層同層設置，第二引線14與透明電極層同層設置。
[0075]其中，透明電極層包括但不限于公共電極層。
[0076]圖3是本發明實施例提供的另一種陣列基板的結構示意圖，參見圖3，該陣列基板與圖1提供的陣列基板的區別在于，該陣列基板還包括與第一信號線11沿同一方向并排且同層設置的第三信號線16和與第二信號線12連接的第三引線17，第三信號線16分別與第一引線13和第三引線17交叉設置，第三信號線16在與第三引線17交叉位置處斷開，第三信號線16在與第一引線13交叉位置處斷開，斷開的第三信號線16通過與第三信號線16位于不同層的第四引線18連接。
[0077]可選地，第二信號線12上設有鏤空結構15。
[0078]可選地，每個鏤空結構的面積與斷開處的面積差值小于設定值，第二信號線12上的鏤空結構15的面積和第二信號線12上的斷開處的面積之和、第一信號線11上的鏤空結構15的面積、以及第三信號線16上的斷開處的面積相等。這種設置保證了第一信號線11、第二信號線12和第三信號線13的電阻平衡，保持第一信號線11、第二信號線12和第三信號線13傳遞信號的一致性。
[0079]在圖3所示的陣列基板中，第一引線13和第三引線17為同類型的引線，作用是將第一信號線11連接到驅動單元，例如陣列基板行驅動(Gate Drive on Array，簡稱GOA)單元，在后文圖4?圖6中將這類引線稱為中間引線。第二引線14、第四引線18為同類型的引線，作用分別是連接斷開的第二信號線12和第三信號線16，在后文圖4?圖6中將這類引線稱為連接引線。
[0080]圖4是本發明實施例提供的一種陣列基板的結構示意圖，以對具有多根CLK信號線和多個GOA單元的陣列基板進行說明，參見圖4，陣列基板包括像素顯示區100和位于像素顯示區100外圍的外圍引線區200，外圍引線區200設有GOA單元101和CLK信號線102。
[0081]需要說明的是，如圖4所示，GOA單元101和CLK信號線102可以設置在陣列基板的像素顯示區100兩側。這種設置方式僅為舉例，GOA單元101和CLK信號線102也可以只設置在像素顯示區100的一側。此外，圖4中的CLK信號線102和GOA單元101僅用于表示其相對于像素顯示區的位置，并不對其數量進行限制。
[0082]圖5和圖6進一步顯示了圖4中CLK信號線102和GOA單元101的關系，圖5和圖6所示陣列基板的區別在于CLK信號線和中間引線是否同層設置，其中圖4和圖5示出的CLK信號線中任意兩根均可以作為前述第一信號線和第二信號線，且距離GOA單元101較遠的CLK信號線102為第一信號線，距離GOA單元101較近的CLK信號線102為第二信號線。如圖4或圖5所示，陣列基板包括多個GOA單元101、多根CLK信號線102以及多根中間引線103，多個GOA單元101中的每個GOA單元101通過多根中間引線103中的K根中間引線103與多根CLK信號線102中的K根CLK信號線102連接，且每根中間引線103只連接一個GOA單元101和一根CLK信號線102，K大于O且K為偶數。
[0083]GOA單元101與離GOA單元101最遠的CLK信號線102之間的CLK信號線102上設有若干斷口 102Α(也即前述第一信號線或第二信號線的斷開處)，CLK信號線102在斷口 102Α的位置斷開連接，每根中間引線103在基板上的垂直投影經過中間CLK信號線102的斷口 102A在基板上的垂直投影，中間CLK信號線102是中間引線103連接的CLK信號線102和GOA單元101之間的CLK信號線1 2，每根CLK信號線1 2的斷口 1 2A兩側的CLK信號線1 2通過過孔連接。
[0084]在本發明實施例中，GOA單元與離GOA單元最遠的CLK信號線之間的CLK信號線上設有若干斷口，每根中間引線在基板上的垂直投影經過中間CLK信號線的斷口在基板上的垂直投影，中間CLK信號線是中間引線連接的CLK信號線和GOA單元之間的CLK信號線，即每根中間引線經過與之連接的CLK信號線和GOA單元之間的CLK信號線的斷口，或者經過與之連接的CLK信號線和GOA單元之間的CLK信號線的斷口的正上方或正下方，使得中間引線不與CLK信號線發生交叉，從而避免了CLK信號線和中間引線交叉時，容易造成中間層破損的問題。
[0085]圖5或圖6所示的陣列基板，以每個GOA單元連接兩根CLK信號線102為例進行說明，兩根CLK信號線102分別為一個GOA單元101提供一個正相CLK信號和一個反相CLK信號。當然，GOA單元101也可以連接4、6、8甚至更多的CLK信號線102，連接的CLK信號線102兩根一組，一組CLK信號線102用來提供一個正相CLK信號和一個反相CLK信號。
[0086]需要說明的是，圖5或圖6中的GOA單元101的數量僅為舉例，本發明實施例對此不做限制。
[0087]如圖4所示，CLK信號線102通過連線與LCD的印制電路板(Printed CircuitBoard，簡稱PCB) 300連接，用來接收CLK信號輸入。
[0088]如圖5或6所示，陣列基板上的多根CLK信號線102平行設置。
[0089]進一步地，每個GOA單元101與像素顯示區100的一根柵線連接，像素顯示區100同一側的多個GOA單元101垂直于柵線的方向排列，上述CLK信號線102延伸方向與多個GOA單元101排列方向相同。
[0090]其中，斷口102A兩側的CLK信號線102上分別設置有過孔102B，陣列基板還包括連接引線(圖未示出)，連接引線通過兩個過孔102B連接斷口 102A兩側的CLK信號線102。連接引線的厚度小于CLK信號線102的厚度。通過連接引線連接斷口兩側的CLK信號線，由于連接引線的厚度小于CLK信號線的厚度，所以連接引線加中間引線的厚度小于CLK信號線加中間引線的厚度，因此使得中間引線與CLK信號線交叉處厚度降低，降低了中間引線被密封膠(如圖5或6中陰影部分10所示)中的硅球擠壓與其他層發生短路的可能。
[0091 ]參見圖5或圖6，每個斷口 102A可以通過多根連接弓I線連接，例如圖4示出的3個，但采用三根連接引線連接斷口 102A兩側的CLK信號線102僅為舉例，本發明對此不做限制。
[0092]在本發明實施例中，CLK信號線102所在層為陣列基板的柵極層或SD層，連接引線位于公共電極層。在陣列基板中，通常包括三個導電層，柵極層、SD層和公共電極層，其中CLK信號線可以設置在柵極層或SD層，其厚度大于公共電極層的厚度，所以設置在公共電極層的連接引線加中間引線的厚度小于CLK信號線加中間引線的厚度。并且，與現有膜層同步制作，制作方法簡單。
[0093]其中，CLK信號線102的厚度為4000埃，連接引線的厚度為400埃。由于在CLK信號線斷口處，中間引線會與CLK信號線交叉，這種厚度差可以充分保證連接引線設計能夠充分降低交疊處的厚度。
[0094]其中，連接引線可以為氧化銦錫(Indium Tin Oxide，簡稱ITO)引線。這樣可以直接在現有膜層上直接實現連接引線設計，方便加工，節省成本。
[0095]在上述實現中，CLK信號線102可以為柵極金屬線或源漏極金屬線。
[0096]在一種可能的實現方式中，如圖5所示，CLK信號線102和中間引線103處于同一層，中間引線103穿過中間CLK信號線102的斷口 102A。一方面既能避免中間引線與CLK信號線交叉，避免中間引線被密封膠中的硅球擠壓與其他層發生短路的情況;另一方面，避免通過過孔連接CLK信號線和GOA單元，減小了中間引線長度，減小了 CLK信號線和GOA單元間的電阻。
[0097]例如，CLK信號線102和中間引線103均位于柵極層。
[0098]在另一種可能的實現方式中，如圖6所示，CLK信號線102和中間引線103處于不同層，中間引線103在基板上的垂直投影位于中間CLK信號線102的斷口 102A在基板上的垂直投影內。這種實現方式既能避免中間引線與CLK信號線交叉，又可以避免中間引線被密封膠中的硅球擠壓與其他層發生短路的情況。
[0099]優選地，CLK信號線102位于SD層，中間引線103位于柵極層，CLK信號線102和中間引線103通過SD層與柵極層間的過孔103A連接。中間引線設置在最下面的柵極層，由于柵極層上設置有柵極絕緣層、鈍化層等，可以對中間引線起到保護作用，因此使得中間引線更不易被擠壓發生短路。
[0100]當然，也可以是CLK信號線102位于柵極層，中間引線103位于SD層。
[0101]其中，CLK信號線102的斷口102A的寬度可以為5-10微米，保證中間引線的順利經過，同時避免斷口太寬影響CLK信號線性能。
[0102]優選地，斷口 102A寬度為8微米。
[0103]可選地，如圖5或圖6所示，CLK信號線102上設有鏤空結構15，通過設計鏤空結構，平衡各根CLK信號線間電阻。
[0104]具體地，每個鏤空結構的面積與斷口102A之間的面積差小于設定值，任意一根CLK信號線102上的鏤空結構15的數量和斷口 102A的數量之和，與任意另外一根CLK信號線102上的鏤空結構15的數量和斷口 102A的數量之和相等，從而進一步保證多根CLK信號線間電阻平衡設計。以圖5所示的陣列基板為例，每根CLK信號線102上的鏤空結構15的數量與斷口102A的數量之和均為4，即任意兩根CLK信號線102上的鏤空結構15的數量與斷口 102A的數量之和均相等。
[0105]具體地，鏤空結構15的面積與斷口102A的面積的差值小于設定值，從而進一步保證多根CLK信號線間電阻平衡設計。其中，設定值可以根據需要設置，例如設定值可以是斷口 102A的面積的I % -1 O %。
[0106]當CLK信號線102上設有多個鏤空結構15時，多個鏤空結構15按照CLK信號線102的長度方向排列(如圖5或6中箭頭所示方向)，保證同一根CLK信號線間電阻平衡設計。
[0107]本發明實施例還提供了一種顯示裝置，該顯示裝置包括圖1-圖6任一幅所示出的陣列基板。
[0108]在具體實施時，本發明實施例提供的顯示裝置可以為手機、平板電腦、電視機、顯示器、筆記本電腦、數碼相框、導航儀等任何具有顯示功能的產品或部件。
[0109]在本發明實施例中，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，連接第一信號線的第一引線與第二信號線發生交叉，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。
[0110]圖7是本發明實施例提供的一種陣列基板制作方法的流程圖，適用于前述圖1?圖6提供的陣列基板中具有如下特征的陣列基板:第一信號線和第二信號線與柵極層同層設置，第一引線與SD層同層設置，第二引線與透明電極層同層設置，參見圖7，該方法包括:
[0111]步驟701:在基板上形成柵極層、第一信號線和第二信號線，第一信號線和第二信號線形成于陣列基板的外圍引線區，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置。
[0112]步驟702:在柵極層上形成柵極絕緣層。
[0113]步驟703:在柵極絕緣層上形成有源層。
[0114]步驟704:在有源層上形成SD層和第一引線，第一引線形成于外圍引線區，第一引線連接第一信號線，且第一引線與第二信號線交叉設置，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接。
[0115]其中，第一引線與第一信號線設置在不同層，因此，第一引線需要通過柵極層和SD層之間的過孔連接第一信號線。
[0116]其中，第二信號線斷開處在沿第二信號線的長度方向上的寬度為5-10微米，避免第二信號線與第一引線交叉，保證第一引線的順利經過，同時避免斷開太寬影響第二信號線性能。
[0117]進一步地，在本發明的一種實現方式中，第一信號線上設有鏤空結構。
[0118]其中，鏤空結構的面積與第二信號線斷開處的面積的差值小于設定值，保證第一信號線和第二信號線的電阻平衡，保持第一信號線和第二信號線傳遞信號的一致性。
[0119]在本發明的另一種實現方式中，第一信號線上設有多個鏤空結構，多個鏤空結構按照第一信號線的長度方向排列，保證在第一信號線上各個位置間電阻平衡設計。
[0120]步驟705:在SD層上形成鈍化層。
[0121]步驟706:在鈍化層上形成透明電極層和第二引線，第二引線形成于外圍引線區，第二引線連接斷開的第二信號線。
[0122]其中，第二引線與第二信號線設置在不同層，因此，第二引線需要通過透明電極層和SD層之間的過孔連接斷開的第二信號線。
[0123]其中，上述步驟中形成的柵極層、柵極絕緣層、有源層、SD層、鈍化層和透明電極層同時設置在陣列基板的像素顯示區和外圍引線區，像素顯示區的上述膜層用于形成像素單元，外圍引線區的上述膜層用于形成GOA單元。
[0124]在本發明實施例中，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，連接第一信號線的第一引線與第二信號線發生交叉，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。
[0125]圖8是本發明實施例提供的另一種陣列基板制作方法的流程圖，適用于前述圖1?圖6提供的陣列基板中具有如下特征的陣列基板:第一信號線、第二信號線、第一引線與柵極層同層設置，第二引線與透明電極層同層設置，參見圖8，方法包括:
[0126]步驟801:在基板上形成柵極層、第一信號線、第二信號線和第一引線，第一信號線、第二信號線和第一引線形成于陣列基板的外圍引線區，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，第一引線連接第一信號線，且第一引線與第二信號線交叉設置，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接。
[0127]其中，第一引線與第一信號線設置在同一層，因此，第一引線可以直接與第一信號線連接。
[0128]其中，第二信號線斷開處在沿第二信號線的長度方向上的寬度為5-10微米，避免第二信號線與第一引線交叉，保證第一引線的順利經過，同時避免斷開太寬影響第二信號線性能。
[0129]進一步地，在本發明的一種實現方式中，第一信號線上設有鏤空結構。
[0130]其中，鏤空結構的面積與第二信號線斷開處的面積的差值小于設定值，保證第一信號線和第二信號線的電阻平衡，保持第一信號線和第二信號線傳遞信號的一致性。
[0131]在本發明的另一種實現方式中，第一信號線上設有多個鏤空結構，多個鏤空結構按照第一信號線的長度方向排列，保證在第一信號線上各個位置間電阻平衡設計。
[0132]步驟802:在柵極層上形成柵極絕緣層。
[0133]步驟803:在柵極絕緣層上形成有源層。
[0134]步驟804:在有源層上形成SD層。
[0135]步驟805:在SD層上形成鈍化層。
[0136]步驟806:在鈍化層上形成透明電極層和第二引線，第二引線形成于外圍引線區，第二引線連接斷開的第二信號線。
[0137]其中，第二引線與第二信號線設置在不同層，因此，第二引線需要通過透明電極層和柵極層之間的過孔連接斷開的第二信號線。
[0138]其中，上述步驟中形成的柵極層、柵極絕緣層、有源層、SD層、鈍化層和透明電極層同時設置在陣列基板的像素顯示區和外圍引線區，像素顯示區的上述膜層用于形成像素單元，外圍引線區的上述膜層用于形成GOA單元。
[0139]在本發明實施例中，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，連接第一信號線的第一引線與第二信號線發生交叉，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。第一引線和第一信號線設置在同一層，第一引線與第一信號線連接時，無需使用過孔連接，節省了制作步驟，同時減小了第一引線長度，減小了第一引線的電阻。
[0140]圖9是本發明實施例提供的另一種陣列基板制作方法的流程圖，適用于前述圖1?圖6提供的陣列基板中具有如下特征的陣列基板:第一信號線、第二信號線、第一引線與SD層同層設置，第二引線與透明電極層同層設置，參見圖9，方法包括:
[0141]步驟901:在基板上形成柵極層。
[0142]步驟902:在柵極層上形成柵極絕緣層。
[0143]步驟903:在柵極絕緣層上形成有源層。
[0144]步驟904:在有源層上形成SD層、第一信號線、第二信號線和第一引線，第一信號線、第二信號線和第一引線形成于陣列基板的外圍引線區，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，第一引線連接第一信號線，且第一引線與第二信號線交叉設置，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接。
[0145]其中，第一引線與第一信號線設置在同一層，因此，第一引線可以直接與第一信號線連接。
[0146]其中，第二信號線斷開處在沿第二信號線的長度方向上的寬度為5-10微米，避免第二信號線與第一引線交叉，保證第一引線的順利經過，同時避免斷開太寬影響第二信號線性能。
[0147]進一步地，在本發明的一種實現方式中，第一信號線上設有鏤空結構。
[0148]其中，鏤空結構的面積與第二信號線斷開處的面積的差值小于設定值，保證第一信號線和第二信號線的電阻平衡，保持第一信號線和第二信號線傳遞信號的一致性。
[0149]在本發明的另一種實現方式中，第一信號線上設有多個鏤空結構，多個鏤空結構按照第一信號線的長度方向排列，保證在第一信號線上各個位置間電阻平衡設計。
[0150]步驟905:在SD層上形成鈍化層。
[0151]步驟906:在鈍化層上形成透明電極層和第二引線，第二引線形成于外圍引線區，第二引線連接斷開的第二信號線。
[0152]其中，第二引線與第二信號線設置在不同層，因此，第二引線需要通過透明電極層和SD層之間的過孔連接斷開的第二信號線。
[0153]其中，上述步驟中形成的柵極層、柵極絕緣層、有源層、SD層、鈍化層和透明電極層同時設置在陣列基板的像素顯示區和外圍引線區，像素顯示區的上述膜層用于形成像素單元，外圍引線區的上述膜層用于形成GOA單元。
[0154]在本發明實施例中，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，連接第一信號線的第一引線與第二信號線發生交叉，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。第一引線和第一信號線設置在同一層，第一引線與第一信號線連接時，無需使用過孔連接，節省了制作步驟，同時減小了第一引線長度，減小了第一引線的電阻。
[0155]圖10是本發明實施例提供的另一種陣列基板制作方法的流程圖，適用于前述圖1?圖6提供的陣列基板中具有如下特征的陣列基板:第一引線與柵極層同層設置，第一信號線和第二信號線與SD層同層設置，第二引線與透明電極層同層設置，參見圖10，方法包括:
[0156]步驟1001:在基板上形成柵極層和第一引線，第一引線形成于陣列基板的外圍引線區。
[0157]步驟1002:在柵極層上形成柵極絕緣層。
[0158]步驟1003:在柵極絕緣層上形成有源層。
[0159]步驟1004:在有源層上形成SD層、第一信號線和第二信號線，第一信號線和第二信號線形成于外圍引線區，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，第一引線連接第一信號線，且第一引線與第二信號線交叉設置，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接。
[0160]其中，第一引線與第一信號線設置在不同層，因此，第一引線需要通過柵極層和SD層之間的過孔連接第一信號線。
[0161]其中，第二信號線斷開處在沿第二信號線的長度方向上的寬度為5-10微米，避免第二信號線與第一引線交叉，保證第一引線的順利經過，同時避免斷開太寬影響第二信號線性能。
[0162]進一步地，在本發明的一種實現方式中，第一信號線上設有鏤空結構。
[0163]其中，鏤空結構的面積與第二信號線斷開處的面積的差值小于設定值，保證第一信號線和第二信號線的電阻平衡，保持第一信號線和第二信號線傳遞信號的一致性。
[0164]步驟1005:在SD層上形成鈍化層。
[0165]步驟1006:在鈍化層上形成透明電極層和第二引線，第二引線形成于外圍引線區，第二引線連接斷開的第二信號線。
[0166]其中，第二引線與第二信號線設置在不同層，因此，第二引線需要通過透明電極層和SD層之間的過孔連接斷開的第二信號線。
[0167]其中，上述步驟中形成的柵極層、柵極絕緣層、有源層、SD層、鈍化層和透明電極層同時設置在陣列基板的像素顯示區和外圍引線區，像素顯示區的上述膜層用于形成像素單元，外圍引線區的上述膜層用于形成GOA單元。
[0168]在本發明實施例中，第一信號線和第二信號線沿同一方向并排且同層設置，連接第一信號線的第一引線與第二信號線發生交叉，第二信號線在與第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與第二信號線位于不同層的第二引線連接，使得引線不與信號線發生交叉，從而避免了引線與信號線交叉時，容易造成中間層破損的問題。第一引線設置在最下面的柵極層，由于柵極層上設置有柵極絕緣層、鈍化層等，可以對第一引線起到保護作用，因此使得第一引線更不易被擠壓發生短路。
[0169]以上所述僅為本發明的較佳實施例，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種陣列基板，所述陣列基板包括沿同一方向并排且同層設置的第一信號線和第二信號線，所述第一信號線連接一第一引線，所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，其特征在于，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接，且斷開的第二信號線通過與所述第二信號線位于不同層的第二引線連接。2.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述第一信號線上設有鏤空結構。3.根據權利要求2所述的陣列基板，其特征在于，所述鏤空結構的面積與所述第二信號線斷開處的面積的差值小于設定值。4.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述第一信號線上設有多個鏤空結構，所述多個鏤空結構按照所述第一信號線的長度方向排列。5.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述第二信號線的斷開處在沿所述第二信號線的長度方向上的寬度為5-10微米。6.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述陣列基板包括多個陣列基板行驅動GOA單元，所述第一信號線和第二信號線為時鐘信號線，所述時鐘信號線連接到所述GOA單元。7.根據權利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述陣列基板包括像素顯示區和所述像素顯示區以外的外圍引線區，所述第一信號線、所述第二信號線、所述第一引線和所述第二引線位于所述外圍引線區，所述像素顯示區包括柵極層、設置在所述柵極層上的柵極絕緣層、設置在所述柵極絕緣層上的有源層、設置在所述有源層上的源漏極層、以及設置在所述源漏極層上的鈍化層和透明電極層。8.根據權利要求7所述的陣列基板，其特征在于，所述第一信號線和所述第二信號線與所述柵極層同層設置，所述第一引線與所述源漏極層同層設置，所述第二引線與所述透明電極層同層設置。9.根據權利要求7所述的陣列基板，其特征在于，所述第一信號線、所述第二信號線、所述第一引線與所述源漏極層或所述柵極層同層設置，所述第二引線與所述透明電極層同層設置。10.根據權利要求7所述的陣列基板，其特征在于，所述第一引線與所述柵極層同層設置，所述第一信號線和所述第二信號線與所述源漏極層同層設置，所述第二引線與所述透明電極層同層設置。11.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述陣列基板還包括與所述第一信號線沿同一方向并排且同層設置的第三信號線和與所述第二信號線連接的第三引線，所述第三信號線分別與所述第一引線和所述第三引線交叉設置，所述第三信號線在與所述第三引線交叉位置處斷開，所述第三信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開，斷開的所述第三信號線通過與所述第三信號線位于不同層的第四引線連接。12.根據權利要求11所述的陣列基板，其特征在于，所述第一信號線和所述第二信號線上設有鏤空結構。13.根據權利要求12所述的陣列基板，其特征在于，每個所述鏤空結構的面積與斷開處的面積差值小于設定值，所述第二信號線上的鏤空結構的數量和所述第二信號線上的斷開處的數量之和、所述第一信號線上的鏤空結構的數量、以及所述第三信號線上的斷開處的數量相等。14.一種顯示裝置，其特征在于，所述顯示裝置包括權利要求1-13任一項所述的陣列基板。15.一種陣列基板制作方法，其特征在于，所述方法包括: 在基板上形成柵極層、第一信號線和第二信號線，所述第一信號線和所述第二信號線形成于陣列基板的外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置； 在所述柵極層上形成柵極絕緣層； 在所述柵極絕緣層上形成有源層； 在所述有源層上形成源漏極層和第一引線，所述第一引線形成于所述外圍引線區，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接； 在所述源漏極層上形成鈍化層； 在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。16.一種陣列基板制作方法，其特征在于，所述方法包括: 在基板上形成柵極層、第一信號線、第二信號線和第一引線，所述第一信號線、所述第二信號線和所述第一引線形成于陣列基板的外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接； 在所述柵極層上形成柵極絕緣層； 在所述柵極絕緣層上形成有源層； 在所述有源層上形成源漏極層； 在所述源漏極層上形成鈍化層； 在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。17.一種陣列基板制作方法，其特征在于，所述方法包括: 在基板上形成柵極層； 在所述柵極層上形成柵極絕緣層； 在所述柵極絕緣層上形成有源層； 在所述有源層上形成源漏極層、第一信號線、第二信號線和第一引線，所述第一信號線、所述第二信號線和所述第一引線形成于陣列基板的外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接； 在所述源漏極層上形成鈍化層； 在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。18.一種陣列基板制作方法，其特征在于，所述方法包括: 在基板上形成柵極層和第一引線，所述第一引線形成于陣列基板的外圍引線區； 在所述柵極層上形成柵極絕緣層； 在所述柵極絕緣層上形成有源層； 在所述有源層上形成源漏極層、第一信號線和第二信號線，所述第一信號線和所述第二信號線形成于所述外圍引線區，所述第一信號線和所述第二信號線沿同一方向并排且同層設置，所述第一引線連接所述第一信號線，且所述第一引線與所述第二信號線交叉設置，所述第二信號線在與所述第一引線交叉位置處斷開連接； 在所述源漏極層上形成鈍化層； 在所述鈍化層上形成透明電極層和第二引線，所述第二引線形成于所述外圍引線區，所述第二引線連接斷開的第二信號線。
【文檔編號】H01L21/77GK106057818SQ201610363515
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年5月26日
【發明人】李少茹, 汪銳, 楊妮, 陳帥
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 重慶京東方光電科技有限公司