專利名稱：制造壓電共振器的方法
技術領域：
本發明涉及一種制造例如用于振蕩器的壓電共振器、特別是能量收集型壓電共振器的方法，共振器里安裝著許多勵磁電極，從而互相重疊，而壓電體置于它們之間。
一種傳統的能量收集型壓電共振器具有安裝在壓電板的各主表面上的第一勵磁電極和第二勵磁電極，并使第一勵磁電極和第二勵磁電極互相重疊，而壓電板置于它們之間，從而在互相重疊的電極區域形成一勵磁部分。另一種傳統的壓電共振器是一種層疊的能量收集型壓電共振器，它具有至少一層內電極，其中，在壓電表面上設置勵磁電極，并互相重疊，而內電極和壓電層置于它們之間，如日本專利申請第7-105686號所述的。
在這些壓電共振器里，共振頻率取決于壓電體的厚度。為此，為了生產具有不同共振頻率的壓電共振器，將根據所需要的共振頻率來選擇壓電體的厚度。
壓電共振器的共振特性按照勵磁電極的電極重疊區域限定的勵磁部分變化。因此，首先必須確定壓電體的厚度，然后調整勵磁電極的重疊區域，以提供最適當的面積，以便在一任意的共振頻率時獲得良好的共振特性。勵磁電極的最適當重疊面積是根據共振頻率變化的。
因此，為了在一任意的共振頻率上獲得良好的共振特性，必須提供具有與共振頻率對應的厚度的壓電體，并必須提供勵磁電極，以便獲得在壓電共振器里的勵磁電極精確和理想的重疊面積。
然而，在制造傳統的壓電共振器的過程中，許多勵磁電極通常都是同時形成于一由壓電材料制成的母板上。這將通過制造作為例子的、如
圖13所示的傳統的壓電共振器70的方法來介紹，而這種共振器適合于以厚度剪切振動方式振動。
在制造壓電共振器70時，互相之間具有間隙的條形電極形成于壓電材料制成的母板的上表面和下表面上。在上表面上安裝條形電極是為了形成勵磁電極72a和引導電極72b，如圖13所示，在下表面上安裝條形電極是為了形成勵磁電極72c和引導電極72d。
在母板上表面上的條形電極和在同一母板下表面上的條形電極互相重疊，而母板的一部分在它們之間，從而具有在勵磁電極72a和72c之間形成的重疊長度L。然后沿著連接勵磁電極72a和引導電極72b的一條線的方向、以及沿著垂直于該條線的方向切割母板，從而獲得壓電共振器70。
在壓電共振器70里，引導電極72b和72d沿與壓電體71上的勵磁部分相反的方向延伸，而壓電體71沿箭頭P所示的方向極化。提供引導電極72b是為了延伸至側表面71a，而提供引導電極72d是為了延伸至側表面71b。
如上所述，傳統的能量收集型壓電共振器70一般是通過在母板的各表面上同時形成許多條形電極制造出來的。
如上所述，為了在特定的共振頻率時獲得良好的特性，必須優化在壓電共振器里的勵磁電極之間的重疊區域，即在壓電共振器70里的勵磁電極72a和72c之間的重疊長度L。因此，在制造具有許多頻率的壓電共振器時，在母板上形成條形電極后，必須給各頻率提供不同的膜片，以便各共振器可以獲得最適合的電極重疊長度L。
然而，對應不同的共振頻率提供不同的膜片的費用是很高的。因此，實際上是將頻率劃分成幾個頻段，每個頻段使用一個共用膜片，由此在母板上形成上述的條形電極。
為了使不同的共振頻率在各范圍里而制造和使用膜片將使電極重疊長度L不精確和不適合某些共振頻率。當電極重疊長度L被設計為對應于某頻段一特定共振頻率時，該電極重疊長度并不特別適合于此頻段內的其它共振頻率，因此，在給定頻段中只有在一個共振頻率處可獲得良好的共振特性，而在其它共振頻率處并不能提供良好的共振特性。
為了克服上述缺點，本發明的較佳實施例提供一種制造具有優良共振特性的壓電共振器的方法，該方法通過只使用一種類型的、用來形成電極的膜片就能相對任何需要的共振頻率獲得精確的電極重疊，并獲得與許多共振頻率精確對應的理想的電極重疊面積。
本發明的一個較佳實施例提供一種制造具有壓電體的壓電共振器的方法，許多第一和第二勵磁電極互相重疊，而壓電體位于它們之間，從而提供一勵磁部分；第一引導電極自對應的第一勵磁電極延伸至壓電體的側面部分，并與第一電位連接；而第二引導電極自與所述第一引導電極延伸方向相反的方向延伸，并與第二電位連接；所述方法包括下列步驟提供第一母板，在第一母板上設置許多第一條形電極，這些電極具有在它們之間的沿第一方向排列的間隙且沿第二方向延伸，第一方向沿著在勵磁電極和引導電極之間延伸的一條線的方向，而第二方向基本上垂直于第一方向；通過沿著第二方向切割第一母板而獲得第二母板，這樣，第一條形電極在第一方向上的長度與目標共振頻率相稱；通過使用一膜片在第二母板的一主表面上形成許多第二條形電極，各第二條形電極構成第二勵磁電極和沿第二方向與第二電位連接的第二引導電極；以及通過沿第一方向切割第二母板而獲得許多壓電共振器。
按照上述方法，可獲得許多壓電共振器。在生產第二母板的切割步驟中，通過改變切割位置可確定與第一電位連接的第一條形電極在第一方向上的長度。由于在生產第二母板的切割步驟過程中，在最終獲得的壓電共振器上的與第一電位連接的第一勵磁電極在第一方向上的長度可以調整，因此勵磁電極互相重疊長度可較容易地調整到一適當長度，從而在不同的頻率時可獲得優良的共振特性。
此外，在形成上述第二條形電極、其中第二勵磁電極與第二電位連接、而第二引導電極沿第二方向成一直線的過程中，即使共振頻率和所需要的對應疊長度改變也可只使用一種類型的膜片。結果，在該步驟中使用的膜片的數量和類型可減少至一個。
在上述方法中，壓電體可是一細長的條狀，且它的縱方向對應于第一方向。
按照上述結構，利用第一和第二母板可方便地制造許多壓電共振器。
在上述方法里，許多第一條形電極可形成于所述第一母板的第一主表面上；以及在利用膜片形成許多第二條形電極的步驟中，許多第二條形電極可形成于第二母板的第二主表面上。
按照上述方法，可制造單板型的能量收集型壓電共振器，它適合于以厚度擴展振動方式或厚度剪切振動方式振動。
在上述方法里，第一母板可沿其厚度方向極化，從而提供適合于以厚度擴展振動方式振動的壓電共振器。
在上述方法里，第一母板可沿第一方向極化，從而提供適合于以剪切方式振動的壓電共振器。
在上述方法里，第一條形電極可作為內電極安裝，第二條形電極在使用膜片形成許多第二條形電極的步驟中形成于第二母板的第一和第二主表面上，由此可獲得以均勻的厚度擴展振動方式振動的壓電共振器。
按照上述方法，可獲得一種適合于以高度均勻的厚度擴展振動方式振動的能量收集型壓電共振器。因此，提供一種可用于高頻段的小尺寸壓電共振器。
通過下面參考附圖對本發明的描述可更清楚地了解本發明的其它特征和優點。
圖1是表示由第一較佳實施例提供的第一母板的立體圖；圖2是一剖視圖，它是為了說明在從第一母板切割下來的第二母板的下表面上形成一電極的步驟；圖3是一剖視圖，它是為了說明在第二母板的下表面上形成一電極的步驟，該步驟是為了制造按照第一較佳實施例的具有較高共振頻率的壓電共振器；圖4是按照第一較佳實施例的、適合于以厚度擴展振動方式振動的壓電共振器的剖視圖；圖5是第二較佳實施例提供的第一母板的立體圖；圖6是一剖視圖，它是為了說明在從第一母板上切割下來的第二母板的下表面上形成電極的步驟；
圖7是一剖視圖，它是為了說明在第二母板的下表面上形成一電極的步驟，該步驟是為了制造按照第二較佳實施例的、具有較高共振頻率的壓電共振器；圖8是按照第二較佳實施例的、適合于以厚度擴展振動方式振動的共振器的剖視圖；圖9是第三較佳實施例提供的第一母板的立體圖；圖10是一剖視圖，它是為了說明在從第一母板上切割下來的第二母板的下表面上形成電極的步驟；圖11是一剖視圖，它是為了說明在第二母板的下表面上形成一電極的步驟，該步驟是為了制造第三較佳實施例中的具有較高共振頻率的壓電共振器；圖12是按照第三較佳實施例的、適合于以厚度擴展振動方式振動的共振器的剖視圖；圖13是一立體圖，為了說明一種傳統的能量收集型壓電共振器。
現在通過參看附圖1至4來描述本發明的第一較佳實施例。
提供一母板1，它的立體圖如圖1所示。母板1較佳的是(例如)由壓電陶瓷、諸如PZT陶瓷形成的，并最好具有基本上是長方形的形狀。
母板1沿圖1中箭頭P指示的厚度方向被極化。在母板1的第一主表面、即上表面1a上形成有基本上互相平行的、具有間隙的第一條形電極2a至2h。第一條形電極的延伸方向作為第二方向，而基本上垂直于第二方向的方向作為第一方向，第一條形電極沿著第一方向互相并列。為了提供第一條形電極2a，可通過使用置于母板1上表面1a上的膜片并利用諸如蒸鍍法或濺射成型之類的薄膜形成方法提供導電材料。關于形成第一條形電極2a至2h的材料，可使用諸如鎳或銅之類的適當的金屬材料。
接著，沿圖1中的虛線A所示的位置切割第一母板1。虛線A基本上與第二方向平行。
如下面所述的，確定切割位置A與A之間距離，從而提供最后獲得的、并對應于目標共振頻率的壓電共振器的、理想的和精確的電極重疊長度L。
如上面所述的，通過沿切割位置A進行切割可獲得許多第二母板3。
圖2顯示了沿第一方向的剖視圖，膜片4和5分別與第二母板3的上表面和下表面接觸，通過諸如蒸鍍法或濺射等薄膜形成方法提供導電材料，并由此形成第二條形電極6a。
膜片4被設計成可完全覆蓋第二母板3的上表面3a，以避免在表面3a上出現電極材料。
按照膜片5上的窗口5a的形狀形成第二電極6a。可使用與形成第一電極2a至2h相同的導電材料形成第二電極6a。
第二條形電極6a沿連接圖2所在圖紙的前側和后側的方向、即第二方向延伸。第二電極6a的寬度、即沿第一方向的長度X由沿第一方向的膜片5的窗口5a的長度決定。
接著，沿對應圖1中的C-C線的部位、即沿第一方向切割上述第二母板3，從而獲得許多壓電共振器。
圖4是由此獲得的一壓電共振器的剖視圖。通過切割第二母板3獲得的壓電共振器7包括一細長的條形壓電體3A，它具有分別形成于其上表面和下表面上的電極2A和電極6A。電極2A是通過沿C-C線切割第一條形電極2a形成的，同樣地，電極6A是通過沿C-C線切割第二條形電極6a形成的。
電極2A和電極6A通過壓電體3A、在它們的中間部位、沿長度方向互相重疊。電極2A和6A上的、通過壓電體3A互相重疊的部分形成勵磁部分8，而形成勵磁部分8的電極部分分別形成第一勵磁電極2A1和第二勵磁電極6A1。從勵磁電極2A1延伸至壓電體3A一側表面3A1的電極2A的一部分形成第一引導電極2A2，而從勵磁部分8延伸至壓電體3A另一側表面3A2的電極6A的一部分形成第二引導電極6A2。
壓電共振器7的共振頻率取決于壓電體3A的厚度。因此為了制造具有比上述壓電共振器7高的共振頻率的壓電共振器，使用一較薄的壓電基片作為圖1中的母板1。在這種情況下，通過使用圖2中的同一膜片5在第二母板3的下表面上形成第二條形電極6a，從而提供第二勵磁電極和引導電極。這將通過參看圖1和3來說明。
簡單地說，為了制造具有較高共振頻率的壓電共振器，要減少圖1所示的第一母板的厚度。當通過切割第一母板來制造第二母板時，要選擇切割位置A，以便獲得與目標共振頻率嚴格對應的電極重疊長度L。例如，為了獲得具有較高頻率的壓電共振器，要減少電極重疊長度L，即在點劃線A’所示的位置處切割母板。
由此可獲得圖3所示的第二母板13。由于第二母板13是通過在點劃線A’所示的位置處進行切割獲得的，因此，形成于第一主表面13a上的第一條形電極12b在第一方向的長度小于圖2所示的第一條形電極2b在第一方向的長度。
如圖3所示，通過使用與圖2中的膜片5相同的膜片5在第二母板13的下表面13b上形成第二條形電極6a。如圖3清楚顯示的，沿上述電極12b和6a第一方向的重疊長度L小于沿圖2中的電極2b和6a第一方向的重疊長度L。然后在對應于圖1中的點劃線C-C的位置處切割圖3中的第二母板13，由此獲得具有非常高共振頻率的良好共振特性的壓電共振器。
在該較佳實施例里，如上所述，根據最后得到的壓電共振器的電極重疊長度L來選擇(當通過切割第一母板1來獲得第二母板3和13時)切割位置A和A’可制造出具有所需電極重疊長度L的壓電共振器。此外，由于在任何共振頻率時都不需要改變形成于下表面上的第二電極6a，因此只需要一種類型的膜片5作為在第二主表面上形成第二條形電極6a的膜片。
由此可獲得對應于各種共振頻率的一精確和理想的電極重疊長度L，并且只需要使用同一種膜片5就可在第二主表面上形成第二電極6a。
在上述第一較佳實施例里，適合于以厚度擴展振動方式振動的壓電共振器7是利用在厚度方向被極化的第一母板1制造出來的。然而，本發明的制造壓電共振器的方法不限于以厚度擴展振動方式振動的壓電共振器，還可包括適合于以另一種振動方式、諸如厚度剪切振動方式振動的壓電共振器。
第二實施例涉及制造一種能量收集型的壓電共振器，這種壓電共振器適合于以厚度剪切振動方式振動。首先，提供圖5所示的第一母板21。第一母板21是由例如PZT陶瓷之類的壓電陶瓷制成的。第一母板21較佳的是具有基本上是長方形的形狀，并沿基本上平行于主表面的方向、即圖5中的箭頭P所示的方向被極化。在母板21的第一主表面、即上表面21a上，以基本上互相平行并具有間隙的方式形成有第一條形電極22a至22c。
沿圖5中的虛線所示的位置B切割上述第一母板21，從而得到第二母板23。這時，與第一實施例所述的相同，可根據所需的共振頻率來選擇位置B。
這樣，可獲得圖6所示的第二母板23。第一條形電極22b形成于第二母板23的上表面23a。使膜片4和5分別與上表面23a和下表面23b接觸，通過諸如蒸鍍法或濺射之類的薄膜形成方法提供導電材料，從而形成第二條形電極6a。第二條形電極6a位于作為第二主表面的下表面23b上，然后沿對應于圖5中的點劃線C的位置切割第二母板23，從而獲得適合于以厚度剪切振動方式振動的壓電共振器。
利用一種類似于第一較佳實施例所述的方法，可獲得適合于以厚度剪切振動方式振動的、圖8所示的壓電共振器25。它們的生產工藝是相同的，除了能量收集型壓電共振器25的極化方向不同于第一母板1之外。在圖8中，標號23A和22B分別表示壓電體和電極，而共振器具有第一勵磁電極22B1和第一引導電極22B2。
也是在這種情況下，為了獲得具有較高頻率的壓電共振器，將較薄的壓電共振器作為第一母板21，且切割位置由圖5中的點劃線B’、B’所示的位置替換。這樣，獲得圖7所示的第二母板33。在第二母板33里，由于上述切割位置被改變，在上表面33a上形成的第一條形電極32b沿第一方向的長度小于圖6中的第一條形電極22b沿第一方向的長度。
然后，利用膜片5在下表面33b上形成條形電極6a，并在對應于圖5中的點劃線C的位置上切割該母板，從而形成壓電共振器。
也是在這種情況下，利用相同的膜片5在第二母板33的下表面33b上形成條形電極6a，并通過將上述的切割位置B變成切割位置B’可優化電極重疊長度L。
這樣，在上述第二較佳實施例里，也必定能制造出具有對應于各種共振頻率的最適宜的電極重疊長度的壓電共振器。
下面將參看圖9至12描述按照第三較佳實施例制造壓電共振器的方法。
首先，準備好圖9所示的母板41。母板41是用例如PZT陶瓷之類的壓電陶瓷制造的，且較佳的是具有基本上是長方形平板形狀。母板41沿厚度方向被均勻極化。
在母板41里，有許多形成于中間高度處的內電極42a至42h，它們作為第一條形電極。各內電極42a至42h具有長條形狀，它們沿第二方向延伸，而第二方向基本上垂直于在最終形成的壓電共振器的勵磁電極和引導電極之間延伸的一條線的第一方向。所形成的內電極42a至42h具有類似于在第一較佳實施例里形成于第一母板上的條形電極2a至2h的形狀。
上述內電極42a至42h沿第二方向延伸且被安裝成互相之間具有間隙。
內電極42a至42h可用適當的導電材料制造，而具有內電極42a至42h的第一母板41可通過例如燒制層疊的陶瓷坯塊之類的現有技術來制造。
沿著虛線D所示的切割位置切割母板41可獲得第二母板43。如下面所述的，可通過選擇切割位置D來獲得所需的電極重疊長度。
如圖10中的剖視圖所示，使膜片44和45分別與第二母板43上的作為第一主表面的上表面43a和作為第二主表面的下表面43b接觸，并通過諸如蒸鍍法或濺射的方法提供導電材料，從而形成第二條形電極46a和46b。
膜片44和45分別具有窗口44a和45a。在這里，膜片44和45較佳的是具有相同的形狀。
這樣，在第二母板43的上表面43a和43b上分別形成第二條形電極46a和46b。
第二條形電極46a和46b沿進入顯示圖10的圖紙的方向、即第二方向延伸。
接著，在與圖9中的點劃線C對應的位置處切割第二母板43，從而得到如圖12中的立體圖所示的壓電共振器47。在該壓電共振器47里，內電極42B位于壓電體48里。內電極42B是通過切割上述的內電極42b形成的。
在壓電體48的上表面和下表面上，電極46A和46B是通過切割上述第二條形電極46a和46b形成的。電極46A和46B分別包括在厚度方向與內電極42B重疊的勵磁電極部分46A1和46B1，以及分別自勵磁電極部分46A1和46B1延伸的引導電極46A2和46B2。標號49和50表示連接電極，它們是在上述步驟后通過形成導電薄膜的適當方法形成的。
因此，壓電共振器47可起壓電發生器的作用，而壓電發生器適合于以厚度擴展振動方式的三次諧波振動，而這是通過在內電極42B的勵磁電極部分42B1和勵磁電極46A1和46B1之間施加交流電壓形成的。標號42B2表示引導電極部分。
在本較佳實施例里，為了降低共振頻率，可減少第一母板41的厚度；此外，為了獲得優良的共振特性，可容易地改變切割位置D。
具體地說，如圖9所示，為了生產較薄的第二母板43A，可通過在位于圖9所示的切割位置D左側的切割位置D’處進行切割來縮短內電極42b在第一方向上的長度。這樣，如圖11所示，可通過使用與圖10所示相同的膜片44和45形成第二條形電極46a和46b，從而生產出具有縮短的電極重疊長度的壓電共振器。
雖然上述的第三較佳實施例顯示了一其中只有一層內電極的壓電共振器，但本發明也適用于一種適合于以厚度擴展振動方式的三次諧波振動的壓電共振器，其中設有一層以上的內電極。
雖然通過較佳的實施例具體地顯示和描述了本發明，但本技術領域的技術人員將會明白，在不脫離本發明精神的情況下，在形式上和細節上還可以有許多其它的變化。
權利要求
1.一種制造壓電共振器的方法，該壓電共振器包括一壓電體；許多互相重疊的第一和第二勵磁電極，而所述壓電體位于它們之間，從而形成一勵磁部分；自對應的第一勵磁電極延伸至壓電體的側面部分、并與第一電位連接的第一引導電極；以及自與所述第一引導電極延伸方向相反的方向延伸、并與第二電位連接的第二引導電極；其特征在于，所述方法包括下列步驟提供第一母板，在第一母板上設置許多第一條形電極，這些電極具有在它們之間的、沿第一方向排列的間隙，各第一條形電極沿第二方向延伸，所述第一方向沿著在勵磁電極和引導電極之間延伸的一條線的方向，而所述第二方向垂直于第一方向；通過沿所述第二方向切割所述第一母板獲得第二母板，按照目標共振頻率設定第一條形電極在所述第一方向上的長度；通過使用一膜片在第二母板的一主表面上形成許多第二條形電極，所述各第二條形電極構成所述第二勵磁電極和沿所述第二方向與所述第二電位連接的所述第二引導電極；以及通過沿所述第一方向切割第二母板而獲得許多壓電共振器。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，壓電體具有一細長的條狀，且壓電體的縱方向對應于第一方向。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述許多第一條形電極形成于所述第一母板的第一主表面上；以及在利用膜片形成許多第二條形電極的步驟中，所述許多第二條形電極形成于所述第二母板的第二主表面上。
4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一母板沿其厚度方向極化，從而形成適合于以厚度擴展振動方式振動的壓電共振器。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，第一母板沿所述第一方向極化，從而形成適合于以剪切方式振動的壓電共振器。
6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一條形電極可作為內電極，所述第二條形電極在使用膜片形成所述許多第二條形電極的步驟中形成于所述第二母板的第一和第二主表面上，由此形成以均勻的厚度擴展振動方式振動的壓電共振器。
7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，如果目標共振頻率改變，在形成許多第二條形電極步驟中使用的膜片不改變。
8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，如果目標共振頻率改變為一新的目標共振頻率，按照新的目標共振頻率改變沿上述第二方向切割所述第一母板的切割位置。
9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括改變沿所述第二方向切割所述第一母板的位置的步驟，以減少第一條形電極的長度，從而減少第一和第二條形電極的重疊面積。
10.一種制造壓電共振器的方法，該壓電共振器包括一壓電體；許多互相重疊的第一和第二勵磁電極，而所述壓電體位于它們之間，從而形成一勵磁部分；自對應的第一勵磁電極延伸至壓電體的側面部分、并與第一電位連接的第一引導電極；以及自與所述第一引導電極延伸方向相反的方向延伸、并與第二電位連接的第二引導電極；其特征在于，所述方法包括下列步驟提供第一母板，在第一母板上設置許多第一條形電極，這些電極具有在它們之間的、沿第一方向排列的間隙，各第一條形電極沿第二方向延伸，所述第一方向沿著在勵磁電極和引導電極之間延伸的一條線的方向，而所述第二方向垂直于第一方向；通過沿所述第二方向切割所述第一母板獲得第二母板，按照目標共振頻率選擇切割所述第一母板的位置；通過使用一膜片在第二母板的一主表面上形成許多第二條形電極，所述各第二條形電極構成所述第二勵磁電極和沿所述第二方向與所述第二電位連接的所述第二引導電極；以及通過沿所述第一方向切割第二母板而獲得許多壓電共振器。
11.如權利要求10所述的方法，其特征在于，壓電體具有一細長的條狀，且壓電體的縱方向對應于第一方向。
12.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述許多第一條形電極形成于所述第一母板的第一主表面上；以及在利用膜片形成許多第二條形電極的步驟中，所述許多第二條形電極形成于所述第二母板的第二主表面上。
13.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述第一母板沿其厚度方向極化，從而形成適合于以厚度擴展振動方式振動的壓電共振器。
14.如權利要求10所述的方法，其特征在于，第一母板沿所述第一方向極化，從而形成適合于以剪切方式振動的壓電共振器。
15.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述第一條形電極可作為內電極，所述第二條形電極在使用膜片形成所述許多第二條形電極的步驟中形成于所述第二母板的第一和第二主表面上，由此形成以均勻的厚度擴展振動方式振動的壓電共振器。
16.如權利要求10所述的方法，其特征在于，如果目標共振頻率改變，在形成許多第二條形電極步驟中使用的膜片不改變。
17.如權利要求10所述的方法，其特征在于，如果目標共振頻率改變為一新的目標共振頻率，按照新的目標共振頻率改變沿上述第二方向切割所述第一母板的切割位置。
18.如權利要求10所述的方法，其特征在于，還包括改變沿所述第二方向切割所述第一母板的位置的步驟，以減少第一條形電極的長度，從而減少第一和第二條形電極的重疊面積。
全文摘要
可通過以下步驟制造壓電共振器:提供第一母板,第一條形電極形成于該母板上,且沿基本上垂直于第一方向的第二方向延伸,而在一勵磁電極和一引導電極之間延伸的一條線的方向是第一方向。通過在一切割位置處切割第一母板形成第二母板,從而使沿第一方向測量的第一條形電極的長度相對于目標共振頻率具有精確和理想的電極重疊長度。通過使用一膜片在由此形成的第二母板上形成第二條形電極,然后切割第二母板。
文檔編號H03H3/04GK1232316SQ99103678
公開日1999年10月20日 申請日期1999年3月10日 優先權日1998年3月10日
發明者開田弘明 申請人:株式會社村田制作所