專利名稱：一種可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板的制作方法
技術領域：
本發明涉及晶體生長熱場結構，特別是一種可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板。
背景技術：
在晶體生長中，溫度梯度的控制十分重要；控制坩堝中固液界面的溫度梯度更是 生長出優質晶體材料的關鍵。不同的晶體材料不同的生長方法，對固液界面的要求不同；固 液界面的梯度成為生長出優質晶體的關鍵技術，傳統等厚開孔的坩堝蓋板設計不能提供合 適的溫場(參見圖l和圖2)。
發明內容
本發明所解決的技術問題在于提供一種通過改變坩堝蓋板來調節固液界面的梯 度，并得到晶體生長所需要的高溫和溫度分布，從而提高了晶體尺寸和質量的一種可以調 節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板。 本發明所解決的技術問題采用以下技術方案來實現 —種可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要用于晶體生長用坩堝上的坩堝 蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內壁在沿中心點處向外延伸，每個同心圓環的圓環面制有 不同的厚度。 所述坩堝蓋板的材料是高熔點金屬或合金，或者是高熔點陶瓷，或者是石墨材料， 或者是以上材料中任意的組合。 所述中心點到邊緣之間連線除等厚外，呈線性、非線性、球面、非球面、橢圓、波浪形。 本發明的有益效果是將坩堝蓋板內側面制成非等厚，改變了熱輻射、熱對流和熱 傳導，使得固液界面的溫度分布到達工藝的要求，提高了晶體的尺寸和質量。
圖1是傳統坩堝和坩堝蓋板結構示意圖； 圖2是圖1的俯視圖； 圖3是本發明坩堝蓋板一種實施例示意圖； 圖4是圖3的俯視圖； 圖5是本發明坩堝蓋板另一種實施例示意圖； 圖6是圖5的俯視圖。
具體實施例方式
為了使本發明實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結 合具體圖示，進一步闡述本發明。
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如圖3、4所示，結合圖l可知，一種可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要 用于晶體生長用坩堝1上的坩堝蓋板2，坩堝蓋板2由高熔點金屬或合金，或者是高熔點陶 瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的組合制成。在沿坩堝蓋板2內壁的中心點處 向外延伸，每個同心圓環的圓環面制有不同的厚度，形成階梯狀21的臺面。
如圖5、6所示，在沿坩堝蓋板2內壁的中心點處向外延伸，同心圓環的圓環面制有 不同的厚度，形成直線性22的臺面。 以上顯示和描述了本發明的基本原理和主要特征和本發明的優點。本行業的技術 人員應該了解，本發明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本 發明的原理，在不脫離本發明精神和范圍的前提下，本發明還會有各種變化和改進，這些變 化和改進都落入要求保護的本發明范圍內。本發明要求保護范圍由所附的權利要求書及其 等效物界定。
權利要求
一種可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要用于晶體生長用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內壁在沿中心點處向外延伸，每個同心圓環的圓環面制有不同的厚度。
2. 根據權利要求1所述可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，其特征在于所述坩 堝蓋板的材料是高熔點金屬或合金，或者是高熔點陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料 中任意的組合。
3. 根據權利要求1所述可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，其特征在于所述中 心點到邊緣之間連線呈線性、非線性、球面、非球面、橢圓、波浪形。
全文摘要
一種可以調節固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，涉及晶體生長熱場結構，主要用于晶體生長用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內壁在沿中心點處向外延伸，每個同心圓環的圓環面制有不同的厚度。有益效果是將坩堝蓋板內側面制成非等厚，改變了熱輻射、熱對流和熱傳導，使得固液界面的溫度分布到達工藝的要求，提高了晶體的尺寸和質量。
文檔編號C30B15/00GK101760783SQ20091019635
公開日2010年6月30日 申請日期2009年9月25日 優先權日2009年9月25日
發明者黃小衛 申請人:上海元亮光電科技有限公司