準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構，包括保溫體、側發熱體、上發熱體、坩堝蓋板、坩堝護板、石英坩堝、硅料、籽晶料和石墨平臺，坩堝護板底部的外圈設有隔熱環，隔熱環置于石墨平臺上。本實用新型結構合理，使保溫體內的石墨平臺上方的熱量輻射不到石墨平臺下部，滿足了在生產中鑄錠爐內部保持必要的溫度梯度的需求，提高了設備的生產效率。
【專利說明】 準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于準單晶鑄錠爐【技術領域】，特別涉及一種準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構。
【背景技術】
[0002]準單晶是在準單晶鑄錠爐上采用誘導式方法鑄造結晶獲得的，再經過開方，切片環節，可生產出的具有高轉換率的準單晶硅片。其主要工藝是通過在準單晶鑄錠爐石英坩堝的底部增加籽晶，并在真空和保護氣氛狀態下，采用精確分段控溫，保證硅料融化時籽晶部分融化，由此長出單晶。目前，多晶硅鑄錠爐是由保溫體、上發熱體、側發熱體、坩堝、石墨平臺組成，控溫時保溫體內部的上下溫度梯度控制困難，難以達到真空鑄錠爐生產單晶硅的工藝要求。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構，以滿足在生產中保溫體內部保持合理的溫度梯度，從而提高單晶率和設備的生產效率。
[0004]為實現上述目的，本實用新型采用以下方案:
[0005]一種準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構，包括保溫體、側發熱體、上發熱體、坩堝蓋板、坩堝護板、石英坩堝、硅料、籽晶料和石墨平臺，其特征在于:石墨平臺周邊設有隔熱環。
[0006]所述保溫體為箱體型，其內部的上方設有上發熱體，保溫體四周設有側發熱體，保溫體中部設有石墨平臺，石墨平臺上平面置有石英坩堝，石英坩堝的四周設有坩堝護板，坩堝護板的上方設有坩堝蓋板，石英坩堝的底部設有籽晶料，籽晶料的上方設有硅料；所述坩堝護板底部的外圈設有隔熱環，隔熱環置于石墨平臺上。
[0007]所述側發熱體與上發熱體為發熱部件，所產生的熱量對坩堝蓋板、坩堝護板、石英坩堝、硅料、籽晶料輻射，使其溫度升高，硅料融化；保溫體使得熱量不得傳到保溫體外，而隔熱環可以將發熱部件所產生的熱量在對下輻射時被阻擋，使得熱量不能傳導至石墨平臺下部，這樣就可以降低下部的溫度，形成溫度梯度。在高溫化料時，有效地降低側面護板溫度對坩堝底部的影響，減少坩堝底部預埋籽晶熔化，使整個熱場橫向梯度幅度變化很小，有利于準單晶的生長。
[0008]本實用新型結構合理，在保溫體內對熱輻射起到了阻隔作用，使保溫體內的石墨平臺上方的熱量輻射不到石墨平臺下部，滿足了在生產中鑄錠爐內部保持必要的溫度梯度的需求，提高了設備的生產效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖。【具體實施方式】
[0010]以下結合實施例及其附圖對本實用新型做進一步詳細的說明:
[0011]如圖1所示，一種準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構，包括隔熱環1、保溫體2、側發熱體3、上發熱體4、坩堝蓋板5、坩堝護板6、石英坩堝7、硅料8、籽晶料9和石墨平臺10。
[0012]所述保溫體2為箱體型，其內部的上方設有上發熱體4，保溫體2四周設有側發熱體3，保溫體2中部設有石墨平臺10，石墨平臺10上平面置有石英坩堝7，石英坩堝7的四周設有坩堝護板6，坩堝護板6的上方設有坩堝蓋板5，石英坩堝7的底部設有籽晶料9，籽晶料9的上方設有硅料8 ;所述坩堝護板6底部的外圈設有隔熱環1，隔熱環I置于石墨平臺10上。
[0013]以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進，這些也應視為屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種準單晶鑄錠爐的帶隔熱環保溫體結構，包括保溫體、側發熱體、上發熱體、坩堝蓋板、坩堝護板、石英坩堝、硅料、籽晶料和石墨平臺，所述保溫體為箱體型，其內部的上方設有上發熱體，保溫體四周設有側發熱體，保溫體中部設有石墨平臺，石墨平臺上平面置有石英坩堝，石英坩堝的四周設有坩堝護板，坩堝護板的上方設有坩堝蓋板，石英坩堝的底部設有籽晶料，籽晶料的上方設有硅料；其特征在于:所述石墨平臺周邊設有隔熱環，隔熱環置于石墨平臺上，位于坩堝護板底部的外圈。
【文檔編號】C30B29/06GK203393259SQ201320463212
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年8月1日 優先權日:2013年8月1日
【發明者】水川, 許柏, 汪光林 申請人:安徽大晟新能源設備科技有限公司