壓電致動器被稱為所謂的金屬密封型層疊壓電致 動器，層疊的壓電元件（也稱為壓電堆疊件）密封于金屬外殼內，容許溫度范圍是例 如-20~120° C。因此，控制的流體的溫度存在著限制。
[0025] 于是，本發明的主要的目的在于，提供一種即使是超過壓電致動器的容許溫度范 圍的溫度的流體，也能夠控制的壓電驅動式閥和壓電驅動式流體控制裝置。
[0026] 用于解決問題的技術方案 為了達成上述目的，本發明的壓電驅動式閥，具備：閥體，用于將流體流路開閉；壓電 致動器，用于利用壓電元件的伸長而對所述閥體進行開閉驅動；以及散熱隔件，用于將所述 壓電致動器以從所述流體流路遠離的方式舉起并支撐，并且，將從流動于所述流體流路的 流體向所述壓電致動器傳導的熱散熱。
[0027] 優選，還具有容納并支撐所述壓電致動器和所述散熱隔件的雙方的支撐筒體，該 支撐筒體的至少容納所述散熱隔件的部分由具有與該散熱隔件相同的熱膨脹系數的材料 形成。
[0028] 優選，所述支撐筒體具有容納所述壓電致動器的第1筒部和容納所述散熱隔件的 第2筒部，所述第1筒部和第2筒部可聯接地構成，從而形成共同的容納空間，所述第2筒 部由具有與所述散熱隔件相同的熱膨脹系數的材料形成。
[0029] 優選，所述閥體由自身彈性復位型的金屬隔膜形成，所述支撐筒體以能夠上下運 動的方式被支撐，具有：彈性部件，對所述支撐筒體施力，使得所述閥體將所述流體流路閉 鎖；以及支撐部，通過所述支撐筒體的側壁而延伸至所述散熱隔件的下部，支撐所述散熱隔 件，從而在所述壓電致動器伸長時，抵抗所述彈性部件的彈性力而將所述支撐筒體舉起，所 述閥體使所述流體流路開通。
[0030] 優選，所述散熱隔件由殷鋼材料形成。
[0031] 優選，所述散熱隔件具有與所述壓電致動器相同的形狀和尺寸。
[0032] 優選，將所述散熱隔件的下端部和上端部之間的長度設定成通過從流動于所述流 體流路的流體受到的熱從該散熱隔件的所述下端部向所述上端部傳熱的期間的散熱，使得 該上端部的溫度成為所述壓電致動器的耐熱溫度以下。
[0033] 另外，為了達成上述目的，本發明的壓電驅動式流量控制裝置具備上述的本發明 的壓電驅動式閥。
[0034] 本發明的壓電驅動式流量控制裝置，優選，還具有介入所述閥體的下游側的流體 流路的孔、配設于該孔和所述閥體之間的流體流路的壓力傳感器以及基于該壓力傳感器的 檢測值而控制所述壓電致動器的控制部。
[0035] 本發明的壓電驅動式流量控制裝置，也可以構成為，基于配置于所述閥體的上游 側的熱式的流量傳感器的檢測值而控制所述壓電致動器。
【附圖說明】
[0036] 圖1是顯示本發明的壓電驅動式流量控制裝置的一個實施方式的中央縱剖面圖。
[0037] 圖2是現有的壓電驅動式流量控制裝置的縱剖面圖。
[0038] 圖3是顯示作為圖2的壓電驅動式流量控制裝置的構成零件的支撐筒體的縱剖面 圖。
[0039] 圖4是圖3的a-a視剖面圖。
[0040] 圖5是放大顯示壓電驅動式流量控制裝置的構成零件的平面圖。
[0041] 圖6是圖5的a-a視剖面圖。
[0042] 符號說明： Ib 流體流路 10 壓電致動器 23A 支撐筒體 23U 第1筒部 23L 第2筒部 18 彈性部件 40 散熱隔件。
【具體實施方式】
[0043] 以下，參照圖1，對具備本發明的壓電驅動式閥的壓電驅動式流量控制裝置的實施 方式進行說明。此外，在以下的說明中，有時候對與使用圖2~圖6已說明的現有的壓電驅 動式流量控制裝置相同或類似的構成部分標記相同符號，并省略重復說明。
[0044] 如圖1所示，壓電驅動式流量控制裝置具有：閥體2,用于將流體流路Ib開閉；壓 電致動器10,用于對閥體2進行開閉驅動；以及散熱隔件40,用于將壓電致動器10以從流 體流路Ib遠離的方式舉起支撐，并且，將從流動于流體流路Ib的流體向壓電致動器10傳 導的熱散熱。
[0045] 壓電驅動式流量控制裝置還能夠具備容納并支撐壓電致動器10和散熱隔件40的 雙方的支撐筒體23A，支撐筒體23A的至少容納散熱隔件40的部分由與散熱隔件40相同的 材料形成。
[0046] 在圖示的示例中，閥體2采用自身彈性復位型的金屬隔膜。金屬隔膜由鎳鉻合金 鋼等的薄板形成，形成為中央部向上方稍微膨出的倒盤形，這點與現有技術相同。
[0047] 壓電致動器10能夠使用將壓電元件層疊成的壓電堆疊件密封于金屬容器內的金 屬密封型層疊壓電致動器，這種金屬密封型層疊壓電致動器能夠使用例如從日本Ceratech 股份有限公司等銷售的壓電致動器。
[0048] 如圖示的示例那樣，支撐筒體23A能夠具有容納壓電致動器10的第1筒部23U和 容納散熱隔件40的第2筒部23L，第1筒部23U和第2筒部23L可聯接地構成，從而形成共 同的容納空間。在圖示的示例中，第1筒部23U和第2筒部23L互相螺紋結合。另外，在圖 示的示例中，第2筒部23L為與圖2所示的現有的壓電致動器支撐筒體23相同的形狀，也 能夠利用現有的壓電致動器支撐筒體23。此外，支撐筒體23A還能夠不像圖示的示例那樣 將第1筒部23U和第2筒部23L分體，而是作為一體構造。
[0049] 第2筒部23L由與散熱隔件40相同的材料形成。第2筒部23L優選由像殷鋼、超 殷鋼、不銹殷鋼等殷鋼材料那樣熱膨脹系數小的材料（優選，2X 10 6/K以下）形成。第1筒 部23U也優選由熱膨脹系數小的材料形成，能夠由與第2筒部23L相同的材料形成。此外， 出于散熱效率的觀點，散熱隔件40優選金屬、合金等高熱傳導性材料，在這點上，殷鋼材料 也適合。
[0050] 關于散熱隔件40,將散熱隔件40的長度（高度尺寸）設定成通過在將從流動于流 體流路Ib的流體受到的熱從散熱隔件40的下端部向上端部傳導的期間散熱，使得散熱隔 件40的上端部的溫度，即，在圖示的示例中，散熱隔件40和壓電致動器10抵接之處的溫度 成為壓電致動器10的耐熱溫度以下。
[0051] 優選，散熱隔件40像圖示的示例那樣形成為高度和直徑與壓電致動器10相同的 圓柱狀。于是，第2筒部23L能夠同樣地利用在現有技術中為了容納壓電致動器10而使用 的壓電致動器支撐筒體。圖示的示例的散熱隔件40的相當于圖2所示的現有的下部承受 臺9的部分一體地形成于散熱隔件40的下部。
[0052] 支撐筒體23A可上下運動地被支撐。拼合基座26的上壁26b構成通過形成于支 撐筒體23A的側壁下部的孔部23a而延伸至散熱隔件40的下部并支撐散熱隔件40的支撐 部。另外，在圖示的示例中，彈性部件18容納于構成上述支撐部的拼合基座26的上壁26b 的下部。所以，彈性部件18利用來自構成上述支撐部的拼合基座26的上壁26b的抗力來對 支撐筒體23A向圖的下方施力，使得閥體2將流體流路Ib閉鎖。另一方面，壓電致動器10 由于通電而伸長，由此，利用來自構成上述支撐部的拼合基座26的上壁26b和由上壁26b 支撐的散熱隔件40的抗力來抵抗彈性部件18的彈性力，將支撐筒體23A向圖的上方舉起。 如果將支撐筒體23A舉起，那么，形成閥體2的金屬隔膜彈性復位而使流體流路Ib開通。
[0053] 與圖2所示的現有裝置同樣地，在圖1所示的本發明的裝置示例中，也將孔30c介 入閥體2的下游側的流體