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導線結構與感測元件的制作方法_2

文檔序號:9843812閱讀:來源:國知局
l或C2相同。
[0045]圖9繪示另一實施例的導線結構的放大圖。請參考圖9,導線123可由多條不同寬度的直線段L7至LlO所構成,而其彎折C4可呈尖角(closed angle)及/或圓角。其中,直線段L7至LlO的寬度關系為W7>W10>W9>W8,其中以W7至WlO分別代表直線段L7至LlO的寬度,較佳的是,所述W7至WlO小于50微米(μ m)。
[0046]圖10繪示另一實施例的導線結構的放大圖。請參考圖10,導線124可由多條不同寬度的直線段L11、L12所構成,而彎折C5連接其中,其與軸X1、X2的夾角Θ 1、Θ 2可參考圖6至圖9的實施例,彎折C5可呈尖角或圓角。本實施例是以不同寬度直線段LI 1、L12 (直線段Lll的寬度大于直線段L12的寬度)彼此間隔地沿軸Xl排列配置。
[0047]如上述圖6至圖10的實施例,所述夾角Θ I的范圍可例如是15度至75度,而夾角Θ 2的范圍可例如是75度至15度,直線段的寬度與長度可分別進行適當地變更,以藉此調整導線的阻抗。在一實施例中,所述導線的長度例如為I毫米(mm),寬度為30微米(μπι),而其夾角Θ I為15度。
[0048]圖11是依據另一實施例的導線結構于剖面處的電子顯微圖。請參考圖11,可利用例如凹版印刷在基板110上涂布導線120,其剖面相對于基板110是呈弧形頂部輪廓,或是圓形的局部,具有較平緩的表面。換句話說,本發明一實施例的導線結構,其邊緣輪廓相對于基板I1所呈的夾角Θ 3實質上為銳角。另,通過黃光光刻工藝(photolithographyprocess)所形成的導線剖面,其側面與底面的夾角為一直角或因過蝕下切而呈現鈍角,與前述的特征不同。
[0049]在一實施例中,無論是位于作動區Al或是邊框導線區A2的導線120,均可通過印刷工藝所形成。導線120的剖面中,頂部與側面之間的鄰接部分可呈現導角結構,也或是其頂部具有一曲率,而形成前述為銳角的夾角Θ3。再者,本發明一實施例的導線結構于印刷過程中,由于印刷條件(如刮刀的印刷速度、導電材料特性或其固化溫度等),導線120的寬度與厚度彼此為正相關,也就是導線120的厚度會隨著寬度的增加而增加,不同區域(作動區Al或邊框導線區A2)的導線120的寬度與厚度也存在上述正相關的情形。
[0050]此外,在本發明的實施例中,各導線的表面平均粗糙度(Ra)可為10%?50%。舉例而言,當所述導線的厚度為I微米(ym)時,其表面的平均粗糙度0.1微米(μπι)至0.5微米(μ m)。
[0051]在本發明的實施例中,感測元件在基板上通過印刷技術而形成多條導線,其中這些導線形成感測元件的作動區與邊框導線區,且兩區域之間可利用例如呈直線且虛擬的邊界線作為分隔。再者,所形成的導線結構可由多個直線段與至少一彎折所形成,且讓直線段相對于邊界線呈傾斜。據此,當以刮刀沿一方向(所述方向垂直于邊界線或平行于邊界線)涂布導電材料而在基板形成上述導線時,導線的直線段是相對于邊界線呈傾斜,在印刷過程中可降低導電材料殘留的情形(即,避免在相鄰的導線之間存有殘留的導電材料而導致導線短路的問題)。因此,刮刀便能平順地且有效率的方式進行印刷。
[0052]以上所述的具體實施例,對本發明的技術方案進行了進一步詳細說明,所應理解的是,以上所述僅為本發明的具體實施例而已,并不用于限制本發明,凡在本發明的精神和原則之內,所做的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種導線結構,其特征在于,包括: 一基板,具有一第一區、一第二區與分隔該第一區與該第二區的至少一邊界線;以及 多條導線,配置于該基板上且分別位于該第一區與該第二區,其中該至少一邊界線為一直線,且位于該第二區的這些導線相對于該邊界線呈傾斜。2.根據權利要求1所述的導線結構,其特征在于,位于該第二區的這些導線分別是沿一第一軸延伸的多條彎折線,該第一軸平行于該邊界線,各該彎折線具有至少一彎折與至少兩個直線段,各該直線段相對于該邊界線呈傾斜。3.根據權利要求2所述的導線結構,其特征在于,這些彎折線彼此平行。4.根據權利要求2所述的導線結構,其特征在于,位于該第一區的這些導線形成一網狀結構,且該網狀結構的周緣連接至與其相鄰的該彎折線。5.根據權利要求4所述的導線結構,其特征在于,該網狀結構的周緣連接至該彎折線的至少一彎折、至少一直線段或至少一彎折與至少一直線段。6.根據權利要求4所述的導線結構,其特征在于,該網狀結構位于周緣的至少一交點連接至該彎折線的至少一彎折、至少一直線段或至少一彎折與至少一直線段。7.根據權利要求2所述的導線結構,其特征在于,在同一彎折線的相鄰兩直線段中,其中一直線段與該第一軸夾一第一角度,另一直線段與一第二軸夾一第二角度,該第一角度為15°至75°,該第二角度為75°至15°,該第二軸為印刷這些導線的軸向,且該第一軸正交于該第二軸。8.根據權利要求2所述的導線結構,其特征在于,該彎折為一圓角或一尖角。9.根據權利要求2所述的導線結構,其特征在于,該彎折線的該至少兩條直線段的長度相等或不相等。10.根據權利要求2所述的導線結構,其特征在于,該彎折線的該至少兩條直線段的線寬相等或不相等。11.根據權利要求1所述的導線結構,其特征在于,位于該第二區的各該導線的線寬小于或等于50微米。12.根據權利要求1所述的導線結構,其特征在于,位于該第二區的各該導線,其截面相對于該基板呈一弧形頂部輪廓,且該弧形頂部輪廓邊緣與該基板的表面夾一銳角。13.根據權利要求1所述的導線結構,其特征在于,各該導線的表面平均粗糙度為10%?50%。14.一種感測元件,其特征在于,包括: 一基板;以及 多條導線,配置于該基板上,其中一部分導線在該基板上形成一作動區,其中另一部分導線在該基板上形成一邊框導線區,該作動區與該邊框導線區以至少一邊界線分隔,該邊界線為一直線,且位于該邊框導線區的這些導線相對于該邊界線呈傾斜。15.根據權利要求14所述的感測元件,其特征在于,位于該邊框導線區的這些導線分別是沿一第一軸延伸的多條彎折線,該第一軸平行于該邊界線,各該彎折線具有至少一彎折與至少兩個直線段,各該直線段相對于該邊界線呈傾斜。16.根據權利要求15所述的感測元件,其特征在于,這些彎折線彼此平行。17.根據權利要求15所述的感測元件,其特征在于,位于該作動區的這些導線形成一網狀結構,且該網狀結構的周緣連接至與其相鄰的該彎折線。18.根據權利要求17所述的感測元件,其特征在于,該網狀結構的周緣連接至該彎折線的至少一彎折、至少一直線段或至少一彎折與至少一直線段。19.根據權利要求17所述的感測元件,其特征在于,該網狀結構位于周緣的至少一交點連接至該彎折線的至少一彎折、至少一直線段或至少一彎折與至少一直線段。20.根據權利要求15所述的感測元件,其特征在于,在同一彎折線的相鄰兩直線段中,其中一直線段與該第一軸夾一第一角度,另一直線段與一第二軸夾一第二角度,該第一角度為15°至75°,該第二角度為75°至15°,該第二軸為印刷這些導線的軸向,且該第一軸正交于該第二軸。21.根據權利要求15所述的感測元件,其特征在于,該彎折為一圓角或一尖角。22.根據權利要求15所述的感測元件,其特征在于,該彎折線的該至少兩條直線段的長度相等或不相等。23.根據權利要求15所述的感測元件,其特征在于,該彎折線的該至少兩條直線段的線寬相等或不相等。24.根據權利要求14所述的感測元件,其特征在于,位于該邊框導線區的各該導線的線寬小于或等于50微米。25.根據權利要求14所述的感測元件,其特征在于,位于該邊框導線區的各該導線,其截面相對于該基板呈一弧形頂部輪廓,且該弧形頂部輪廓邊緣與該基板的表面夾一銳角。26.根據權利要求14所述的感測元件,其特征在于,各該導線的表面平均粗糙度為10%?50%。
【專利摘要】本發明的一實施例公開了一種導線結構,包括基板以及多條導線。基板具有第一區、第二區及分隔第一區與第二區的至少一邊界線。導線配置于基板上且分別位于第一區與第二區,其中所述至少一邊界線為直線,而位于第二區的導線相對于邊界線呈傾斜。另揭露一種感測元件。
【IPC分類】G06F3/047
【公開號】CN105607791
【申請號】CN201510487848
【發明人】鐘升峰, 劉軍廷, 陸蘇財
【申請人】財團法人工業技術研究院
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年8月11日
【公告號】US20160139709
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