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一種包含mems裝置的顯示設備的制造方法_4

文檔序號:9848203閱讀:來源:國知局
示例16可包含示例12的主題,并且進一步限定了所述第一和第二波長對應于兩種不同顏色的兩個可見波長。
[0069]示例17可包含示例12的主題,并且進一步限定了所述第三電極包括透明導電材料,光通過該透明導電材料到達所述第一和第二電極。
[0070]示例18可包含示例12的主題,并且進一步限定了所述第三電極包括間隙,光通過該間隙到達所述第一和第二電極。
[0071]示例19可包含示例12的主題,并且進一步限定了所述致動電壓為第一致動電壓,其中所述第二電極包括兩個電學上分離的第一和第二部分,以響應于第二致動電壓選擇性地施加到所述第二電極的第一或第二部分,使所述第一電極能夠朝向所述第二電極的第一或第二部分傾斜。
[0072]示例20可包含示例19的主題,并且進一步限定了所述第三電極包含兩個電學上分離的第三和第四部分,其中所述傾斜進一步地響應于第二致動電壓選擇性地施加到所述第三電極的第四或第三部分,對應于所述第二電極的第一或第二部分。
[0073]示例21可包含示例12的主題,并且進一步限定了所述MEMS裝置還包含設置在所述第二電極下方的反射率控制板,其中所述控制板包括反射板和配置成控制所述反射板的反射率的附加電極。
[0074]示例22可包含示例12-21中任一項的主題,并且進一步限定了所述MEMS裝置還包含配置成響應于致動電壓施加到所述第二或第三電極,向所述第一電極提供回復力的布置,其中,所述回復力提供所述第一電極移動的阻力。
[0075]示例23是顯示設備,包括:一個或多個微機電系統(MEMS)裝置,其中所述MEMS裝置中的至少一個包含:第一電極部件,用于部分地反射光,所述第一部件包括部分反射性表面;第二電極部件,用于反射光,所述第二部件包括部分反射性或全反射性表面并且設置成基本平行于所述第一電極部件;以及致動所述第一或第二部件的部件,該部件耦合到所述第一電極部件、所述第二電極部件或所述第一和第二電極部件二者,以響應于致動電壓的選擇施加而引起所述第一電極部件從開始位置移動到多個終端位置中所選擇的一個,以引起所述MEMS裝置以選擇的波長有選擇地輸出光的反射,或沒有光的反射。
[0076]示例24可包含示例23的主題,并且進一步限定了所述用于致動的部件包括配置成成抑制所述第一電極部件遠離開始位置的移動的彈簧。
[0077]示例25可包含示例24的的主題,并且進一步限定了所述彈簧配置成提供與移動所述第一電極部件遠離開始位置所施加的靜電力相反的非線性回復力。
[0078]各種操作以最有助于理解要求保護的主題的方式依次描述為多個分離的操作。然而,描述的順序不應被解釋為暗示這些操作必然是順序相關的。本公開的實施例可實現在使用任何合適的硬件和/或軟件如所希望配置的系統中。
[0079]雖然為了說描述的目的,某些實施例已被圖示和描述,但各種各樣的計劃實現相同目的備選的和/或等同的實施例或實施方式可以在不脫離本公開的范圍的情況下替代所描述和所示的實施例。本申請旨在涵蓋本文討論的實施例的任何適應或變化。因此,顯然預計本文描述的實施例僅由權利要求書及其等同來限定。
【主權項】
1.一種顯不設備,包括: 一個或多個微機電系統(MEMS)裝置,其中所述MEMS裝置中至少一個包含: 第一電極,包含部分反射性表面; 第二電極,包含部分反射性或全反射性表面并且設置成基本平行于所述第一電極;以及 模擬致動裝置,耦合到所述第一電極、所述第二電極或所述第一和第二電極兩者,用于響應于致動電壓的選擇性施加而引起所述第一電極從開始位置移動到多個終端位置中的所選擇的位置,以引起所述MEMS裝置選擇性地以選擇的波長輸出光的反射,或沒有光的反射。2.根據權利要求1所述的顯示設備,還包括配置成施加所述致動電壓的致動電路。3.根據權利要求2所述的設備,其中,所述開始位置對應于所述致動電壓的第一值,并且所述終端位置對應于所述致動電壓的第二值,其中所述第一值和所述第二值限定了所述致動電路的致動范圍。4.根據權利要求1所述的設備,其中,所述模擬致動布置包括配置成抑制所述第一電極遠離所述開始位置的移動的彈簧。5.根據權利要求4所述的設備,其中,所述彈簧配置成提供與用于移動所述第一電極遠離所述開始位置所施加的靜電力相反的非線性回復力。6.根據權利要求4所述的設備,其中,所述彈簧是第一彈簧,并且所述模擬致動布置還包含第二彈簧,其中所述彈簧與所述第一電極的相應端部耦合。7.根據權利要求4所述的設備,其中,所述彈簧包含夾在所述第一和所述第二電極之間的彈性體基底,其中所述彈性體基底的高度限定了所述第一電極的所述開始位置與所述第二電極的表面之間的間隙。8.根據權利要求7所述的設備,其中,所述第一電極的開始位置與所述第二電極的所述表面之間的所述間隙對應于所述多個終端位置的致動范圍。9.根據權利要求1所述的設備,其中,所述模擬致動電路包含梳狀致動器。10.根據權利要求1所述的設備,其中,所述第二電極包含兩個電分離的部分,以響應于到所述第二電極的所述第一或第二部分上的致動電壓的選擇性地施加,引起所述第一電極朝向所述第二電極所選擇的第一或第二部分傾斜。11.根據權利要求1-10中任一項所述的設備,其中,所述MEMS裝置還包含設置在所述第二電極下方的反射率控制板,其中所述控制板包含反射板和配置成控制所述反射板的反射率的附加電極。12.一種顯不設備,包括: 一個或多個微機電系統(MEMS)裝置,其中所述一個或多個MEMS裝置中的至少一個包含: 第一電極,包含部分反射性表面; 第二電極,包含部分反射性或全反射性表面并且設置在所述第一電極的一側上,基本平行于所述第一電極;以及 第三電極,設置在所述第一電極的相對側上,基本平行于所述第一電極; 其中,當沒有致動電壓施加到所述第二或所述第三電極,所述第一電極處于在所述第二和第三電極之間的開始位置,以及,響應于所述致動電壓有選擇地施加到第三或第二電極上,從所述開始位置可移動到在所述第二和第三電極之間的第一或第二位置,以引起所述MEMS裝置分別輸出第一波長的光的第一反射、不同于所述第一波長的第二波長的光的第二反射、或沒有光的反射。13.根據權利要求12所述的顯示設備,進一步地包括: 致動電路,配置成選擇性地施加所述致動電壓到所述第二或第三電極,或保持來自所述第二和第三電極兩者的所述致動電壓。14.根據權利要求12所述的設備,其中,所述第一電極的所述第一位置位于所述開始位置與所述第二電極之間,并且其中所述第二位置位于所述開始位置與所述第三電極之間。15.根據權利要求12所述的設備,其中,所述第一位置中的所述第一電極設置成大致鄰近于所述第二電極,并且其中所述第二位置中的所述第一電極設置成大致鄰近于所述第三電極。16.根據權利要求12所述的設備,其中,所述第一和第二波長對應于兩種不同顏色的兩個可見波長。17.根據權利要求12所述的設備,其中,所述第三電極包括透明導電材料,所述光通過所述透明導電材料到達所述第一和第二電極。18.根據權利要求12所述的設備,其中,所述第三電極包含間隙,所述光通過所述間隙到達所述第一和第二電極。19.根據權利要求12所述的設備,其中,所述致動電壓為第一致動電壓,其中所述第二電極包含兩個電分離的第一和第二部分,以響應于第二致動電壓選擇性地施加到所述第二電極的所述第一或第二部分而使所述第一電極能夠朝向所述第二電極的所述第一或所述第二部分傾斜。20.根據權利要求19所述的設備,其中,所述第三電極包含兩個電分離的第三和第四部分,其中所述傾斜進一步地響應于選擇性地施加所述第二致動電壓到對應于所述第二電極的所述第一或所述第二部分的所述第三電極的所述第四或第三部分上。21.根據權利要求12所述的設備,其中,所述MEMS裝置還包含設置在所述第二電極下方的反射率控制板,其中所述控制板包含反射板和配置成控制所述反射板的反射率的附加電極。22.根據權利要求12-21中任一項所述的設備,其中,所述MEMS裝置還包含配置成響應于致動電壓施加到所述第二或第三電極上,向所述第一電極提供回復力的布置,其中,所述回復力提供對所述第一電極移動的阻力。
【專利摘要】本公開的實施例提供了用于顯示裝置的技術和設置。在一個實施例中,所述裝置可包括一個或多個微機電系統(MEMS)裝置。所述MEMS裝置可包括:第一電極,其包括部分反射性表面;第二電極,其包括部分反射性或全反射性表面并且設置成基本平行于所述第一電極;以及模擬致動布置,其耦合到所述第一電極、第二電極或第一和第二兩個電極二者,以響應于致動電壓的選擇施加而引起所述第一電極從開始位置移動到多個終端位置中的選擇位置,以引起所述MEMS裝置選擇性地以選擇的波長輸出光的反射,或沒有光的反射。其他實施例可被描述和/或要求保護。
【IPC分類】G02B5/08, G02B26/08
【公開號】CN105612439
【申請號】CN201380078376
【發明人】K·林, N·R·安德里斯科
【申請人】英特爾公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2013年8月20日
【公告號】US20150234251, WO2015026333A1
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