廢水處理方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體制造業中的廢水處理技術領域，特別是涉及一種廢水處理方法。
【背景技術】
[0002]在半導體器件的制造過程中，會產生大量的廢液，例如含銅廢水、含氟廢水等，廢液如直接排放會造成環境的污染，所以需要進行回收。目前，半導體制造中產生的含銅廢液，一般采用委托處理的方式進行回收處理。一般直接產生的含銅廢水中銅的含量較低，達不到回收的要求，需要單獨建造處理系統處理。
[0003]然而，隨著目前國內先進芯片工藝的發展，含銅廢水的排放量不斷上升，并且，含銅廢水中銅絡合物高達70%以上，使得銅難以沉淀，單獨建造處理系統的成本又很高。傳統的預處理工藝對該廢水沒有良好的處理效果，從而使得排放廢水中銅含量的超標風險很聞。
[0004]因此，如何提供一種廢水處理方法，能夠克服上述缺點，已成為本領域技術人員需要解決的問題。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在于，提供一種廢水處理方法，將含銅廢水與含氟廢水在一個系統中進行處理，節省成本。
[0006]為解決上述技術問題，本發明提供一種廢水處理方法，包括:
[0007]在第一反應槽中收集含銅廢水、含氟廢水的混合廢水，所述混合廢水中含有銅絡合物，調節所述混合廢水的PH值為第一設定值；
[0008]向所述第一反應槽中加入破絡劑，所述破絡劑與所述銅絡合物進行破絡反應，將處理過后的所述混合廢水注入第二反應槽中；
[0009]調節所述第二反應槽中的混合廢水的pH值為第二設定值，并加入氟離子混凝劑，用于沉淀混合廢水中的氟離子；
[0010]將處理后的混合廢水注入第四反應槽中，向所述第四反應槽中加入絮凝劑，進行絮凝反應，之后進行沉淀。
[0011 ] 可選的，所述銅絡合物包括銅氨絡合物和銅氯絡合物。
[0012]可選的，所述破絡劑為氯化鐵。
[0013]可選的，進行破絡反應的時間為30min-60min。
[0014]可選的，所述第一設定值為3-5，
[0015]可選的，所述第二設定值為8-10。
[0016]可選的，調節混合廢水pH值采用的pH調節劑為質量百分比濃度為30%的氫氧化鈉溶液。
[0017]可選的，所述氟離子混凝劑為氯化鈣，氟離子混凝劑進行反應的時間為30min_60mino
[0018]可選的，所述絮凝劑為質量百分比濃度為2%。的聚丙烯酰胺溶液，加入所述絮凝劑進行反應的時間為20min-30min。
[0019]可選的，在加入所述氟離子混凝劑之后，還包括將混合廢水注入到一第三反應槽中,對混合廢水進行攪拌的過程。
[0020]可選的，沉淀之后還包括，將清液排放，污泥壓濾成泥餅的過程。
[0021]與現有技術相比，本發明廢水處理方法具有以下優點:
[0022]本發明提供的廢水處理方法中，包括:在第一反應槽中收集含銅廢水、含氟廢水的混合廢水，所述混合廢水中含有銅絡合物，調節所述混合廢水的PH值為第一設定值；向所述第一反應槽中加入破絡劑，所述破絡劑與所述銅絡合物進行破絡反應，將處理過后的所述混合廢水注入第二反應槽中；調節所述第二反應槽中的混合廢水的PH值為第二設定值，并加入氟離子混凝劑，用于沉淀混合廢水中的氟離子；將處理后的混合廢水注入第四反應槽中，向所述第四反應槽中加入絮凝劑，進行絮凝反應，之后進行沉淀。本發明中，將含銅廢水和含氟廢水在一個反應系統中同時進行處理，加入破絡劑將銅絡合物破絡之后沉淀，同時保證氟離子的沉淀，使得銅離子、氟離子濃度達到排放標準。
【附圖說明】
[0023]圖1為本發明一實施例中廢水處理方法的流程圖；
[0024]圖2為本發明一實施例中廢水過程示意圖。
【具體實施方式】
[0025]下面將結合示意圖對本發明的廢水處理方法進行更詳細的描述，其中表示了本發明的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本發明，而仍然實現本發明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本發明的限制。
[0026]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0027]本發明的核心思想在于，提供的廢水處理方法中，包括:在第一反應槽中收集含銅廢水、含氟廢水的混合廢水，所述混合廢水中含有銅絡合物，調節所述混合廢水的PH值為第一設定值；向所述第一反應槽中加入破絡劑，所述破絡劑與所述銅絡合物進行破絡反應，將處理過后的所述混合廢水注入第二反應槽中；調節所述第二反應槽中的混合廢水的PH值為第二設定值，并加入氟離子混凝劑，用于沉淀混合廢水中的氟離子；將處理后的混合廢水注入第四反應槽中，向所述第四反應槽中加入絮凝劑，進行絮凝反應，之后進行沉淀。本發明中，將含銅廢水和含氟廢水在一個反應系統中同時進行處理，加入破絡劑將銅絡合物破絡之后沉淀，同時保證氟離子的沉淀，使得銅離子、氟離子濃度達到排放標準。
[0028]具體的，結合上述核心思想，本發明的廢水處理方法的流程圖參考圖1所示，并結合圖2進行具體說明。
[0029]首先，執行步驟SI，在第一反應槽10中注入含氟廢水和含銅廢水的混合廢水，一般的，含氟廢水中存在氨根離子，其中濃度為50-100mg/L。混合廢水中還存在有氯離子，然而，氨根離子和氯離子均與銅離子發生絡合反應形成銅氨絡合物和銅氯絡合物，其反應式為:
[0030]Cu2++NH3 — [Cu (NH3) 4]2+
[0031 ] Cu2++2C12 — [Cu (Cl) 4]2+
[0032]根據測量得到的第一反應槽10中的pH值，在第一反應槽10確定加入的pH調節劑的種類以及濃度，使得第一反應槽10中的pH值達到一第一設定值，一般的第一反應槽10中初始的PH值為1-2，設定將第一反應槽10中的pH值調為第一設定值3-5。在本實施例中，調節PH值采用的pH調節劑為質量百分比濃度為30 %的氫氧化鈉溶液、根據需要確定加入的調節劑的濃度。在本實施例中，采用的PH調節劑還可以為氫氧化鉀溶液，只要可以實現調節PH值的作用，亦在本發明保護的思想范圍之內。
[0033]接著，執行步驟S2，在所述第一反應槽10中加入破絡劑，用于與銅絡合物進行破絡反應。在本發明中，所述破絡劑采用的氯化鐵，加入的氯化鐵的量根據需要確定。由于第一反應槽10中的PH環境為酸性環境，使得其中的鐵離子通常以二價的形式存在，即Fe'在第一反應槽10中。二價鐵能將混合廢水中的銅氨絡合物([Cu(NH3)4]2+)、銅氯絡合物([Cu(Cl)4]2+)進行破絡反應，生成一價銅離子。其中的化學反應式如下:
[0034][Cu (NH3) 4] 2++Fe2+ — Cu++Fe3++4NH3
[0035][Cu (Cl) 4] 2++Fe2+ — Cu++Fe3++4C1
[0036]在第一反應槽10中反應的時間為60min