量等）。
[0059] 實施例A-3
[0060] 得到了至少兩個EagleXGe玻璃的樣品。使用激光束鉆穿這些玻璃樣品以形成通 孔導孔。在測得這些樣品的厚度以后，在存在132kHz的超聲波場的條件下在一升HF和HNO 3 的溶液中對其進行蝕刻。這些樣品還受到機械攪動。初始的蝕刻溶液的溫度為大約25±2 °C。對樣品進行徹底洗滌和干燥后，再次對樣品蝕刻后的厚度進行測量。為了確定孔的品質 和形狀，對這些孔的入射表面上的直徑、它們的腰部直徑和出口表面的直徑進行測量。以下 的表2中的"132kHz"一列示出了該實施例的測量結果和估算值(例如延伸通過玻璃樣品的 有缺口的入口孔的數量、通孔的數量等）。
[0061 ] 實施例A-4
[0062] 得到了至少兩個Eagle_XG?玻璃的樣品。使用激光束鉆穿這些玻璃樣品以形成通 孔導孔。在測得這些樣品的厚度以后，在存在192kHz的超聲波場的條件下在一升HF和HNO 3 的溶液中對其進行蝕刻。這些樣品還受到機械攪動。初始的蝕刻溶液的溫度為大約25±2 °C。對樣品進行徹底洗滌和干燥后，再次對樣品蝕刻后的厚度進行測量。為了確定孔的品質 和形狀，對這些孔的入射表面上的直徑、它們的腰部直徑和出口表面的直徑進行測量。以下 的表2中的"192kHz"一列示出了該實施例的測量結果和估算值(例如延伸通過玻璃樣品的 有缺口的入口孔的數量、通孔的數量等）。
[0063] 實施例A-5
[0064] 得到了至少兩個EagleXCT玻璃的樣品。使用激光束鉆穿這些玻璃樣品以形成通 孔導孔。在測得這些樣品的厚度以后，在存在40/80kHz的雙頻率超聲波場的條件下在一升 HF和HNO3的溶液中對其進行蝕刻。這些樣品還受到機械攪動。初始的蝕刻溶液的溫度為大 約25±2°C。對樣品進行徹底洗滌和干燥后，再次對樣品蝕刻后的厚度進行測量。為了確定 孔的品質和形狀，對這些孔的入射表面上的直徑、它們的腰部直徑和出口表面的直徑進行 測量。以下的表2中的"40/80kHz"一列示出了該實施例的測量結果和估算值(例如延伸通過 玻璃樣品的有缺口的入口孔的數量、通孔的數量等）。
[0065] 表2 -實施例A-2至A-5的測量結果
[0067] 實施例A-6
[0068] 得到了十個EagleXG'玻璃的樣品。使用激光束鉆穿這些玻璃樣品以形成通孔導 孔。在測得這些樣品的厚度以后，在存在40/80kHz的雙頻率超聲波場的條件下在一升HF和 HNO3的溶液中對這些樣品中的五個進行蝕刻。在測得這些樣品的厚度以后，在存在80/ 120kHz的雙頻率超聲波場的條件下在一升HF和HNO 3的溶液中對這些樣品中的五個進行蝕 亥IJ。這些樣品還受到機械攪動。初始的蝕刻溶液的溫度為大約25±2°C。對樣品進行徹底洗 滌和干燥后，再次對樣品蝕刻后的厚度進行測量。為了確定孔的品質和形狀，對這些孔的入 射表面上的直徑、它們的腰部直徑和出口表面的直徑進行測量。以下的表3顯示了該實施例 的測量結果和估算值(例如缺失的出口孔、蝕刻損傷等）。從表3中可以明顯發現，所有樣品 都具有100%的通孔。40/80kHz樣品與80/120kHz樣品具有相似的孔徑和圓度。但是，5個使 用40/80kHz超聲波能量系統進行蝕刻的樣品中有4個展現出一定程度的表面損傷。然而， 80/120kHz超聲波能量系統未對樣品產生任何損傷，同時還展現出相當的腰部直徑:入口直 徑。從該實驗中可以明顯發現，范圍在80kHz~132kHz或大約80kHz~120kHz之間的超聲波 頻率為形成具有所需形態比的孔道和使玻璃基材的表面損傷最小化提供了有效的條件。
[0069] 表3 -實施例A-6的測量結果
[0071] 實施例A-7
[0072] 得到了至少兩個EagleXG1'玻璃的樣品。使用激光束鉆穿這些玻璃樣品以形成通 孔導孔。在測得這些樣品的厚度以后，在存在80/120kHz的雙頻率超聲波場的條件下，在一 升HF和HNO 3的溶液中對其進行蝕刻。這些樣品未受機械攪動。初始的蝕刻溶液的溫度為大 約25±2°C。對樣品進行徹底洗滌和干燥后，再次對樣品蝕刻后的厚度進行測量。為了確定 孔的品質和形狀，對這些孔的入射表面上的直徑、它們的腰部直徑和出口表面的直徑進行 測量。許多孔在蝕刻后未打開，這表明在蝕刻過程中進行機械攪動在一些情況下可能是有 益的。
[0073] 有關在孔道的形成中施用和去除耐酸膜的實施例
[0074] 以下實施例描述了孔道的形成，其包括對不同的玻璃樣品進行蝕刻，對其入射孔 直徑和出口孔進行比較。從這些實施例中可以推斷，當在進行無層壓的第二蝕刻步驟之前 在入射表面上進行具有層壓的第一蝕刻步驟時，可以實現相等的出口直徑和入射直徑。可 對第一蝕刻步驟的長度進行調整以實現所需的數值為1的形態比（即相等的入口和出口直 徑）。另外，通過對實施例B-2~B_4(在這些實施例中，只在第二蝕刻步驟中使用超聲波攪 動)與實施例B-6~B_4(在這些實施例中，在第一蝕刻步驟和第二蝕刻步驟中都使用超聲波 攪動)進行比較，可以推斷，通過在第一蝕刻步驟和第二蝕刻步驟中施加超聲波攪動使蝕刻 速率增加。
[0075] 實施例B-I
[0076] 在本實施例中，使用超聲波攪動在無層壓的條件下對對照樣品進行蝕刻。使用激 光束鉆穿玻璃樣品以形成通孔導孔。在存在40/80kHz交叉式超聲波場的條件下，在一升HF 和HNO3的溶液中對該樣品進行8分鐘的蝕刻。溶液的溫度為大約25 ± 2 °C。對樣品進行徹底 洗滌和干燥后，對樣品入射表面和出口表面上的孔的直徑進行測量。經計算，出口側直徑相 對于入射側直徑的比值為0.87。
[0077] 實施例B-2
[0078] 使用激光束鉆穿玻璃樣品以形成通孔導孔。使用清潔的耐HF酸聚合物膜在激光束 的入射面上對該樣品進行層壓。然后在無任何超聲波攪動的條件下，在一升HF和HNO 3的溶 液中對該樣品進行4分鐘的蝕刻。對樣品進行洗滌并去除層壓膜。這一次，在存在40/80kHz 交叉式超聲波場的條件下，在一升新鮮的溶液中再次對該樣品進行大約8分鐘的蝕刻。溶液 的溫度為大約25± 2°C。對樣品進行徹底洗滌和干燥后，對樣品入射表面和出口表面上的孔 的直徑進行測量。經計算，出口側直徑相對于入射側直徑的比值為0.97。
[0079] 實施例B-3
[0080] 使用激光束鉆穿玻璃樣品以形成通孔導孔。使用清潔的耐HF酸聚合物膜在激光束 的入射面上對該樣品進行層壓。然后在無任何超聲波攪動的條件下，在一升HF和HNO 3的溶 液中對該樣品進行5分鐘的蝕刻。對樣品進行洗滌并去除層壓膜。這一次，在存在40/80kHz 交叉式超聲波場的條件下，在一升新鮮的溶液中再次對該樣品進行大約8分鐘的蝕刻。溶液 的溫度為大約25± 2°C。對樣品進行徹底洗滌和干燥后，對樣品入射表面和出口表面上的孔 的直徑進行測量。經計算，出口側直徑相對于入射側直徑的比值為1.03。
[0081 ] 實施例B-4
[0082] 使用激光束鉆穿玻璃樣品以形成通孔導孔。使用清潔的耐HF酸聚合物膜在激光束 的入射面上對該樣品進行層壓。然后在無任何超聲波攪動的條件下，在一升HF和HNO 3的溶 液中對該樣品進行6分鐘的蝕刻。對樣品進行洗滌并去除層壓膜。這一次，在存在40/80kHz 交叉式超聲波場的條件下，在一升新鮮的溶液中再次對該樣品進行大約8分鐘的蝕刻。溶液 的溫度為大約25± 2°C。對樣品進行徹底洗滌和干燥后，對樣品入射表面和出口表面上的孔 的直徑進行測量。經計算，出口側直徑相對于入射側直徑的比值為1.06。
[0083] 實施例B-5
[0084] 在本實施例中，使用超聲波攪動在無層壓的條件下對對照樣品進行蝕刻。使用激 光束鉆穿玻璃樣品以形成通孔導孔。在存在40/80kHz交叉式超聲波場的條件下，在一升HF 和HNO3的溶液中對該樣品進行8分鐘的蝕刻。溶液的溫度為大約25 ± 2 °C。對樣品進行徹底 洗滌和干燥后，對樣品入射表面和出口表面上的孔的直徑進行測量。經計算，出口側直徑相 對于入射側直徑的比值為0.84。
[0085] 實施例B-6
[0086] 使用激光束鉆穿玻璃樣品以形成通孔導孔。使用清潔的耐HF酸聚合物膜在激光束 的入射面上對該樣品進行層壓。