第一清洗裝置20設置在所述第二清洗裝置30的上游，所述第一清洗裝置20包括第一新液補充管道21、第一槽體22和第一溢流管道23，所述第一槽體22上設有第一進液口 221和第一出液口 222，所述第一進液口 221的高度不低于所述第一出液口 222的高度，所述第一新液補充管道21設在所述第一進液口 221處，所述第一溢流管道23設在所述第一出液口 222處，所述第二清洗裝置30包括第二新液補充管道31、第二槽體32和第二溢流管道33，所述第二槽體32上設有第二進液口 321和第二出液口 322，所述第二進液口 321的高度不低于所述第二出液口 322的高度，所述第二新液補充管道31設在所述第二進液口 321處，所述第二溢流管道33設在所述第二出液口 322處。
[0019]所述輸送裝置10通過連接所述第一新液補充管道21與所述第一清洗裝置20連接，所述第一溢流管道23則與所述聚氯乙烯硬質管道50—端固定連接，所述聚氯乙烯硬質管道50另一端與所述第二新液補充管道31固定連接，將所述第一清洗裝置20和所述第二清洗裝置30連接，所述回收裝置40則通過與所述第二溢流管道33相連與所述第二清洗裝置30連接。
[0020]所述第一出液口221的高度不低于所述第二進液口 331和第二出液口 332的高度，保證所述第一槽體22中的液面不低于所述第二槽體32中的液面，以及所述第一清洗裝置20中的水能輸送到所述第二清洗裝置30中且不發生倒流現象。
[0021]所述聚氯乙烯硬質管道50的高度低于所述第一進液口221、第一出液口 222、第二進液口 321和第二出液口 322的高度，保證所述第一清洗裝置20中的水能輸送到所述第二清洗裝置30中。
[0022]所述第二清洗裝置40的容積小于所述第一清洗裝置20的容積，加快下游所述第二清洗裝置40內水更新的速度。
[0023]本實用新型具體操作方式:水從所述輸送裝置10勻速輸出，流過所述第一新液補充管道21進入所述第一槽體22，當所述第一槽體22中水的液面高于第一出液口 221時，水從所述第一溢流管道23勻速流出，經過所述聚氯乙烯硬質管道31，通過所述第二新液補充管道32進入所述第二槽體33，當所述第二槽體33中水的液面高于出液口時，水從所述第二溢流管道34勻速流出，流入所述回收裝置40回收處理。
[0024]微影前處理及DES制程中，工件連續經過8道水洗工藝清洗，8個水洗裝置中的水從前往后越來越清澈。后三道水洗工藝排出的廢水較為清澈，直接廢水回收處理不僅浪費水資源還增加成本，而前三道水洗工藝排出的廢水較為渾濁，因此采用本實用新型所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，采用優化方案，將后三道水洗工藝排出的水分別輸送至前三道水洗工藝中再使用，減少用水量及污水排出量，節約成本。
[0025]本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種微影制程中水洗工藝用清洗裝置，其特征在于，包括依次連接的輸送裝置、第一清洗裝置、第二清洗裝置和回收裝置，所述第一清洗裝置包括第一槽體，所述第一槽體上設有第一進液口和第一出液口，所述第二清洗裝置包括第二槽體，所述第二槽體上設有第二進液口和第二出液口，所述第一出液口的高度不低于所述第二進液口和第二出液口的高度。2.根據權利要求1所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，所述第一清洗裝置還包括第一新液補充管道和第一溢流管道，所述第一新液補充管道設在所述第一進液口處，所述第一溢流管道設在所述第一出液口處;所述第二清洗裝置還包括第二新液補充管道和第二溢流管道，所述第二新液補充管道設在所述第二進液口處，所述第二溢流管道設在所述第二出液口處。3.根據權利要求2所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，所述微影制程中水洗工藝用清洗裝置還包括連接管道，所述連接管道一端與所述第一溢流管道固定連接，另一端與所述第二新液補充管道固定連接。4.根據權利要求3所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，所述連接管道的高度低于所述第一進液口、第一出液口、第二進液口和第二出液口的高度。5.根據權利要求3所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，所述連接管道是聚氯乙烯硬質管道。6.根據權利要求1所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，所述第一進液口的高度不低于所述第一出液口的高度。7.根據權利要求1所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，所述第二進液口的高度不高于所述第二出液口的高度。8.根據權利要求1所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，所述第二清洗裝置的容積小于所述第一清洗裝置的容積。
【專利摘要】本實用新型公開了一種微影制程中水洗工藝用清洗裝置，包括依次連接的輸送裝置、第一清洗裝置、第二清洗裝置和回收裝置，所述第一清洗裝置包括第一槽體，所述第一槽體上設有第一進液口和第一出液口，所述第二清洗裝置包括第二槽體，所述第二槽體上設有第二進液口和第二出液口，所述第一出液口的高度不低于所述第二進液口和第二出液口的高度。本實用新型所述微影制程中水洗工藝用清洗裝置將較為干凈的洗液輸送至渾濁的洗液中再利用，將洗液循環利用，減少了洗液的用量以及污水的排出量，降低了生產成本。
【IPC分類】B08B3/04, H01L21/67
【公開號】CN205236511
【申請號】CN201520905973
【發明人】劉愛斌, 蔡闖, 朱佔濤, 鄭貴平
【申請人】昆山鼎鑫電子有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2015年11月13日