專利名稱：廢氣除臭裝置及方法
技術領域：
本發明是有關一種廢氣除臭裝置及方法，尤其是指一種由轉輪中的沸石層設有內沸石層、外沸石層的設計，使得本發明具有除濕、除臭的功效，而適于應用在各種半導體業、光電產業、其它化學/化工相關產業和相關要求空氣質量的場所。
背景技術：
隨著中國臺灣高科技產業的蓬勃發展下，半導體產業日漸成長迅速，其中半導體產業可以包含有集成電路產業與光電產業，對經濟發展具有極大的影響力，但在半導體組件及光電組件制備工藝中隨之衍生了許多廢液、廢水、廢氣等有關環保問題，例如半導體廠于黃光制備工藝中分別有清洗、涂底、光阻覆蓋、軟烤、曝光、烘烤、顯影、硬烤等等步驟，會使用到各式清洗液、光阻液等有機溶劑，造成有揮發性有機物VOCs(Volatile Organic Compounds；一般是指在標準狀態下，其蒸汽壓大于0.1mmHg以上的有機化合物)的產生，而這些VOCs絕大部份屬于有害性的空氣污染物(Hazardous Air Pollutants；HAPs)，人體長期暴露于含高濃度VOCs的環境中，會有產生中毒及致癌性腫瘤等反應。除此之外，大氣中的VOCs會光化學反應，導致大氣中臭氧濃度升高及產生高氧化性污染物。因此，這些排放出來的有機溶劑蒸氣，必需加以處理，不可任其直接排放到大氣中。
而中國臺灣也于1999年1月6日發布「半導體制造業空氣污染管制及排放標準」，依照該標準規定，中國臺灣的半導體制造業中從事集成電路晶圓制造及封裝、磊晶、光罩制造及導線架制造等作業者，其全廠揮發性有機物(VOCs)及硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸等無機酸年使用量超過規定限值者，皆應納入管制，其中揮發性有機廢氣強制要求其削減率應大于90％、或總排放量小于0.6kg/hr。
目前在中國臺灣，一般從事制造與代工的集成電路制造業中，實施運轉的VOCs空氣污染防治設備主要有活性碳吸附塔、轉輪濃縮焚化、冷擬回收、濕式洗滌、活性碳流體化床等，種類可說不勝枚舉。而公知的廢氣處理裝置具有實際運轉經驗、且成熟穩定，其處理效能多可符合目前半導體空污法規VOCs廢氣處理效率大于90％以上的要求，甚至亦能同時符合排放量小于0.6kg/hr的要求。
然，在目前處理其揮發性有機物VOCs，除了本身屬于有害性空氣污染物以外，因其中夾帶有化學物質經混合后易會產生臭味，對人體及排放到大氣中都不好，而公知的廢氣處理裝置使用上，雖然具有凈化氣體的功用，但因為只能凈化廢氣，因此即使其揮發性有機物VOCs含有大量的臭味，經廢氣處理裝置后達到排放標準，其有臭味的氣體亦會排出至大氣中，所以公知廢氣處理裝置需要加以設計，才能增加除臭、凈化氣體的效果。
發明內容
本發明的目的在于提供一種通過轉輪內的沸石層來將廢氣除濕、除臭，提升空氣質量的廢氣除臭裝置及方法。
為實現上述目的，本發明提供的廢氣除臭裝置，包含有一進氣管路、一轉輪、一熱源裝置、一燃燒爐及一排氣管路；該廢氣由進氣管路進入，而該轉輪設有框架，該框架上設有沸石層，該沸石層設有內沸石層及外沸石層，供吸附從進氣管路進入的廢氣，且轉輪具有一吸附區域、一再生脫附區域及一隔離冷卻區域，其廢氣經轉輪的吸附區域吸附后，再通過再生脫附區域來使廢氣能脫附形成濃縮廢氣，而轉輪將濃縮廢氣脫附后，轉入隔離冷卻區域來使沸石層降溫，該熱源裝置提供再生脫附區域的熱量，供轉輪脫附廢氣用，該燃燒爐將再生脫附區域的濃縮廢氣經高溫燃燒反應去除，該排氣管路能將轉輪內吸附區域中的氣體及燃燒爐處理后的氣體排出，以此，通過轉輪內的沸石層來將廢氣除濕、除臭，及提升排氣質量。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪為一蜂巢式結構。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該內沸石層及外沸石層由不同比例的沸石塊堆棧而成，外沸石層為除濕用，內沸石層為除臭用。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪上設有密封墊，用以將吸附區域、再生脫附區域及隔離冷卻區域相互隔離分開，以進行處理廢氣及處理后釋出干凈氣體。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為水，利用噴嘴方式來形成微細霧滴狀，以預防脫附溫度過高而發生火災。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為氮氣，利用高壓噴嘴方式噴出氮氣，以預防脫附溫度過高而發生火災。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該燃燒爐前端設有一抽風機，以將轉輪的再生脫附區域中的濃縮廢氣抽出送至燃燒爐高溫燃燒反應去除。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該熱源裝置為熱交換設備，而熱交換設備是將干凈氣體作為熱傳導介質來進行熱交換，并將熱傳導介質傳送至該轉輪的再生脫附區域中，以提供轉輪脫附廢氣的熱量，且該燃燒爐反應后高溫氣體的熱能被儲存，以供熱交換設備的用形成循環操作，而提升熱源質量。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該熱源裝置為蒸氣設備，由蒸氣的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
所述的廢氣除臭裝置，其中，該熱源裝置為電熱設備，由電熱設備的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
本發明提供的廢氣除臭方法，其包含下列步驟 步驟一、由轉輪的吸附區域從進氣管路中吸附廢氣； 步驟二、經由轉輪的沸石層的外沸石層來吸附除濕； 步驟三、再經由轉輪的沸石層的內沸石層來吸附除臭； 步驟四、而經再生脫附區域來使廢氣能脫附形成濃縮廢氣，由熱源裝置提供再生脫附區域的熱量，而轉輪將濃縮廢氣脫附后，轉入隔離冷卻區域來使沸石層降溫； 步驟五、而經燃燒爐以將轉輪的再生脫附區域的濃縮廢氣經高溫燃燒反應去除；以及 步驟六、經排氣管路能將轉輪內吸附區域中的氣體及燃燒爐處理后的氣體排出。
所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪為一蜂巢式結構。
所述的廢氣除臭方法，其中，該內沸石層及外沸石層由不同比例的沸石塊堆棧而成，外沸石層為除濕用，內沸石層為除臭用。
所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪上設有密封墊，用以將吸附區域、再生脫附區域及隔離冷卻區域相互隔離分開，以進行處理廢氣及處理后釋出干凈氣體。
所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為水，利用噴嘴方式來形成微細霧滴狀，以預防脫附溫度過高而發生火災。
所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為氮氣，利用高壓噴嘴方式噴出氮氣，以預防脫附溫度過高而發生火災。
所述的廢氣除臭方法，其中，該燃燒爐前端設有一抽風機，以將轉輪的再生脫附區域中的濃縮廢氣抽出送至燃燒爐高溫燃燒反應去除。
所述的廢氣除臭方法，其中，該熱源裝置為熱交換設備，而熱交換設備是將干凈氣體作為熱傳導介質來進行熱交換，并將熱傳導介質傳送至該轉輪的再生脫附區域中，以提供轉輪脫附廢氣的熱源，且該燃燒爐反應后高溫氣體的熱能被儲存，以供熱交換設備的用形成循環操作，而提升熱源質量。
所述的廢氣除臭方法，其中，該熱源裝置為蒸氣設備，由蒸氣的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
所述的廢氣除臭方法，其中，該熱源裝置為電熱設備，由電熱設備的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
由本發明的實施，具有如下實用優點 1、于沸石層上設有內沸石層及外沸石層，其中該內沸石層及外沸石層是由不同比例的沸石塊堆棧而成，其外沸石層為除濕用，內沸石層為除臭用，供吸附從進氣管路進入的廢氣，以達到吸附最佳化的效果。
2、本裝置并通過燃燒爐來燃燒濃縮廢氣，來達到節省能源與去除廢氣的效率，以提升排氣質量。
圖1為本發明廢氣除臭裝置的結構示意圖。
圖2為本發明廢氣除臭裝置的轉輪示意圖。
圖3為本發明廢氣除臭裝置的設置平面示意圖。
圖4為本發明主架構的方塊流程圖。
附圖中主要組件符號說明 10、進氣管路 11、廢氣 12、濃縮廢氣 13、干凈氣體 20、轉輪 21、框架 22、沸石層 221、內沸石層 222、外沸石層 23、吸附區域 24、再生脫附區域 25、隔離冷卻區域 26、冷卻管路 30、熱源裝置 40、燃燒爐 41、抽風機 50、排氣管路 60、步驟一 61、步驟二 62、步驟三 63、步驟四 64、步驟五 65、步驟六
具體實施例方式 本發明包含有一進氣管路、一轉輪、一熱源裝置、一燃燒爐及一排氣管路；該廢氣由進氣管路進入，而該轉輪設有框架，該框架上設有沸石層，該沸石層設有內沸石層及外沸石層，供吸附從進氣管路進入的廢氣，且轉輪具有一吸附區域、一再生脫附區域及一隔離冷卻區域，其廢氣經轉輪的吸附區域吸附后，再通過再生脫附區域來使廢氣能脫附形成濃縮廢氣，而轉輪將濃縮廢氣脫附后，轉入隔離冷卻區域來使沸石層降溫，該熱源裝置提供再生脫附區域的熱量，供轉輪脫附廢氣用，該燃燒爐是將再生脫附區域的濃縮廢氣經高溫燃燒反應去除，該排氣管路能將轉輪內吸附區域中的氣體及燃燒爐處理后的氣體排出，以此，通過轉輪內的沸石層來將廢氣除濕、除臭，及提升排氣質量。
本發明的其它特點及具體實施例可于以下配合附圖的詳細說明中，進一步了解。
請參考圖1、圖2所示，為本發明廢氣除臭裝置，主要包含有一進氣管路10、一轉輪20、一熱源裝置30、一燃燒爐40及一排氣管路50；該廢氣11由進氣管路10進入，而該轉輪20設有框架21，其中該轉輪20為一蜂巢式結構，該框架21上設有沸石層22，其沸石層22設有內沸石層221及外沸石層222，供吸附從進氣管路10進入的廢氣11，且轉輪20具有一吸附區域23、一再生脫附區域24及一隔離冷卻區域25，其廢氣11經轉輪20的吸附區域23吸附后，再通過再生脫附區域24來使廢氣11能脫附形成濃縮廢氣12，而轉輪20將濃縮廢氣12脫附后，轉入隔離冷卻區域25以干凈空氣來使沸石層22降溫，降溫后再轉入吸附區域23繼續進行吸附廢氣11動作，該熱源裝置30提供再生脫附區域24的熱量，供轉輪20脫附廢氣11用，該燃燒爐40將再生脫附區域24的濃縮廢氣12經高溫燃燒反應去除，該排氣管路50能將轉輪20內吸附區域23中的氣體及燃燒爐40處理后的氣體排出。
請參考圖2所示，該轉輪20為一蜂巢式結構，而該轉輪20設有框架21，其中該框架21上設有沸石層22，其沸石層22設有內沸石層221及外沸石層222，沸石層22的內沸石層221及外沸石層222是由不同比例的沸石塊堆棧而成，以達到吸附最佳化的效果，其中外沸石層222為除濕用，內沸石層221為除臭用，供吸附從進氣管路10進入的廢氣11；另該轉輪20上設有三密封墊(圖未示)，用以將吸附區域23、再生脫附區域24及隔離冷卻區域25相互隔離分開，以進行處理廢氣及處理后釋出干凈氣體。
請參考圖1～圖3所示，該熱源裝置30為熱交換設備，而熱交換設備是將干凈氣體13作為熱傳導介質來進行熱交換，并將熱傳導介質傳送至該轉輪20的再生脫附區域24中，以提供轉輪20脫附廢氣11的熱量，且該燃燒爐40反應后高溫氣體的熱能被儲存，且熱能亦可提供熱源裝置30來供轉輪20脫附廢氣11為濃縮廢氣12的用形成循環操作，其中該熱源裝置30亦可為蒸氣設備或電熱設備(圖未示)，由蒸氣設備及電熱設備的熱量而提供再生脫附區域24脫附廢氣用。另于轉輪20的再生脫附區域24中系設有冷卻管路26，該冷卻管路26中為水或氮氣，利用高壓噴嘴方式來形成微細霧滴狀，以預防脫附溫度過高而發生火災者。其燃燒爐40前端設有一抽風機41，以將轉輪20的再生脫附區域24中的濃縮廢氣12抽出送至燃燒爐40，而濃縮廢氣12經高溫燃燒反應去除，反應后高溫氣體的熱能被儲存，且熱能提供熱源裝置30來供轉輪20用，使形成循環操作。
請參考圖4所示，為本發明主架構的方塊流程圖，一種廢氣除臭方法，其包含下列步驟 步驟一60、由轉輪的吸附區域從進氣管路中吸附廢氣； 步驟二61、經由轉輪的沸石層的外沸石層來吸附除濕； 步驟三62、再經由轉輪的沸石層的內沸石層來吸附除臭； 步驟四63、而經再生脫附區域來使廢氣能脫附形成濃縮廢氣，由熱源裝置提供再生脫附區域的熱量，而轉輪將濃縮廢氣脫附后，轉入隔離冷卻區域來使沸石層降溫； 步驟五64、而經燃燒爐以將轉輪的再生脫附區域的濃縮廢氣經高溫燃燒反應去除；以及 步驟六65、經排氣管路能將轉輪內吸附區域中的氣體及燃燒爐處理后的氣體排出。
以上所述者，僅為本發明的較佳實施例而已，舉凡依本發明申請專利范圍所做的均等設計變化，均應為本發明的權利要求范圍所涵蓋。
權利要求
1、一種廢氣除臭裝置，包含有一進氣管路、一轉輪、一熱源裝置、一燃燒爐及一排氣管路；該廢氣由進氣管路進入，而該轉輪設有框架，該框架上設有沸石層，該沸石層設有內沸石層及外沸石層，供吸附從進氣管路進入的廢氣，且轉輪具有一吸附區域、一再生脫附區域及一隔離冷卻區域，其廢氣經轉輪的吸附區域吸附后，再通過再生脫附區域來使廢氣能脫附形成濃縮廢氣，而轉輪將濃縮廢氣脫附后，轉入隔離冷卻區域來使沸石層降溫，該熱源裝置提供再生脫附區域的熱量，供轉輪脫附廢氣用，該燃燒爐將再生脫附區域的濃縮廢氣經高溫燃燒反應去除，該排氣管路能將轉輪內吸附區域中的氣體及燃燒爐處理后的氣體排出，以此，通過轉輪內的沸石層來將廢氣除濕、除臭，及提升排氣質量。
2、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪為一蜂巢式結構。
3、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該內沸石層及外沸石層由不同比例的沸石塊堆棧而成，外沸石層為除濕用，內沸石層為除臭用。
4、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪上設有密封墊，用以將吸附區域、再生脫附區域及隔離冷卻區域相互隔離分開，以進行處理廢氣及處理后釋出干凈氣體。
5、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為水，利用噴嘴方式來形成微細霧滴狀，以預防脫附溫度過高而發生火災。
6、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為氮氣，利用高壓噴嘴方式噴出氮氣，以預防脫附溫度過高而發生火災。
7、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該燃燒爐前端設有一抽風機，以將轉輪的再生脫附區域中的濃縮廢氣抽出送至燃燒爐高溫燃燒反應去除。
8、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該熱源裝置為熱交換設備，而熱交換設備是將干凈氣體作為熱傳導介質來進行熱交換，并將熱傳導介質傳送至該轉輪的再生脫附區域中，以提供轉輪脫附廢氣的熱量，且該燃燒爐反應后高溫氣體的熱能被儲存，以供熱交換設備的用形成循環操作，而提升熱源質量。
9、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該熱源裝置為蒸氣設備，由蒸氣的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
10、如權利要求1所述的廢氣除臭裝置，其中，該熱源裝置為電熱設備，由電熱設備的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
11、一種廢氣除臭方法，其包含下列步驟
步驟一、由轉輪的吸附區域從進氣管路中吸附廢氣；
步驟二、經由轉輪的沸石層的外沸石層來吸附除濕；
步驟三、再經由轉輪的沸石層的內沸石層來吸附除臭；
步驟四、而經再生脫附區域來使廢氣能脫附形成濃縮廢氣，由熱源裝置提供再生脫附區域的熱量，而轉輪將濃縮廢氣脫附后，轉入隔離冷卻區域來使沸石層降溫；
步驟五、而經燃燒爐以將轉輪的再生脫附區域的濃縮廢氣經高溫燃燒反應去除；以及
步驟六、經排氣管路能將轉輪內吸附區域中的氣體及燃燒爐處理后的氣體排出。
12、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪為一蜂巢式結構。
13、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該內沸石層及外沸石層由不同比例的沸石塊堆棧而成，外沸石層為除濕用，內沸石層為除臭用。
14、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪上設有密封墊，用以將吸附區域、再生脫附區域及隔離冷卻區域相互隔離分開，以進行處理廢氣及處理后釋出干凈氣體。
15、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為水，利用噴嘴方式來形成微細霧滴狀，以預防脫附溫度過高而發生火災。
16、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該轉輪的再生脫附區域中設有冷卻管路，該冷卻管路中為氮氣，利用高壓噴嘴方式噴出氮氣，以預防脫附溫度過高而發生火災。
17、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該燃燒爐前端設有一抽風機，以將轉輪的再生脫附區域中的濃縮廢氣抽出送至燃燒爐高溫燃燒反應去除。
18、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該熱源裝置為熱交換設備，而熱交換設備是將干凈氣體作為熱傳導介質來進行熱交換，并將熱傳導介質傳送至該轉輪的再生脫附區域中，以提供轉輪脫附廢氣的熱源，且該燃燒爐反應后高溫氣體的熱能被儲存，以供熱交換設備的用形成循環操作，而提升熱源質量。
19、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該熱源裝置為蒸氣設備，由蒸氣的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
20、如權利要求11所述的廢氣除臭方法，其中，該熱源裝置為電熱設備，由電熱設備的熱量而提供再生脫附區域脫附廢氣用。
全文摘要
一種廢氣除臭裝置，有一進氣管路、一轉輪、一熱源裝置、一燃燒爐及一排氣管路；該廢氣由進氣管路進入，而該轉輪設有框架，該框架上設有沸石層，該沸石層設有內沸石層及外沸石層，供吸附從進氣管路進入的廢氣，且轉輪具有一吸附區域、一再生脫附區域及一隔離冷卻區域，廢氣經轉輪的吸附區域吸附后，再通過再生脫附區域來使廢氣能脫附形成濃縮廢氣，而轉輪將濃縮廢氣脫附后，轉入隔離冷卻區域來使沸石層降溫，該熱源裝置提供再生脫附區域的熱量，供轉輪脫附廢氣用，該燃燒爐將再生脫附區域的濃縮廢氣經高溫燃燒反應去除，該排氣管路能將轉輪內吸附區域中氣體及燃燒爐處理后的氣體排出，通過轉輪內的沸石層來將廢氣除濕、除臭，及提升排氣質量。
文檔編號A61L9/014GK101352640SQ200710129839
公開日2009年1月28日 申請日期2007年7月27日 優先權日2007年7月27日
發明者鄭石治, 磊 田, 徐瑞珠, 劉邦昱, 洪守銘 申請人:華懋科技股份有限公司