專利名稱：應用于硅料清洗機上的機械手結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種機械手，特別是一種應用于對半導體、硅片、 去磷硅玻璃進行清洗的硅料清洗機上的機械手結構。
背景技術：
目前，有一種全自動硅料清洗機，該硅料清洗才幾內設有溶液槽和 清洗籃，在硅料清洗機內還安裝有機械手，通過機械手來搬運清洗籃， 通常機械手安裝在機體上部，由于機體內的腔室很大，機械手所經過 的路程較長，在^是起清洗籃后運行時容易偏斜，剎車不夠靈活，針對 上述缺點，有必要作出改進。 發明內容
為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種結構合理、運行 平穩、剎車靈活、反應快的應用于硅料清洗機上的機械手結構。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是 應用于硅料清洗機上的機械手結構，包括絲桿，所述絲桿下端設 有機械臂，位于機械臂上安裝有吊鉤，所述絲桿頂部設有頂板，該頂 板頂部設有水平驅動電機和上下驅動電機，所述水平驅動電機通過齒 輪機構帶動整個機械手活動，所述上下驅動電機帶動絲桿使其上的機 械臂和吊鉤上下運動，位于頂板左、右底部分別設有套軌和底面帶弧
形槽的導向定位塊，在硅料清洗機頂部設有嵌入套軌的左導軌和與導 向定位塊底面相嵌的右導軌。其中，所述絲桿外套有密封罩。
本實用新型的有益效果是通過在頂板左、右底部分別設置套 軌和底面帶弧形槽的導向定位塊，以及在硅料清洗才幾頂部設有嵌入套 軌的左導軌和與導向定位塊底面相嵌的右導軌，當水平驅動電機帶動 整個機械手運行時，利用套軌和導向定位塊沿左、右導軌上滑動，該 結構可以保證機械手運行平穩，且剎車靈活，反應速度快，使用起來 十分方便。以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。 圖l是本實用新型安裝在硅料清洗機上的結構示意圖； 圖2是
圖1中A處放大圖。
具體實施方式
參照
圖1、圖2，應用于硅料清洗機上的機械手結構，包括絲桿 1，所述絲桿1下端設有機械臂11,位于機械臂11上安裝有吊鉤12， 所述絲桿1頂部設有頂板2，該頂板2頂部設有水平驅動電機3和上 下驅動電機4，所述水平驅動電機3通過齒輪機構5帶動整個機械手 活動，所述上下驅動電機4帶動絲桿1使其上的機械臂11和吊鉤12 上下運動，位于頂板2左、右底部分別設有套軌6和底面帶弧形槽的 導向定位塊7，在硅料清洗機頂部設有嵌入套軌6的左導軌8和與導 向定位塊7底面相嵌的右導軌9。
使用過程中，當水平驅動電機3帶動整個機械手運行時，利用套 軌6和導向定位塊7沿左、右導軌8、 9上滑動，該結構可以保證機械手運行平穩，且剎車靈活，反應速度快，使用起來十分方便。
其中，所述絲桿1外套有密封罩10，通過密封罩10可以保護絲
桿1不被機體內的腐蝕氣體所腐蝕，延長了產品的使用壽命。
本實用新型結構合理、運行平穩、剎車靈活、反應快，是一種廣 泛應用于硅料清洗機上的機械手結構。
權利要求1.應用于硅料清洗機上的機械手結構，包括絲桿(1)，所述絲桿(1)下端設有機械臂(11)，位于機械臂(11)上安裝有吊鉤(12)，其特征在于所述絲桿(1)頂部設有頂板(2)，該頂板(2)頂部設有水平驅動電機(3)和上下驅動電機(4)，所述水平驅動電機(3)通過齒輪機構(5)帶動整個機械手活動，所述上下驅動電機(4)帶動絲桿(1)使其上的機械臂(11)和吊鉤(12)上下運動，位于頂板(2)左、右底部分別設有套軌(6)和底面帶弧形槽的導向定位塊(7)，在硅料清洗機頂部設有嵌入套軌(6)的左導軌(8)和與導向定位塊(7)底面相嵌的右導軌(9)。
2. 根據權利要求1所述的應用于硅料清洗機上的機械手結構，其特 征在于所述絲桿(1)外套有密封罩(10 )。
專利摘要本實用新型公開了一種應用于硅料清洗機上的機械手結構，包括絲桿，所述絲桿下端設有機械臂，位于機械臂上安裝有吊鉤，所述絲桿頂部設有頂板，該頂板頂部設有水平驅動電機和上下驅動電機，所述水平驅動電機通過齒輪機構帶動整個機械手活動，所述上下驅動電機帶動絲桿使其上的機械臂和吊鉤上下運動，位于頂板左、右底部分別設有套軌和底面帶弧形槽的導向定位塊，在硅料清洗機頂部設有嵌入套軌的左導軌和與導向定位塊底面相嵌的右導軌；本實用新型結構合理、運行平穩、剎車靈活、反應快，是一種廣泛應用于硅料清洗機上的機械手結構。
文檔編號B08B13/00GK201404942SQ20092005450
公開日2010年2月17日 申請日期2009年4月14日 優先權日2009年4月14日
發明者劉世全 申請人:劉世全