專利名稱：硅棒的多線切割裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅晶體的多線切割技術，具體涉及硅棒的多線切割裝置。
背景技術：
硅片是半導體和太陽能光伏領域的主要生產材料。硅片多線切割技術是目前采 用最廣泛的硅片加工技術，它不同于傳統的刀鋸片、砂輪片等切割方式，也不同于更先進的 激光切割和內圓切割方式，其原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼線上的切割刃 料，對硅棒進行摩擦，從而達到切割效果。在整個過程中，數十根位于導線輪線槽內的鋼線 通過導線輪的引導，在導線輪的輥上形成一張線網，而待加工硅棒通過工作臺的下降實現 工件的進給，線網進而將硅棒一次同時切割為數百片薄片。硅片多線切割技術與其他技術 相比具有效率高，產能高，精度高等優點。目前采用的硅棒多線切割裝置無法對切割線進行導向定位。在將硅棒粘接好后直 接裝入多線切割裝置切割，由于硅棒表面和鋼線表面都很光滑，所以當鋼線剛切割到硅棒 時很容易打滑，鋼線的切割位置和線槽的位置產生相對滑移，造成切割不均、廢片等工程內 不良，且對導線輪產生一定的傷害，縮短其使用壽命。實用新型的內容針對現有硅棒多線切割裝置無法對切割線進行導向定位，易造成切割不均、廢片 和對導線輪造成損傷的缺點，申請人進行了改進研究，提供一種硅棒的多線切割裝置，能 夠對切割線精確定位，從而有效減少切割不均、廢片等工程內不良，同時減小導線輪的磨損 度，延長其使壽命。本實用新型的技術方案如下硅棒的多線切割裝置，包括導線輪以及位于導線輪上的切割線，其特征在于，還包 括給切割線定位的導向條，所述導向條上開有導向槽，切割線進刀切割硅棒時位于所述導 向槽內。所述導向條至少為兩條。本實用新型的有益技術效果是采用本實用新型進行多線切割前，在硅棒表面用膠水粘附導向條，待膠水完全固 化后，再進行裝機切割。在切割時，切割線組成的線網先切到導向條，由于導向條硬脆且易 于切割，所以當線網切割到導向條時，更易進刀，在導向條上首先切割出導向槽，然后再切 割到硅棒。切割線能夠按切割出的導向槽位置定位，來切割硅棒5，減小由于對硅棒5直接 進切割時產生的相對滑移，減少切割不均以及廢片的出現。從而提高良品率，同時由于減小 了進刀位置與線槽之間的相對位移，減小了對導線輪的損傷，延長了其使用壽命。
圖1是本實用新型的結構示意圖。圖2是導向條的示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
做進一步說明。圖1為本實用新型的結構示意圖。如圖1所示，本實用新型包括導線輪1以及位 于導線輪1上的切割線2，還包括給切割線2定位的導向條3，導向條3上開有導向槽4(見 圖2)，切割線2進刀切割硅棒5時位于所述導向槽4內。本實施例中導向條有2條，其為長400mm、寬10mm、高2. 9mm的白色條狀物，是由 A1(0H)3、石粉和樹脂調合成漿料，然后在模具中經過燒結形成的硬脆且易于切割的材料。采用本實用新型進行多線切割過程如圖1所示切割前在硅棒5表面用膠水粘附 兩條導向條3，導向條3的安裝方向與切割線2垂直，所述導向條至少為兩條，最佳實施例為 兩條，兩條導向條平行布置，且兩條導向條之間的距離與兩條導向條分別到硅棒5直徑端 點的距離相等，即兩導向條在與之垂直的硅棒5的直徑上均距離布置。待膠水完全固化后， 再進行裝機切割。切割時硅棒5通過工作臺6下降，切割線2組成的線網先切割到導向條 3，在切割過程中在導向條3上切割出導向槽4(如圖2所示)，然后再切割到硅棒5。由于 導向條3硬脆且易于切割，所以當線網切割到導向條3時，更易進刀，切割線2能夠按在導 向條3上切割出的導向槽4定位的位置切割硅棒5，減小由于對硅棒5直接進切割時產生的 相對滑移，減少切割不均、廢片的出現。以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式，本實用新型不限于以上實施例。可 以理解，本領域技術人員在不脫離本實用新型的精神和構思的前提下，可以做出其他改進 和變化。
權利要求一種硅棒的多線切割裝置，包括導線輪以及位于導線輪上的切割線，其特征在于，還包括給切割線定位的導向條，所述導向條上開有導向槽，切割線進刀切割硅棒時位于所述導向槽內。
2.根據權利要求1所述硅棒的多線切割裝置，其特征在于，所述導向條至少為兩條。
專利摘要一種硅棒的多線切割裝置，包括導線輪以及位于導線輪上的切割線，其特征在于，還包括給切割線定位的導向條，所述導向條上開有導向槽，切割線進刀時位于所述導向槽內。所述導向條至少為兩條。本實用新型能夠對切割線精確定位，從而有效減少切割不均、廢片等工程內不良，提高良品率。同時減小導線輪的磨損度，延長其使用壽命。
文檔編號B28D5/04GK201552683SQ20092025652
公開日2010年8月18日 申請日期2009年11月10日 優先權日2009年11月10日
發明者佘毅, 楊樂, 袁仲明 申請人:高佳太陽能股份有限公司