一種線性閉鎖閥的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種線性閉鎖閥，屬于玻璃真空鍍膜【技術領域】。該線性閉鎖閥，用于玻璃鍍真空膜濺射腔室，包括殼體、提升機構和門板，所述門板位于所述殼體中，且與所述殼體外的提升機構連接，所述兩塊門板之間安裝有超薄氣缸，所述提升機構可帶動所述門板移動，所述超薄氣缸可推動所述門板緊靠所述殼體內壁，將所述兩個濺射腔室從接口處隔離。本發明通過提升機構帶動門板，并有門板間的超薄氣缸推動門板緊靠殼體內壁，將濺射室隔離，保證了濺射室維修時不用全部通入空氣，方便維修，提高了效率。
【專利說明】一種線性閉鎖閥
【技術領域】
[0001]本發明涉及玻璃真空鍍膜【技術領域】，特別涉及一種用于玻璃鍍真空膜生產線的線性閉鎖閥。
【背景技術】
[0002]玻璃鍍真空膜生產線濺射腔室之間一般是連通的，沒有隔離機構。在維修其中一個腔室時，所有腔室都一同通入空氣。這樣所有濺射室重新工作前都要抽氣，需要花較長的時間抽氣。
【發明內容】
[0003]為了解決目前玻璃鍍真空膜生產線濺射腔室之間連通，沒有隔離，導致維修不方便的問題，現提供了一種線性閉鎖閥。具體技術方案如下:
[0004]一種線性閉鎖閥，用于玻璃鍍真空膜濺射腔室，包括殼體、提升機構和門板，所述門板位于所述殼體中，且與所述殼體外的提升機構連接，所述兩塊門板之間安裝有超薄氣缸，所述提升機構可帶動所述門板移動，所述超薄氣缸可推動所述門板緊靠所述殼體內壁，將所述濺射腔室隔離。
[0005]優選的，所述殼體包括上殼體和下殼體；所述提升機構包括制動電機和螺旋絲杠，所述制動電機帶動所述螺旋絲杠轉動上升和下降，所述螺旋絲杠通過懸掛軸連接所述門板。
[0006]優選的，所述兩塊門板上安裝有用于所述門板回位的回位彈簧。
[0007]優選的，所述門板上設有真空密封條。
[0008]優選的，所述制動電機和所述螺旋絲杠之間通過錐齒輪副和傳動軸來傳遞動力，所述傳動軸連接所述錐齒輪副。
[0009]優選的，還包括控制機構，所述控制機構包括接近傳感器、控制所述制動電機的限位開關和氣動閥組，所述提升機構上設有上下接近傳感器和上下限位開關，在殼體中預設有上下止點，并與所述上下接近傳感器對應，所述上下限位開關設置作用點在所述上下接近傳感器作用點的外面，所述氣動閥組通過氣動管線連接螺旋絲杠中設置的通氣孔，所述通氣孔和所述超薄氣缸連通。所述氣動閥組控制氣缸的充壓縮空氣或抽真空。
[0010]優選的，所述螺旋絲杠外設有波紋管，所述波紋管連接所述殼體。
[0011 ]優選的，所述氣動閥組為兩位三通換向閥。
[0012]與現有技術相比，上述技術方案提供的線性閉鎖閥具有以下優點:通過提升機構帶動門板，并有門板間的超薄氣缸推動門板緊靠殼體內壁，將濺射室隔離，保證了濺射室維修時不用全部通入空氣，方便維修，提高了效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1是本發明實施例中提供的線性閉鎖閥剖面結構圖；
[0015]圖2是本發明實施例中提供的門板工作狀態示意圖；
[0016]圖3是本發明實施例中提供的門板結構示意圖。
[0017]附圖中，各標號所代表的組件列表如下:
[0018]I錐齒輪副，2螺旋絲桿，3傳動軸，4電磁制動電機，5中心錐齒輪，6焊接波紋管，7上殼體，8下殼體，9兩位三通閥組，10氣動管線，11接近傳感器，12限位開關，13懸掛軸，14超薄氣缸，15門板。
【具體實施方式】
[0019]為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本發明實施方式作進一步地詳細描述。
[0020]如圖1和圖2所示，本發明實施例提供了一種線性閉鎖閥，用于玻璃真空膜鍍濺射腔室，包括殼體、提升機構和門板15,門板15位于殼體中，且與殼體外的提升機構連接,兩塊門板15之間安裝有超 薄氣缸14，提升機構可帶動門板15移動，超薄氣缸14可推動門板15緊靠殼體內壁，將派射腔室隔離。其中，殼體包括上殼體7和下殼體8 ;提升機構包括制動電機4和螺旋絲杠2,制動電機4帶動螺旋絲杠2轉動上升和下降，螺旋絲杠2通過懸掛軸13連接門板15。兩塊門板15上安裝有用于門板15回位的回位彈簧。門板15上設有真空密封條。制動電機4和螺旋絲杠2之間通過錐齒輪副I和傳動軸3來傳遞動力，傳動軸3連接錐齒輪副I。
[0021 ] 線性閉鎖閥還包括控制機構，控制機構包括接近傳感器11、控制制動電機的限位開關12和氣動閥組9，提升機構上設有上下接近傳感器11和上下限位開關12，在殼體中預設有上下止點，并與上下接近傳感器11對應，上下限位開關12作用點分別設置在上下接近傳感器11作用點外面，氣動閥組9通過氣動管線10連接螺旋絲杠2中設置的通氣孔，通氣孔和超薄氣缸14連通。氣動閥組控制氣缸的充壓縮空氣或抽真空。螺旋絲杠2外設有波紋管6，波紋管6連接殼體。氣動閥組9為兩位三通換向閥。
[0022]下面簡單描述本發明實施例的工作過程。
[0023]當兩個濺射室有隔離需要時:開動電磁制動電機4，電機4帶動中心的錐齒輪5旋轉。中心錐齒輪5通過傳動軸3將動力傳遞給螺旋絲杠2。螺旋絲桿2旋轉,螺旋絲桿2下端通過懸掛軸13連接著門板系統15。螺旋絲杠2下降，帶動門板系統15—同下降。下降到下止點，接近傳感器11起作用(限位開關12起接近傳感器去作用時的保護作用)，使電機4停止旋轉。無論動和靜。密封波紋管6和殼體起著密封作用。下止點是預設好的位置。在這個位置，門板15推開。能夠有效的將兩個濺射室隔離。門板15推開過程。兩位三通閥9換向閥組將壓縮空氣接通。壓縮空氣經壓縮空氣管路、絲桿2中開的通氣孔，進入門板15之間的超薄氣缸14。超薄氣缸14在壓縮空氣的推動下將兩個門板15向兩邊撐開。將門板15頂在閥體內壁上，門板15上的密封圈起著有效的密封作用，將兩個濺射室徹底隔離開。同時線性閉鎖閥內部通入大氣。大氣壓起著加強隔離的作用。當一側的濺射室維修結束時，該濺射室封閉，開始抽真空，同時線性閉鎖閥內部同時抽真空，當線性閉鎖閥內部和維修后的濺射室，還有剛剛隔離的濺射室壓力相同時，兩位三通閥9換向將通壓縮空氣卸載，門板15離開閥體內壁了，濺射室之間連通。然后使兩位三通閥9換向超薄氣缸14內部抽真空。目的是使超薄氣缸14內的壓力與閥體內的壓力接近。此時，回位彈簧起作用，讓門板15復位。門板15復位后，開動電磁制動電機4,帶動螺旋絲杠2上升，當門板上升到上止點時,接近傳感器11起作用。使電機4停止轉動。
[0024]本發明實施例通過隔離并封閉兩個相鄰的真空濺射室，以允許其中一個或兩個可以放入大氣，打開進行維修。隔離的另一部分濺射腔室能短期或長期保持真空狀態。維修好的濺射室工作前只需要單獨抽氣。這樣抽氣的時間大大縮短，較原來全部腔室抽氣的時間少一半以上。不僅可以提高設備的有效工作時間，而且降低了真空泵組的功率，達到節約社會資源的目的。
[0025]以上所述僅為本發明的較佳實施例，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任 何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種線性閉鎖閥，用于玻璃鍍真空膜濺射腔室，其特征在于，包括殼體、提升機構和門板，所述門板位于所述殼體中，且與所述殼體外的提升機構連接，所述兩塊門板之間安裝有超薄氣缸，所述提升機構可帶動所述門板移動，所述超薄氣缸可推動所述門板緊靠所述殼體內壁，將所述濺射腔室隔離。
2.根據權利要求1所述的線性閉鎖閥，其特征在于，所述殼體包括上殼體和下殼體；所述提升機構包括制動電機和螺旋絲杠，所述制動電機帶動所述螺旋絲杠轉動上升和下降，所述螺旋絲杠通過懸掛軸連接所述門板。
3.根據權利要求1所述的線性閉鎖閥，其特征在于，所述兩塊門板上安裝有用于所述門板回位的回位彈簧。
4.根據權利要求1所述的線性閉鎖閥，其特征在于，所述門板上設有真空密封條。
5.根據權利要求2所述的線性閉鎖閥，其特征在于，所述制動電機和所述螺旋絲杠之間通過錐齒輪副和傳動軸來傳遞動力，所述傳動軸連接所述錐齒輪副。
6.根據權利要求2所述的線性閉鎖閥，其特征在于，還包括控制機構，所述控制機構包括接近傳感器、限位開關和氣動閥組，所述提升機構上設有上下接近傳感器和上下限位開關，在殼體中預設有上下止點，并與所述上下接近傳感器對應，所述上下限位開關作用點分別設置在所述上下接近傳感器作用點外面，所述氣動閥組通過氣動管線連接螺旋絲杠中設置的通氣孔，所述通氣孔和所述超薄氣缸連通，所述氣動閥組控制氣缸的充壓縮空氣或抽真空。
7.根據權利要求2所述的線性閉鎖閥，其特征在于，所述螺旋絲杠外設有波紋管，所述波紋管連接所述殼體。
8.根據權利要求6所述的線性閉鎖閥，其特征在于，所述氣動閥組為兩位三通換向閥。
【文檔編號】C03C17/00GK103964699SQ201310034356
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年1月29日 優先權日:2013年1月29日
【發明者】沈雙宇 申請人:上海北玻鍍膜技術工業有限公司, 上海北玻玻璃技術工業有限公司, 洛陽北方玻璃技術股份有限公司