玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置制造方法
【專利摘要】本發明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置可抑制經由成形體的支撐部件而釋放的成形體的熱量，且抑制由成形體的熱蠕變特性所引起的變形。本發明的玻璃板的制造方法是使熔融玻璃從成形體(52)的上端面溢出并分流，在成形體(52)的下端合流而連續成形玻璃板的玻璃板的制造方法。成形體(52)介隔支撐部件(54a、54b)及絕熱部件(56a、56b)，而在對成形體(52)的長度方向的兩端面施加長度方向的力的狀態下設置。支撐部件(54a、54b)與成形體(52)接觸。絕熱部件(56a、56b)不與成形體(52)接觸，而與支撐部件(54a、54b)接觸。絕熱部件(56a、56b)具有較支撐部件(54a、54b)小的熱傳導率，且具有50MPa以上的壓縮強度。
【專利說明】玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置。
【背景技術】
[0002]液晶顯示器及等離子顯示器等平板顯示器(FPD, flat panel display)中所使用的玻璃板要求表面具有較高的平坦度。通常，這樣的玻璃板由溢流下拉(overflow downdraw)法制造。溢流下拉法中，如專利文獻I (美國專利第3，338，696號)所記載,流入成形體并溢出的熔融玻璃沿著成形體的外表面流下，在成形體的下端合流，一面被向下方拉伸一面成形為帶狀的玻璃。
[0003]溢流下拉法中，成形體設置在成形爐內的高溫的環境下。另外，成形體中施加有由自重及玻璃的重量所引起的荷重。因此，成形體的長度方向的中央部容易因熱蠕變特性而向下方垂下。尤其，近年來，玻璃的大型化進展，成形體具有在長度方向變長的傾向，因此，由熱蠕變特性引起的垂下變得更為顯著。
[0004]為了解決該問題，如專利文獻2(日本專利特開昭46-34437號公報)所記載，使用在從成形體的長度方向的兩端，將長度方向的力施加于成形體的狀態下，支撐成形體的方法。該方法中，成形體是在由支撐塊及耐火絕緣磚支撐的狀態下，被賦予長度方向的壓縮力，因此起因于熱蠕變特性的變形得到抑制。
[0005]另外，溢流下拉法中，成形體的溫度分布對從成形體的下端連續成形的玻璃板的品質帶來較大影響。優選成形體尤其在它的長度方向不具有較高的溫度差。此處，在對成形體施加長度方向的壓縮力而支撐成形體的所述方法中，如果經由成形體的支撐部件而向爐外釋放的成形體的熱量較大，那么成形體的長度方向的溫度差擴大，對玻璃的品質帶來影響。具體來說，成形體的溫度差使沿著成形體的表面流下的熔融玻璃的溫度差產生，熔融玻璃的溫度差使成形的玻璃板的厚度差產生。即，成形體的溫度差對玻璃板的板厚偏差帶來影響。另外，成形體的溫度分布也對成形爐內的環境的溫度分布帶來影響。成形爐內的溫度分布也與成形體的溫度差同樣地，對玻璃板的板厚偏差帶來影響。另外，為了補償向爐外釋放的成形體的熱量，必須從成形爐的外部向成形體供給熱。為了解決該問題，專利文獻2中，成形體由耐火絕緣磚而支撐。
[0006][【背景技術】文獻]
[0007][專利文獻]
[0008][專利文獻I]美國專利第3，338，696號
[0009][專利文獻2]日本專利特開昭46-34437號公報
【發明內容】
[0010][發明所要解決的問題]
[0011]此處，為了施加長度方向的壓縮力而支撐成形體的部件必須具有充分的壓縮強度。然而，一般來說，具有較高的壓縮強度的磚由于熱傳導率較大，而容易釋放爐內的熱。相反，專利文獻2所記載的耐火絕緣磚雖然熱傳導率較小，但不具有充分的壓縮強度，因此無法對成形體施加充分的壓縮力。在對成形體施加必要充分的壓縮力時，產生耐火絕緣磚被破壞的較高的危險。
[0012]本發明的目的在于提供一種可抑制經由成形體的支撐部件而釋放的成形體的熱量，且抑制由成形體的熱蠕變特性所引起的變形的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置。
[0013][解決問題的技術手段]
[0014]本發明的玻璃板的制造方法是使熔融玻璃從成形體的上端面溢出并分流，在成形體的下端合流而連續成形玻璃板的玻璃板的制造方法。成形體介隔支撐部件及絕熱部件，在對成形體的長度方向的兩端面施加長度方向的力的狀態下設置。支撐部件與成形體接觸。絕熱部件不與成形體接觸，而與支撐部件接觸。絕熱部件具有較支撐部件小的熱傳導率，且，具有50MPa以上的壓縮強度。
[0015]本發明的玻璃板的制造方法中，溢流下拉法中所使用的成形體在從成形體的長度方向的兩端施加長度方向的力的狀態下，設置在成形爐內。成形體的長度方向的中央部具有起因于熱蠕變特性而容易向下方垂下的傾向。因此，通過對成形體施加長度方向的壓縮力，而抑制成形體的變形。另外，成形體介隔支撐部件及絕熱部件而設置在成形爐內。具體來說，成形體由一對支撐部件，在長度方向的兩端夾著。一對支撐部件進而由一對絕熱部件，在長度方向的兩端夾著。成形體介隔一對支撐部件及一對絕熱部件，由設置在成形爐外的壓縮機構而施加長度方向的壓縮力。由于絕熱部件的熱傳導率較小，所以成形爐內的環境的熱及成形體的熱不易沿 著絕熱部件而向成形爐的外部釋放。因此，利用絕熱部件，而良好地保持成形體及成形爐內的環境的溫度分布。另外，因從成形爐的內部釋放的熱而成形體的壓縮機構的溫度過度上升而超過壓縮機構的耐熱溫度，壓縮機構破損的情況可由絕熱部件來避免。另外，絕熱部件具有50MPa以上的壓縮強度，可充分耐受對成形體施加的長度方向的壓縮力。因此，起因于熱蠕變特性的成形體的變形得到充分抑制。此外，優選絕熱部件包含云母。
[0016]另外，本發明的玻璃板的制造方法中，優選絕熱部件具有2W/(m*K)以下的熱傳導率。此時，絕熱部件具有充分低的熱傳導率，因此可更有效地抑制成形體及成形爐內的熱向爐外釋放。
[0017]另外，本發明的玻璃板的制造方法中，優選絕熱部件具有550°C (JIS C2116:1982)以上的耐熱溫度。絕熱部件的耐熱溫度越高，絕熱部件的設置場所的制約越少，因此可使絕熱部件與更高溫的支撐部件接觸而設置。由此，可通過使接近成形體的高溫側的絕熱部件的厚度增加等，而提高絕熱性能。
[0018]絕熱部件由與支撐部件不同種類的材料而成形。絕熱部件的壓縮強度為50MPa~1000MPa時，絕熱部件可充分耐受對成形體施加的長度方向的壓縮力，因此起因于熱蠕變特性的成形體的變形充分得到抑制。絕熱部件的壓縮強度更優選為IOOMPa~lOOOMPa，進而優選為200MPa~lOOOMPa。絕熱部件的壓縮強度的測定方法為JIS K6911:2006。
[0019]另外，絕熱部件的熱傳導率優選為OW/(m.K)~2W/(m.K)。此時，由于絕熱部件具有充分低的熱傳導率，因此可更 有效地抑制成形體及成形爐內的熱向爐外釋放的情況。絕熱部件的熱傳導率更優選為OW/(m.K)~IW/(m.K)，進而優選為OW/(m.K)~0.5W/(m.K)。絕熱部件的熱傳導率的測定方法為常溫下的激光閃光法。
[0020]另一方面，優選支撐部件為具有較高的耐火性能與較大的壓縮強度的磚塊。用作支撐部件的磚塊的壓縮強度為300MPa左右(JIS R2206-1:2007)，磚塊的熱傳導率為4.0W/(m.K)左右(JIS R2616:2001)。另外，具有較高的絕熱性的絕熱磚的壓縮強度為4MPa左右(JIS R2206-1:2007)，絕熱磚的熱傳導率為 0.35W/(m*K)左右(JIS R2616:2001)。即，絕熱部件具有較支撐部件更小的熱傳導率。另外，絕熱部件具有較絕熱磚更大的壓縮強度。
[0021]此外，絕熱部件必須設置在不超過它的耐熱溫度的場所。例如，可通過增加支撐部件的厚度，或者將支撐部件在厚度方向分割為多個而在它們之間夾著陶瓷纖維紙，來阻礙各接觸面的熱傳導，而實現所述情況。
[0022]本發明的玻璃板的制造方法是使熔融玻璃從成形體的上端面溢出并分流，在成形體的下端合流而連續成形玻璃板的玻璃板的制造方法。成形體介隔支撐部件及絕熱部件，而在對成形體的長度方向的兩端面施加長度方向的力的狀態下設置。支撐部件與成形體接觸。絕熱部件不與成形體接觸，而與支撐部件接觸。絕熱部件包含云母。
[0023]本發明的玻璃板的制造方法中，為了將成形體及成形爐內的熱不易向爐外釋放而使用的絕熱部件包含云母。例如，包含云母的陶瓷具有較高的耐熱性、較低的熱傳導率及較高的壓縮強度，作為絕熱部件具有優異的性質。因此，通過使用包含云母的絕熱部件，可更有效地達成不易將成形爐內的熱向爐外釋放的效果、及抑制起因于熱蠕變特性的成形體的變形的效果。
[0024]本發明的玻璃板的制造方法中，優選玻璃板為平板顯示器用玻璃基板，另外，優選為低溫多晶硅用玻璃基板。
[0025]本發明的玻璃板的制造裝置包括成形體、支撐部件、及絕熱部件。成形體是用以使熔融玻璃溢出并分流，在下方合流而連續成形玻璃板的部件。支撐部件與成形體接觸。絕熱部件不與成形體接觸，而與支撐部件接觸。成形體介隔支撐部件及絕熱部件，而在對成形體的長度方向的兩端面施加長度方向的力的狀態下設置。絕熱部件具有較支撐部件小的熱傳導率，且，具有50MPa以上的壓縮強度。
[0026][發明的效果]
[0027]本發明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置可抑制經由成形體的支撐部件而釋放的成形體的熱量，且抑制由成形體的熱蠕變特性所引起的變形。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0028]圖1是實施方式的玻璃板制造裝置的整體構成圖。
[0029]圖2是表示設置在成形爐內的成形體的圖。
[0030]圖3是成形體的剖視圖。
[0031][符號的說明]
[0032]52 成形體
[0033]54a左支撐部件(支撐部件)
[0034]54b右支撐部件(支撐部件)
[0035]56a左絕熱部件(絕熱部件)
[0036] 56b右絕熱部件(絕熱部件)【具體實施方式】
[0037](I)玻璃板制造裝置的整體構成
[0038]一面參照圖式，一面對本發明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置的實施方式進行說明。圖1是表示本實施方式的玻璃板制造裝置200的構成的一例的模式圖。玻璃板制造裝置200包括:熔解槽40、澄清槽41、攪拌裝置100、成形裝置42、及導管43a、43b、43c。導管43a將熔解槽40與澄清槽41連接。導管43b將澄清槽41與攪拌裝置100連接。導管43c將攪拌裝置100與成形裝置42連接。
[0039]熔解槽40中產生的熔融玻璃通過導管43a流入至澄清槽41。澄清槽41中澄清的熔融玻璃通過導管43b流入至攪拌裝置100。攪拌裝置100中攪拌的熔融玻璃通過導管43c流入至成形裝置42。成形裝置42中，利用溢流下拉法而由熔融玻璃成形玻璃帶。玻璃帶在之后的步驟中被切斷為特定的大小，而制造玻璃板。玻璃板的寬度方向的尺寸例如為500mm~3500mm。玻璃板的長度方向的尺寸例如為500mm~3500mm。
[0040]由本發明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造裝置而制造的玻璃板作為液晶顯示器、等離子顯示器、有機EL(Electroluminescence,電致發光)顯示器等的平板顯示器(FPD)用的玻璃基板特別適合。作為FH)用的玻璃基板，可使用無堿玻璃、或含有微量堿的玻璃。FH)用的玻璃基板的高溫粘性較高。具體來說，具有IO2 5泊的粘性的熔融玻璃的溫度為1500°C以上。高溫粘性較高的玻璃必須使成形時的溫度變高，因此下述由熱蠕變特性所引起的變形更為顯著。
[0041]熔解槽40中雖未圖示，但具備燃燒器等加熱機構。熔解槽40中，由加熱機構將玻璃原料熔解，而產生熔融玻璃。玻璃原料是以實質上可獲得所期望的組成的玻璃的方式而制備。作為玻璃的組成的一例，作為Fro用的玻璃基板而較好的無堿玻璃含有=SiO2:50質量％~70質量Al2O3:0質量％~25質量％,B203:1質量％~15質量MgO:0質量％~10質量CaO:0質量％~20質量SrO:0質量％~20質量BaO:0質量％~10質量％。此處，MgO, CaO, SrO及BaO的合計的含量為5質量％~30質量％。
[0042]另外，作為FPD用的玻璃基板,也可使用包含微量堿金屬的含有微量堿的玻璃。含有微量堿的玻璃中，作為成分，包含0.1質量％~0.5質量％的R' 20，優選為包含0.2質量％~0.5質量％的1?' 20o此處，R'為選自L1、Na及K中的至少I種。此外，R' 20的含量的合計也可為未達0.1質量％。
[0043]另外，由本發明制造的玻璃除了包含所述成分以外，也可進而含有SnO2:0.01質量％~I質量％ (優選為0.01質量％~0.5質量％ ), Fe2O3:0質量％~0.2質量％ (優選為0.01質量％~0.08質量％ )，考慮環境負荷，也可實質上不含有As203、Sb2O3及PbO。
[0044]將以所述方式制備的玻璃原料投入至熔解槽40中。熔解槽40中，玻璃原料以對應于它的組成等的溫度而熔解。由此，熔解槽40中，例如，獲得1500°C~1600°C的高溫的熔融玻璃。
[0045]熔解槽40中所獲得的熔融玻璃從熔解槽40通過導管43a流入至澄清槽41。澄清槽41中雖未圖示，但與熔解`槽40同樣地設置著加熱機構。澄清槽41中，通過使熔融玻璃進一步升溫而澄清。例如，澄清槽41中，熔融玻璃的溫度為1550°C以上，進而上升至1600°C以上。熔融玻璃通過升溫而澄清，且熔融玻璃中所包含的微小的泡被去除。[0046]澄清槽41中被澄清的熔融玻璃從澄清槽41通過導管43b流入至攪拌裝置100。熔融玻璃通過導管43b時被冷卻。攪拌裝置100中，以較澄清槽41中的溫度更低的溫度，來攪拌熔融玻璃。例如，攪拌裝置100中，熔融玻璃的溫度冷卻至1250°C~1450°C為止。此外，攪拌裝置100中，熔融玻璃的粘度例如為500泊~1300泊。熔融玻璃在攪拌裝置100中被攪拌并均質化。
[0047]攪拌裝置100中被均質化的熔融玻璃從攪拌裝置100通過導管43c流入至成形裝置42。熔融玻璃通過導管43c時進一步被冷卻，且冷卻至適合成形的粘度為止。熔融玻璃被冷卻至例如1200°C附近。成形裝置42中，由溢流下拉法而成形熔融玻璃。具體來說，流入至成形裝置42中的熔融玻璃被供給至設置在成形爐50內的成形體52。成形體52由耐火磚而成形，且具有楔狀的截面形狀。在成形體52的上表面，沿著成形體52的長度方向而形成著槽。熔融玻璃被供給至成形體52的上表面的槽。從槽溢出的熔融玻璃沿著成形體52的一對側面向下方流下。沿著成形體52的側面流下的一對熔融玻璃在成形體52的下端合流，連續地成形玻璃帶。玻璃帶隨著朝向下方而逐漸被冷卻，然后，被切斷為所期望的大小的玻璃板。 [0048](2)成形體的構成
[0049]圖2是表示設置在成形爐50內的成形體52的概略圖。在圖2中，成形體52的長度方向為左右方向。以下，“長度方向”是指成形體52的長度方向。成形體52具有主體52a、供給熔融玻璃的上表面槽52b、及成形體52的長度方向的端面52c。圖3是圖2的II1-1II線的成形體52的剖視圖。圖3中表示著從成形體52的上表面槽52b溢出并流下的一對熔融玻璃在成形體52的下端合流，而成形玻璃帶的狀況。
[0050]如圖2所示，成形體52介隔一對支撐部件54a、54b、及一對絕熱部件56a、56b，而固定在成形爐50的爐壁50a。以下，將圖2中左側所示的支撐部件稱為左支撐部件54a，將圖2中右側所示的支撐部件稱為右支撐部件54b。另外，將圖2中左側所示的絕熱部件稱為左絕熱部件56a，將圖2中右側所示的絕熱部件稱為右絕熱部件56b。
[0051]左支撐部件54a與成形體52及左絕熱部件56a接觸。左絕熱部件56a與左支撐部件54a接觸，但不與成形體52接觸。左支撐部件54a在成形體52的端面52c中，與成形體52接觸。左支撐部件54a在與成形體52的端面52c接觸的面所對向的面中，與左絕熱部件56a接觸。以上的說明也同樣地適用于右支撐部件54b及右絕熱部件56b。
[0052]成形體52在對長度方向的兩側的端面52c施加長度方向的力的狀態下，設置在成形爐50內。即，如圖2所示，成形體52中施加著在長度方向壓縮成形體52的壓縮力F。
[0053]右支撐部件54b及右絕熱部件56b由右端板58b而固定在長度方向。右絕熱部件56b在與右支撐部件54b接觸的面所對向的面中，與右端板58b接觸。右端板58b連結于位置調節機構60。位置調節機構60可根據成形體52及成形爐50的尺寸的微小的變化，而將右端板58b的位置在長度方向進行微調整。右支撐部件54b、右絕熱部件56b及右端板58b由成形爐50的爐壁50a而支撐。右支撐部件54b插入至形成在爐壁50a的孔中。
[0054]左支撐部件54a及左絕熱部件56a由左端板58a支撐在長度方向上。左絕熱部件56a在與左支撐部件54a接觸的面所對向的面中，與左端板58a接觸。左端板58a連結于成形體壓縮機構62。左支撐部件54a、左絕熱部件56a及左端板58a由成形爐50的爐壁50a而支撐。左支撐部件54a插入至形成在爐壁50a的孔中。[0055]成形體壓縮機構62沿著長度方向將左端板58a朝向成形體52按壓，由此可對成形體52施加壓縮力F。本實施方式中，成形體壓縮機構62設置在成形爐50的外部，且具有氣缸62a與活塞62b。利用氣缸62a內部的空氣壓力，而活塞62b可朝向成形體52在長度方向上移動。成形體壓縮機構62可通過使氣缸62a內部的空氣壓力變化，而調節對成形體52所施加的壓縮力F。[0056]支撐部件54a、54b是具有較高的耐熱性與較高的壓縮強度的磚塊。絕熱部件56a、56b是具有較支撐部件54a、54b低的熱傳導率，且具有較高的壓縮強度及較高的耐熱性的部件。具體來說，絕熱部件56a、56b具有2W/(m*K)以下的熱傳導率，且具有50MPa以上的壓縮強度，且具有550°C以上的耐熱溫度。
[0057]絕熱部件56a、56b的優選例為包含云母的絕熱材料。例如，由達馬550L(股份有限公司岡部云母工業所制)、達馬700L(股份有限公司岡部云母工業所制)、或云母陶瓷TMC-110 (日本特殊陶業股份有限公司制)而成形的塊從熱傳導率、耐熱性及壓縮強度的觀點考慮，優選作為絕熱部件56a、56b。
[0058](3)特征
[0059](3-1)
[0060]本實施方式的玻璃板制造裝置200中，由溢流下拉法所形成的玻璃帶的成形所使用的成形體52，如圖2所示，在對長度方向的兩側的端面52c施加長度方向的壓縮力F的狀態下，設置在成形爐50的內部。
[0061]成形體52設置在成形爐50內的高溫的環境下，且在成形體52中，施加著由自重及玻璃帶的重量所引起的荷重。因此，成形體52的長度方向的中央部具有因熱蠕變特性而容易向下方垂下的傾向。由于成形體52的下端為連續地成形玻璃帶的點，因此起因于熱蠕變特性的成形體52的變形可能會對所制造的玻璃板的品質帶來影響。
[0062]另外，成形體52的溫度分布對從成形體52的下端連續成形的玻璃板的品質帶來較大的影響。具體來說，成形體52的長度方向的溫度差使沿著成形體52的表面流下的熔融玻璃的長度方向的溫度差產生。熔融玻璃的長度方向的溫度差使所成形的玻璃板的長度方向的厚度差產生。即，成形體52的長度方向的溫度差對玻璃板的板厚偏差帶來影響。另外，成形體52的溫度分布也對成形爐50內的環境的溫度分布帶來影響。成形爐50內的環境的長度方向的溫度差也與成形體52的長度方向的溫度差同樣地,對玻璃板的板厚偏差帶來影響。
[0063]本實施方式中，通過對成形體52施加長度方向的壓縮力F，而抑制起因于熱蠕變特性的成形體52的變形。壓縮力F為將成形體52在長度方向壓縮的力，可抑制成形體52的長度方向的中央部向下方垂下的變形。
[0064]另外，成形體52介隔支撐部件54a、54b及絕熱部件56a、56b,被支撐在成形爐50的內部。如圖2所示，成形體52在長度方向的兩側，由一對支撐部件54a、54b夾著，進而，由一對絕熱部件56a、56b夾著。絕熱部件56a、56b具有2W/(m*K)以下的較低的熱傳導率，因此，成形爐50內的環境的熱、及成形體50的熱不易沿著絕熱部件56a、56b而向成形爐50的外部釋放。因此，利用絕熱部件56a、56b，可防止成形體52及成形爐50內的溫度分布的惡化。具體來說，利用絕熱部件56a、56b，而成形體52的長度方向的溫度差降低，由此，成形爐50內的環境的長度方向的溫度差也降低。因此，絕熱部件56a、56b具有減少從成形體52的下端成形的玻璃板的長度方向的厚度差的效果。
[0065]另外，利用絕熱部件56a、56b，可避免因從成形爐50的內部釋放的熱而設置在成形爐50的外部的成形體壓縮機構62破損。具體來說，可避免成形體壓縮機構62的氣缸62a的襯墊因熱而劣化,無法維持密封性能。
[0066]另外，絕熱部件56a、56b具有50MPa以上的壓縮強度，因此，可充分耐受由成形體壓縮機構62對成形體50所施加的長度方向的壓縮力F。因此，也可使用絕熱部件56a、56b，充分抑制起因于熱蠕變特性的成形體50的變形。
[0067](3-2)
[0068]在FPD用的玻璃基板的表面形成TFT(thin film transistor,薄膜晶體管)等的半導體元件。近年來，為了實現顯示器裝置的進一步的高精細化，要求代替以往的α -Si.TFT，將低溫p-Si (多晶硅).TFT、及氧化物半導體形成在玻璃基板的表面的技術。
[0069]然而，將低溫p-Si.TFT、及氧化物半導體形成在玻璃基板的表面的步驟與將α -Si.TFT形成在玻璃基板的表面的步驟相比，需要更高溫的熱處理。因此，將低溫P-Si.TFT、及氧化物半導體形成在表面的玻璃板，要求熱收縮率較小的性質。為了使熱收縮率減小，優選為提高玻璃的應變點。然而，應變點高的玻璃具有液相溫度變高，液相溫度下的粘度即液相粘度變低的傾向。另外，為了防止玻璃的失透，必須使成形時的熔融玻璃的溫度較α -Si.TFT用玻璃基板的成形時的熔融玻璃的溫度更高，因此，必須使成形爐內部的環境更高溫。因此，在將低溫P-Si.TFT、及氧化物半導體形成在表面的玻璃基板的制造步驟中，起因于成形體的熱 蠕變特性的變形變得更為顯著。
[0070]本實施方式的玻璃板制造裝置200通過使用具有所述特征的絕熱部件56a、56b來支撐成形體52，而特別適合于采用低溫p-S1-TFT的平板顯示器、及采用氧化物半導體的平板顯示器用的玻璃基板的制造。具體來說，特別適合于采用低溫P-S1-TFT的液晶顯示器、及采用氧化物半導體的液晶顯示器用的玻璃基板的制造。
[0071]將低溫p-Si *TFT、及氧化物半導體形成在表面的玻璃板例如具有655°C以上的應變點，或，具有45000泊以上的液相粘度。另外，該玻璃板的組成優選為SiO2:52質量％~78質量Al2O3:3質量％~25質量B2O3:1質量％~15質量RO:3質量％~20質量％。此處，R為玻璃板中含有的選自Mg、Ca、Sr及Ba中的至少I種的成分。該玻璃板優選為以(Si02+Al203)/B203所表示的質量比為7~20的無堿玻璃或含有微量堿的玻璃。
[0072]將低溫p-Si.TFT、及氧化物半導體形成在表面的玻璃板為了具有較高的應變點，而以(Si02+Al203)/RO所表示的質量比為5以上，優選為6以上，進而優選為7.5以上。另外，該玻璃板如果β-OH值過小，那么高溫區域中的粘性變高而熔解性降低，另外，也需要特殊的環境控制而成本變高。另一方面，該玻璃板如果β-OH值過大，那么應變點變低。因此，該玻璃板優選為具有0.05/mm~0.3/mm的β-OH值。另外，該玻璃板為了具有較高的應變點且防止液相粘度的降低，而以Ca0/R0表示的質量比為0.3以上，優選為0.5以上，更優選為0.65以上。另外 ，考慮環境負荷，該玻璃板優選為實質上不含有As203、Sb203及PbO。
【權利要求】
1.一種玻璃板的制造方法，其使熔融玻璃從成形體的上端面溢出并分流，在所述成形體的下端合流而連續成形玻璃板， 所述成形體介隔與所述成形體接觸的支撐部件、及不與所述成形體接觸而與所述支撐部件接觸的絕熱部件，在對所述成形體的長度方向的兩端面施加所述長度方向的力的狀態下設置， 所述絕熱部件具有較所述支撐部件小的熱傳導率，且具有可充分耐受對所述成形體所施加的所述長度方向的壓縮力的壓縮強度。
2.根據權利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中 所述絕熱部件具有2W/(m*K)以下的熱傳導率。
3.根據權利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中 所述絕熱部件具有550°C以上的耐熱溫度。
4.根據權利要求2所述的玻璃板的制造方法，其中 所述絕熱部件具有550°C以上的耐熱溫度。
5.一種玻璃板的制造方法，其使熔融玻璃從成形體的上端面溢出并分流，在所述成形體的下端合流而連續成形玻璃板， 所述成形體介隔與所述成形體接觸的支撐部件、及不與所述成形體接觸而與所述支撐部件接觸的絕熱部件，在對所述成形體的長度方向的兩端面施加所述長度方向的力的狀態下設置， 所述絕熱部件包含云母。
6.根據權利要求1至5中 任一項所述的玻璃板的制造方法，其中 所述玻璃板為平板顯示器用玻璃基板。
7.根據權利要求1至5中任一項所述的玻璃板的制造方法，其中 所述玻璃板為低溫多晶硅用玻璃基板。
8.根據權利要求6所述的玻璃板的制造方法，其中 所述玻璃板為低溫多晶硅用玻璃基板。
9.一種玻璃板的制造裝置，其包括: 成形體，用以使熔融玻璃溢出并分流，在下方合流而連續成形玻璃板； 支撐部件，與所述成形體接觸 '及 絕熱部件，不與所述成形體接觸而與所述支撐部件接觸； 所述成形體介隔所述支撐部件及所述絕熱部件，而在對所述成形體的長度方向的兩端面施加所述長度方向的力的狀態下設置， 所述絕熱部件具有較所述支撐部件小的熱傳導率，且具有可充分耐受對所述成形體所施加的所述長度方向的壓縮力的壓縮強度。
【文檔編號】C03B17/06GK103663933SQ201310378504
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年8月27日 優先權日:2012年8月30日
【發明者】前田伸廣 申請人:安瀚視特控股株式會社