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一種節省鋼線的多晶硅片切割方法

文檔序號:1884264閱讀:301來源:國知局
一種節省鋼線的多晶硅片切割方法
【專利摘要】一種節省鋼線的多晶硅片切割方法,將切割鋼線從放線輪放出后經過前滑輪再從進線導輪進線在出線導輪出線,經過后滑輪纏繞在收線輪上,電器控制系統控制包括放線輪、進線導輪、出線導輪和收線輪的鋼線傳動機構帶動切割鋼線在進線導輪和出線導輪之間高速正反向間隔交替直線移動,對多晶硅錠進行切割,在切割過程中,由電器控制系統交替控制放線輪、進線導輪、出線導輪和收線輪的轉動方向;鋼線傳動機構按順時針轉動一個單位時間后,電器控制系統將鋼線傳動機構按逆時針轉動0.55~0.65個單位時間,如此循環進行,既能減少切割鋼線的用量,又能充分利用砂漿中的碳化硅切割顆粒的切割作用,從而節省了砂漿的用料,降低多晶硅片加工成本。
【專利說明】—種節省鋼線的多晶硅片切割方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種多晶硅片的加工技術,尤其涉及一種太陽能多晶硅片的切割工藝。
【背景技術】
[0002]太陽能多晶硅片是太陽能電池片的最主要原料。多晶硅片的常用生產方法為多線切割。多線切割是通過切片機來完成的,在切片機上設有滑輪組、放線輪、排線導輪和收線輪,切割鋼線從收線輪放出經滑輪組、排線導輪、由收線輪收卷,從而帶動切割鋼線作勻速直線移動,切割鋼線在快速移動時攜帶從砂漿簾中流下來的砂漿對晶棒進行打磨切割,從而將晶棒切割加工成硅片。在現有切割技術中,切割鋼線采用單向進線單向切割的方式,即鋼線由放線輪經過滑輪組從導輪頭部進線、在導輪尾部出線并進過滑輪組纏繞在收線輪上,切割鋼線進線方向單一,切割結束后收線輪上的切割鋼線不再重復使用,因此切割鋼線成本較高。

【發明內容】
:
[0003]本發明的目的是提供一種節省鋼線的多晶硅片切割方法,在多線切割硅片的過程中,采用正向進線大于反向進線的雙向進線切割的方式,它既能減少切割鋼線的用量,又能充分利用砂漿中的碳化硅切割顆粒的切割作用,從而節省了砂漿的用料,降低多晶硅片加工成本。
[0004]本發明采取的技術方案是:
[0005]一種節省鋼線的多晶硅片切割方法,其特征是:按現有技術將切割鋼線從放線輪放出后經過前滑輪再從進線導輪進線在出線導輪出線,然后經過后滑輪纏繞在收線輪上,由電器控制系統控制包括放線輪、進線導輪、出線導輪和收線輪的鋼線傳動機構帶動切割鋼線在進線導輪和出線導輪之間高速正反向間隔交替直線移動,高速移動的切割鋼線攜帶砂漿中碳化硅顆粒對多晶硅錠進行切割,在切割過程中,由電器控制系統交替控制放線輪、進線導輪、出線導輪和收線輪的轉動方向;在鋼線傳動機構按順時針轉動一個單位時間后,電器控制系統控制鋼線傳動機構按逆時針轉動0.55?0.65個單位時間,在鋼線傳動機構按順時針轉動過程中,切割鋼線從放線輪放線,由收線輪收線,鋼線傳動機構按逆時針轉動過程中,切割鋼線從收線輪放線,由放線輪收線,如此往復循環交替進行。
[0006]進一步,在上述節省鋼線的多晶硅片切割方法中,切割鋼線的切割速度為10.5-12.5m/s,多晶硅錠的進給速度為0.30-0.35mm/min,所述砂漿的密度為
1.625-1.635kg/L,砂漿的流量為85_95L/min,砂漿中碳化硅為多棱體顆粒,顆粒最大尺寸為8?9微米。
[0007]進一步,切割鋼線的切割速度為10.5-11.5m/s,多晶硅錠的進給速度為0.35mm/min,所述砂漿的密度為1.625kg/L,砂漿的流量為85L/min。
[0008]由于本發明在太陽能多晶硅片的切割過程中,采用這種切割鋼線正反向雙向交替進線切割方式,且正向進線大于反向進線,這樣不僅實現了切割鋼線的多次利用,而且能使得粘附在切割鋼線上的多棱體碳化硅顆粒能對多晶硅錠進行雙向切割,能充分利用粘附在切割鋼線上的多棱體碳化硅顆粒的切割作用,還有利于排屑,經實際切割加工試驗,采用本發明不僅能保證硅片的加工質量和加工效率,而且能夠節省切割鋼線35%?45%,砂漿用量可節省10%,折合多晶硅片的加工成本可降低0.08?0.10元/片,經濟效益十分顯著。
【專利附圖】

【附圖說明】:
[0009]圖1是多線切割機上切割鋼線的傳動機構的傳動路線示意圖;
[0010]圖中:1-放線輪;2_前滑輪;3_進線導輪;4_出線導輪;5_后滑輪;
[0011]6-收線輪;7-切割鋼線。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖詳細說明本發明的【具體實施方式】:
[0013]實施例1:
[0014]一種節省鋼線的多晶硅片切割方法,如圖1所示,按現有技術將切割鋼線7從放線輪I放出后經過前滑輪2再從進線導輪3進線在出線導輪4出線,然后經過后滑輪5纏繞在收線輪6上,由電器控制系統控制包括放線輪1、進線導輪3、出線導輪4和收線輪6的鋼線傳動機構帶動切割鋼線7在進線導輪3和出線導輪4之間高速正反向間隔交替直線移動,高速移動的切割鋼線7攜帶砂漿中碳化硅對多晶硅錠進行切割,在切割過程中,由電控制系統交替控制放線輪1、進線導輪3、出線導輪4和收線輪6的轉動方向;在放線輪1、進線導輪3、出線導輪4和收線輪6同步按順時針轉動一個單位時間后,控制系統控制放線輪1、進線導輪3、出線導輪4和收線輪6同步按逆時針轉動0.55?0.65個單位時間,保證放線輪每進線1000m,收線輪回線350-450m,回線比例為35_45%,在鋼線傳動機構按順時針轉動過程中,切割鋼線7從放線輪I放線,由收線輪6收線,鋼線傳動機構按逆時針轉動過程中,切割鋼線7從收線輪6放線,由放線輪I收線,如此往復循環交替進行,在多晶硅片切割過程中,切割鋼線7的切割速度為10.5-12.5m/s,多晶硅錠的進給速度為0.30-0.35mm/min,所述砂漿的密度為1.625-1.635kg/L,砂漿的流量為85_95L/min,砂漿中碳化硅為多棱體顆粒,顆粒最大尺寸為8?9微米。
【權利要求】
1.一種節省鋼線的多晶硅片切割方法,其特征是:按現有技術將切割鋼線(7)從放線輪(I)放出后經過前滑輪(2)再從進線導輪(3)進線在出線導輪(4)出線,然后經過后滑輪(5)纏繞在收線輪(6)上,由電器控制系統控制包括放線輪(I)、進線導輪(3)、出線導輪(4)和收線輪(6)的鋼線傳動機構帶動切割鋼線(7)在進線導輪(3)和出線導輪(4)之間高速正反向間隔交替直線移動,高速移動的切割鋼線(7)攜帶砂漿中碳化硅顆粒對多晶硅錠進行切割,在切割過程中,由電器控制系統交替控制放線輪(I)、進線導輪(3)、出線導輪(4)和收線輪(6)的轉動方向;在鋼線傳動機構按順時針轉動一個單位時間后,由電器控制系統控制鋼線傳動機構按逆時針轉動0.55?0.65個單位時間,在鋼線傳動機構按順時針轉動過程中,切割鋼線(7)從放線輪(I)放線,由收線輪(6)收線,鋼線傳動機構按逆時針轉動過程中,切割鋼線(7)從收線輪(6)放線,由放線輪(I)收線,如此往復循環交替進行。
2.根據權利要求1所述節省鋼線的多晶硅片切割方法,其特征是:切割鋼線(7)的切割速度為10.5-12.5m/s,多晶硅錠的進給速度為0.30-0.35mm/min,所述砂漿的密度為1.625-1.635kg/L,砂漿的流量為85_95L/min,砂漿中碳化硅為多棱體顆粒,顆粒最大尺寸為8?9微米。
3.根據權利要求2所述節省鋼線的多晶硅片切割方法,其特征是:切割鋼線(7)的切割速度為10.5-11.5m/s,多晶硅錠的進給速度為0.35mm/min,所述砂漿的密度為1.625kg/L,砂漿的流量為85L/min。
【文檔編號】B28D5/04GK103692563SQ201310618302
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年11月28日 優先權日:2013年11月28日
【發明者】王德明, 楊方, 談軍, 王慶峰, 陳遠峰 申請人:國電兆晶光電科技江蘇有限公司
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