專利名稱：鑷子的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體器件技術領域，特別涉及用于夾持晶圓樣品的鑷子。
背景技術：
在晶圓樣品的失效分析(failure analysis)中，當清潔、刻蝕以及干燥晶圓樣品 時通常需要使用鑷子夾持晶圓樣品以便操作。然而，現有鑷子的鑷臂較光滑，當有外力施加 到被夾持的晶圓樣品時，就有可能導致鑷子夾不緊該晶圓樣品進而使得該晶圓樣品掉落。 圖IA和圖IB分別為使用現有技術的鑷子夾持晶圓樣品以進行清潔和干燥的示意圖。圖IA 中，鑷子110用后端固定連接的兩個鑷臂夾持晶圓樣品120，并用水龍頭130對所述晶圓樣 品120沖水以進行清潔。在此過程中，如果水對所述晶圓樣品120的沖力很大，則很有可能 導致所述鑷子110夾不緊所述晶圓樣品120進而使得所述晶圓樣品120掉落。圖IB中，使 用氮氣槍(N2gim) 140產生氮氣流(blowing N2gas)以對所述晶圓樣品120進行干燥。在 此過程中，如果氮氣流對所述晶圓樣品120的沖力很大，則也很有可能導致所述鑷子110夾 不緊所述晶圓樣品120進而使得所述晶圓樣品120掉落。晶圓樣品從鑷子掉落后會導致污 染、損壞甚至丟失的發生，這將影響甚至中斷失效分析的進行。為了解決這個問題，現有技 術也作了一些改進。例如，使用流速較慢的水或者壓力較小的氮氣流以減少水或者氮氣流 對晶圓樣品的沖力，然而晶圓樣品掉落的情況還是經常發生。還有一種改進是在房形工具 (house-shapedtool)中進行晶圓樣品的干燥，這樣晶圓樣品只可能掉落在該房形工具中， 從而可以防止該晶圓樣品的丟失。然而這種改進也無法防止晶圓樣品的掉落。
實用新型內容有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種用于更有效地夾持晶圓樣品的鑷子。本實用新型提供了一種鑷子，用于夾持晶圓樣品，所述鑷子包括后端固定連接的 兩個鑷臂，其中，所述兩個鑷臂的前端分別形成有相互對應的凹槽，所述凹槽用于固定所述 晶圓樣品的兩端。可選的，所述凹槽的形狀為長方形。可選的，所述凹槽的長度為5 25mm，寬度為0. 70 1. OOmm,深度為0. 70 1. OOmm0與現有技術相比，本實用新型提供的鑷子，通過在鑷子的兩個鑷臂的前端分別形 成相互對應的凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓 樣品的掉落，避免了由晶圓樣品掉落導致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。
圖IA和圖IB分別為使用現有技術的鑷子夾持晶圓樣品以進行清潔和干燥的示意 圖；圖2為本實用新型的鑷子的結構示意3[0010]圖3為使用如圖2所示的鑷子夾持晶圓樣品的示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進一步的說明。本實用新型的核心思想在于，通過在鑷子的兩個鑷臂的前端分別形成相互對應的 凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓樣品的掉落。圖2為本實用新型的鑷子的結構示意圖。在圖2中，鑷子210包括后端固定連接 的兩個鑷臂211和212，所述兩個鑷臂211和212的前端分別形成有相互對應的凹槽213和 214。優選的，所述凹槽213和214的形狀為長方形。所述凹槽213和214的長度為5 25mm,寬度為 0. 70 1. OOmm,深度為 0. 70 1. OOmm0圖3為使用如圖2所示的鑷子夾持晶圓樣品的示意圖。在圖3中，用所述鑷子210 的分別形成于所述兩個鑷臂211和212的前端的凹槽213和214分別固定晶圓樣品120的 兩端，從而夾緊所述晶圓樣品120以防止所述晶圓樣品120的掉落，避免了由晶圓樣品掉落 導致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。綜上所述，本實用新型提供的鑷子，通過在鑷子的兩個鑷臂的前端分別形成相互 對應的凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓樣品的 掉落，避免了由晶圓樣品掉落導致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及 其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求一種鑷子，用于夾持晶圓樣品，所述鑷子包括后端固定連接的兩個鑷臂，其特征在于，所述兩個鑷臂的前端分別形成有相互對應的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圓樣品的兩端。
2.如權利要求1所述的鑷子，其特征在于，所述凹槽的形狀為長方形。
3.如權利要求2所述的鑷子，其特征在于，所述凹槽的長度為5 25mm，寬度為0.70 1. OOmm,深度為 0. 70 1. 00_。
專利摘要本實用新型公開了一種鑷子，用于夾持晶圓樣品，所述鑷子包括后端固定連接的兩個鑷臂，其中，所述兩個鑷臂的前端分別形成有相互對應的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圓樣品的兩端。本實用新型提供的鑷子，通過在鑷子的兩個鑷臂的前端分別形成相互對應的凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓樣品的掉落，避免了由晶圓樣品掉落導致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。
文檔編號B25B9/02GK201728602SQ201020201100
公開日2011年2月2日 申請日期2010年5月21日 優先權日2010年5月21日
發明者盧秋明, 朱熙, 李德勇, 李桂花, 胡強 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司