螺栓的防松裝置及其安裝方法以及安裝夾具的制作方法

專利名稱：螺栓的防松裝置及其安裝方法以及安裝夾具的制作方法
技術領域：
本發明涉及使用多根螺栓對被固定部件進行固定后的螺栓的防松裝置及用于安裝螺栓的防松裝置的安裝方法以及在該安裝方法中使用的安裝夾具。
背景技術：
已知一度被適當緊固的螺栓受到振動等的影響時會發生松弛，也提出了各種防止該松弛的螺栓的防松裝置或防松部件。例如，專利文獻I中，作為使用一對螺栓進行部件的安裝時的螺栓的防松部件，公開了ー種部件，包括板狀的主體；一體地設在主體上且以不能相對旋轉的方式嵌合在一方的螺栓的頭部上的第一嵌合部；一體地設在主體上且以不能相對旋轉的方式嵌合在另ー 方的螺栓的頭部上的第二嵌合部。另ー方面，專利文獻2中公開了ー種流體控制裝置，由多個上層部件(具有通路塊的流體控制儀器)以及多個下層部件(塊狀接頭)構成。該流體控制裝置也稱作集成流體控制裝置，是使用螺栓將通路塊固定在下層部件上的結構。在這樣的集成流體控制裝置中，為了維持密封性需要防止螺栓的松動，但由于在螺栓的周邊沒有充分的空間，因此，能夠設置在狹小空間內的螺栓的防松裝置及其安裝方法成為課題。專利文獻I :日本專利第3615738號公報專利文獻2 日本專利第4238453號公報根據上述的專利文獻I的螺栓的防松部件，雖然具有通過ー個部件就能夠進行防松的優點，但卻存在著部件的構造變得復雜、制造困難的問題，另外，存在以下問題在使第一嵌合部嵌合在一方的螺栓上的狀態下，使第二嵌合部嵌合在另一方的螺栓上的安裝作業較困難。因此，難以適用于上述的專利文獻2的流體控制裝置。

發明內容
本發明的目的在于，提供ー種部件的構造簡潔化、且能夠容易地進行安裝作業的螺栓的防松裝置及其安裝方法以及安裝夾具。基于本發明的螺栓的防松裝置，是使用多根螺栓將被固定部件進行固定后的螺栓的防松裝置，具有分別以不能相對旋轉的方式嵌合在多根螺栓的各頭部上的多個嵌合部件；橫跨多個嵌合部件地安裝且與各嵌合部件卡合的卡合部件。本發明所使用的螺栓可以為在JIS中被標準化的六角螺栓、四邊螺栓、帶六角孔螺栓等，另外，還能夠使用將頭部加工成非圓形的特殊形狀螺栓。在為JIS中被標準化的帶六角孔螺栓的情況下，優選為平紋的帶滾花螺栓。嵌合部件為例如板狀，內周面為與螺栓的外周形狀對應的形狀(在為六角螺栓用的情況下為六邊形)，并且，外周面為適宜的非圓形形狀(例如六邊形、方形等)。在為帶平紋的滾花的帶六角孔螺栓的情況下，嵌合部件的內周面為滾花狀。帶六角孔螺栓用的嵌合部件可以是在方形板狀部件的中央部分設有與六角孔嵌合的六棱柱狀凸部的結構。
卡合部件呈例如板狀或框狀，在卡合部件上設有與各嵌合部件的非圓形外周面的至少一部分卡合從而防止其移動的卡合部。卡合部為與嵌合部件的非圓形外周面對應的形狀(若嵌合部件為六邊形，則卡合部也為六邊形)。卡合部件的外形為方形、圓形等，優選為與安裝有螺栓的部分的形狀相應的形狀。卡合部件的外形更優選為通過安裝有螺栓的部件而被止轉的形狀。這里，嵌合部件的外周面以及卡合部件的各卡合部的“非圓形”為完全的圓形以外的形狀，是指在嵌合部件上安裝有卡合部件、且嵌合部件和卡合部件嵌合的情況下，相對不能旋轉的形狀。不過，嵌合部件和卡合部件的嵌合，無需如過盈配合(壓入)那樣在最初的嵌合狀態下不能相對旋轉，只要在相對旋轉吋，嵌合部件的外周面的一部分與卡合部件的卡合部的一部分卡合即可。即使在嵌合狀態下不是完全不能旋轉的情況下，若稍微松弛則發揮止轉功能，則在這以后，由于嵌合部件不能旋轉，所以，能夠發揮防松作用。總之，卡合部件只要能夠防止嵌合部件的旋轉(移動)即可，其形狀能夠與嵌合部件的形狀相配合地進行適當變更。
嵌合部件的非圓形外周面及卡合部件的卡合部的非圓形內周面除了六邊形、方形以外，還可以在圓形的外周面設置ー個或多個突起或切缺部。各嵌合部件能夠形成為在合成樹脂制板狀原材料上設置貫穿孔的形狀，能夠容易地制作。嵌合部件和螺栓頭部的嵌合不能相對旋轉(游隙實質上為零)，嵌合部件的旋轉被阻止，由此，螺栓的旋轉(松弛)被阻止。嵌合部件可以分別単獨地嵌合在螺栓上，所以，他們的嵌合能夠容易地進行。卡合部件能夠通過例如合成樹脂制并能夠彈性變形，由此，橫跨多個嵌合部件的嵌合能夠容易地進行。此外，卡合部件和嵌合部件的嵌合雖不能相對旋轉，但稍有游隙也可以。在具有游隙的情況下，嵌合部件能夠旋轉該游隙的量，與此相伴地，螺栓也能夠旋轉，但由于螺栓不能松弛到游隙以上程度，所以，能夠將松弛量設定為規定值以下(實質上為零)。游隙當然可以實質上為零，但通過設置某種程度的游隙，能夠更容易地進行卡合部件向嵌合部件的嵌合。多個嵌合部件通常形成為同一形狀，但不限于此。在嵌合部件全部為同一形狀的情況下，第一卡合部和第二卡合部可以為同一形狀，但不限于此，還可以增大第二卡合部，并在第二卡合部一方較大地取得上述的游隙。另外，第一卡合部和第二卡合部優選被分隔，但也可以沒有分隔部，而集中在如包括全部的嵌合部件那樣的一個卡合部中。優選地，卡合部件具有從ー側與多個嵌合部件的外周面相對的第一相對壁部；從另ー側與多個嵌合部件的外周面相對的第二相對壁部；將兩相對壁部連結的連結壁部。這樣，能夠容易地使橫跨多個嵌合部件被安裝的卡合部件的形狀簡單化且確保強度。卡合部件的各卡合部可以是具有與各嵌合部件的非圓形外周面對應的非圓形內周面且設在連結壁部上的卡合孔。另外，卡合部件的連結壁部具有通過嵌合在相鄰的嵌合部件之間而與第一相對壁部以及第二相對壁部一起形成卡合部的突出部。適用有本發明的螺栓的防松裝置的緊固結構(固定構造)不受限定，例如，適用于流體控制裝置的通路塊的固定構造。在該通路塊中，由于需要密封部，所以，在螺栓松弛的情況下，密封性降低，螺栓的防松極為重要。
在適用于流體控制裝置的通路塊的固定構造中時，優選地，各螺栓為在頭部周面上形成有平紋的滾花的帶六角孔螺栓，各帶六角孔螺栓使其頭部從被固定部件突出，并貫穿被固定部件，外周面形狀為方形且在內周面上形成有滾花的嵌合部件分別被嵌合在從被固定部件露出的各帶六角孔螺栓的頭部上，橫跨多個嵌合部件而被嵌合的卡合部件受到被固定部件止擋。
通路塊，例如，形成為長方體狀，形成有適當的形狀的流體通路，與此相伴，設有密封部。在安裝該通路塊時，以隔著密封部的方式配置有多根螺栓，由此確保其密封性，通路塊被安裝在支承部件上。通路塊可以僅作為ー個部件處理，另外，還可以一體地安裝在執行器上，由此而成為閥的通路形成部分。多根螺栓的具體數量為例如ー對(兩根)，還能夠為兩根以上，此時，多根螺栓無需以直線狀并列，配合螺栓的位置使卡合部件變形即可。上述的螺栓的防松裝置優選使用適當的安裝夾具(用于安裝嵌合部件的第一安裝夾具以及用于安裝卡合部件的第二安裝夾具)進行。第一技術方案的螺栓的防松裝置的安裝方法，其特征在干在使用具有保持嵌合部件的外周面的保持部以及與嵌合部件抵接從而相對于保持部能夠移動的推壓部的第一安裝夾具，而將嵌合部件保持在第一安裝夾具的保持部上的狀態下，將嵌合部件安裝在螺栓上，然后，使第一安裝夾具的推壓部移動，由此，將嵌合部件從第一安裝夾具的保持部拆下。根據本發明的螺栓的防松裝置的安裝方法，作為安裝嵌合部件時的空間，在螺栓的上方具有空間，但在螺栓的周邊(前后以及左右)沒有充分的空間的情況下，能夠可靠地將嵌合部件嵌合在螺栓上。另外，第二技術方案的螺栓的防松裝置的安裝方法，其特征在干預先在卡合部件上設置螺紋孔，使用具有與該螺紋孔螺合的外螺紋部的第二安裝夾具，將卡合部件螺合在第二安裝夾具上，在該狀態下，將第二安裝夾具以橫跨的方式向多個嵌合部件推壓，由此將卡合部件安裝在多個嵌合部件上。根據本發明的螺栓的防松裝置的安裝方法，作為安裝卡合部件時的空間，在螺栓以及嵌合部件的上方具有空間，但在螺栓以及嵌合部件的周邊(前后以及左右)沒有充分的空間的情況下，也能夠將卡合部件可靠地嵌合在嵌合部件上。本發明的第一安裝夾具，其特征在于，具有中空軸，在該中空軸的前端一體地設有保持嵌合部件的外周面的保持部；握持部，該握持部設在中空軸的基端部；內軸，在該內軸的前端一體地設有與嵌合部件抵接的推壓部，該內軸以能夠軸向移動的方式插入到中空軸內且基端部從中空軸突出。根據本發明的第一安裝夾具，在將嵌合部件嵌合在螺栓上后，能夠解決嵌合部件難以從第一安裝夾具拆下的問題。另外，第一技術方案的第二安裝夾具，其特征在于，具有軸體，在該軸體的前端具有與設在卡合部件上的螺紋孔螺合的外螺紋部；加強板，該加強板與卡合部件抵接，軸體以能夠相對旋轉的方式安裝在加強板上。根據第一技術方案的第二安裝夾具，由于能夠通過加強板矯正卡合部件的翹曲，所以，能夠順暢地進行將卡合部件安裝在多個嵌合部件上時的嵌合。
另外，第二技術方案的第二安裝夾具，其特征在于，包括帶加強板的軸體以及以能夠裝拆的方式安裝在其上的輔助軸體，帶加強板的軸體具有主軸體，該主軸體在前端具有與設在卡合部件的一端部上的螺紋孔螺合的外螺紋部；加強板，該加強板與卡合部件抵接，主軸體以能夠相對旋轉的方式安裝在加強板上，在加強板上，在一端部上設有供主軸體貫穿的貫穿孔，在另一端部上設有螺紋孔，輔助軸體在前端具有與加強板的螺紋孔螺合的外螺紋部。根據第二技術方案的第二安裝夾具，在被固定部件的上方存在妨礙第一技術方案的第二安裝夾具的插入的部分的情況下，通過使用該第二技術方案的第二安裝夾具，能夠避免干渉，并進行卡合部件的安裝。本發明的流體控制裝置，具有流體控制儀器，其具有作為多個上層部件的通路塊；塊狀接頭，其作為作為多個下層部件，該流體控制裝置是使用螺栓將通路塊固定在下層部件上的結構，其特征在干作為用于進行所述螺栓的防松的螺栓的防松裝置，具有上述任ー項的螺栓的防松裝置。
流體控制裝置具有流體控制儀器，其具有作為多個上層部件的通路塊；作為多個下層部件的塊狀接頭，在該流體控制裝置中，為了維持密封性需要防止螺栓的松弛，但由于在螺栓的周邊不具有充分的空間，因此，能夠設置在狹小的空間中的螺栓的防松裝置成為課題，通過具有上述的螺栓的防松裝置的流體控制裝置，能夠解決該課題。在具有收容被處理基板的處理容器和向所述處理容器內供給處理氣體的處理氣體供給部的基板處理裝置中，這樣的流體控制裝置優選作為設在所述處理氣體供給部內的流體控制裝置而被使用。發明的效果根據本發明的螺栓的防松裝置，具有分別以不能旋轉的方式嵌合在多根螺栓的各頭部的多個嵌合部件；橫跨多個嵌合部件而被安裝且與各嵌合部件卡合的卡合部件，所以，在各嵌合部件相對于各螺栓不能相對旋轉的狀態下，通過卡合部件防止各嵌合部件的旋轉，所以，能夠可靠地防止螺栓的松弛。這里，嵌合部件的內周面形成為與螺栓的外周形狀對應的形狀，并且，外周面形成為適當的非圓形形狀，卡合部件上可以設置與多個嵌合部件對應的卡合部，所以，能夠將各嵌合部件形成為在板狀的原材料上設有貫穿孔的形狀，能夠使制作容易。另外，嵌合部件可以分別単獨嵌合在螺栓上，所以，他們的嵌合容易，通過使卡合部件彈性變形，能夠容易地進行將卡合部件以橫跨嵌合部件的方式進行的嵌合。另外，根據本發明的螺栓的防松裝置的安裝方法，在作為安裝嵌合部件以及卡合部件時的空間，在螺栓的上方具有空間，但在螺栓的周邊(前后以及左右)沒有充分的空間的情況下，能夠將嵌合部件以及卡合部件可靠地嵌合在對應的螺栓以及嵌合部件上。另外，根據本發明的螺栓的防松裝置的安裝夾具，通過使用這些夾具，能夠順暢地實施上述螺栓的防松裝置的安裝方法。


圖I是表示本發明的螺栓的防松裝置的第一實施方式的立體圖，示出了安裝該防松裝置時的最初的狀態。
圖2是表示本發明的螺栓的防松裝置的第一實施方式的立體圖，示出了安裝該防松裝置時的中間的狀態。圖3是表示本發明的螺栓的防松裝置的第一實施方式的立體圖，示出了安裝了該防松裝置后的狀態。圖4是安裝了本發明的螺栓的防松裝置的狀態的俯視圖。圖5是表示本發明的螺栓的防松裝置的第二實施方式的立體圖，示出了安裝該防松裝置時的中間的狀態。圖6是表示本發明的螺栓的防松裝置的第二實施方式的立體圖，示出了安裝了該防松裝置后的狀態。圖7是表示本發明的螺栓的防松裝置的卡合部件的圖，圖7(a)是俯視圖，圖7 (b)是沿圖7(a)的b-b線的剖視圖。圖8是表示本發明的第一安裝夾具的立體圖。圖9是表示第一安裝夾具的主要部分的放大立體圖。圖10是表示本發明的第二安裝夾具的第一實施方式的立體圖。圖11是表示第一實施方式的第二安裝夾具的主要部分的放大立體圖。圖12是表示使用第一安裝夾具來安裝本發明的螺栓的防松裝置的方法的立體圖。圖13是表示使用第一實施方式的第二安裝夾具來安裝本發明的螺栓的防松裝置的方法的立體圖。圖14是表示本發明的第二安裝夾具的第二實施方式的立體圖。圖15是表示第二實施方式的第二安裝夾具的帶加強板的軸體的放大立體圖。圖16是表示第二實施方式的第二安裝夾具的主要部分的放大立體圖。圖17使表示使用第二實施方式的第二安裝夾具來安裝本發明的螺栓的防松裝置的方法的立體圖。圖18是表示作為以本發明的螺栓的防松裝置作為對象的裝置的I例的集成流體控制裝置的側視圖。附圖標記的說明'I 螺栓的防松裝置2、3嵌合部件2a、3a 嵌合孔2b、3b非圓形外周面 4 卡合部件5 螺栓5a 頭部周面6 第一相對壁部7 第二相對壁部8 連結壁部8a、8b卡合孔(卡合部)11 通路塊
12支承部件14卡合部件14a第一^^ 合部14b第二卡合部16第一相對壁部
17第二相對壁部18連結壁部18a下方突出部19、20 螺紋孔21第一安裝夾具22中空軸23保持部24握持部25內軸26推壓部31第二安裝夾具32軸體32a外螺紋部33加強板36第二安裝夾具37帶加強板的軸體38輔助軸體39a外螺紋部39主軸體40加強板40b螺紋孔
具體實施例方式參照以下

本發明的實施方式。在以下的說明中，上下是指圖18的上下，另外，將該圖的右稱為前、左稱為后，將該圖紙面表側稱為左、里側稱為右。圖18表示作為以本發明的螺栓的防松裝置作為對象的裝置的I例的集成流體控制裝置，該流體控制裝置的一條管線41由多個上層部件以及多個下層部件構成，作為上層部件，配置有開閉閥(手動)44、壓カ調節器45、壓カ傳感器46、倒V字狀通路塊47、阻斷開放器48、質量流量控制器49、開閉閥(自動)50、倒V字狀通路塊51以及過濾器52，并且，作為下層部件配置有配置在兩端的帶管接頭53的L字狀通路塊狀接頭54和將相鄰的上層部件彼此之間連通的V字狀通路塊狀接頭55。而且，作為下層部件的各種接頭部件54、55載置在一個細長的副基板43上，并且作為上層部件的各種流體控制儀器44、45、46、47、48、49、50、51、52以橫跨這些下層部件54、55的方式安裝，由此形成一條管線41，與該管線41為類似結構的多條管線并列地配置在主基板42上，并且，各管線41的阻斷開放器48彼此通過通路連接機構56而連接，由此，形成集成流體控制裝置。在上述的流體控制裝置中，在質量流量控制器49的兩側配置有通路塊49a、49b，這些通路塊49a、49b通過ー對螺栓57固定在下層的V字狀通路塊狀接頭55上。另外，作為上層部件的開閉閥(手動)44、壓カ調節器45、壓カ傳感器46、倒V字狀通路塊47、開閉閥(自動)50、倒V字狀通路塊51以及過濾器52分別具有通路塊44a、45a、46a、47a、50a、51a,52a,這些通路塊44a、45a、46a、47a、50a、51a、52a通過ー對或兩對螺栓57而固定在下層的通路塊狀接頭54、55上。在各通路塊44a、45a、46a、47a、49a、49b、50a、51a、52a上設有供螺栓57貫穿的貫穿孔，各螺栓57使其頭部從通路塊44a、45a、46a、47a、49a、49b、50a、51a、52a的上表面突出，其前端部與設在通路塊狀接頭54、55上的內螺紋部螺合。本發明的螺栓的防松裝置I的第一實施方式，是適用于上述的通路塊44a、45a、46a、47a、49a、49b、50a、51a、52a的固定構造等的結構，如圖I至圖4所示，適用于進行將通 路塊(被固定部件)11固定在支承部件12上的一對螺栓5的防松，該防松裝置I包括以不能相對旋轉的方式嵌合在各螺栓5的頭部上的左右一對嵌合部件2、3 ;橫跨一對嵌合部件2、3而嵌合的卡合部件4。各螺栓5是同一形狀的市售品(JIS標準產品)，是在頭部周面5a全周上形成有平紋的滾花(多根與軸向平行地延伸的凸條以及凹槽)的帶六角孔螺栓。嵌合部件2、3是在板狀體上形成有貫穿狀的嵌合孔2a、3a的部件，嵌合部件2、3的各外周面2b、3b形成為正方形(非圓形的I例)。在嵌合孔2a、3a的內周面上形成有與螺栓5的頭部周面5a的滾花對應的滾花(多根與軸向平行地延伸的凸條以及凹槽)。由此，嵌合部件2、3的嵌合孔2a、3a剛好與各螺栓5的頭部周面5a的滾花嵌合。卡合部件4具有從前側(ー側)與左右一對嵌合部件2、3的外周面相對的第一相對壁部6 ;從后側(另ー側)與一對嵌合部件2、3的外周面相對的第二相對壁部7 ;將兩相對壁部6、7連結的連結壁部8。在連結壁部8上形成有能夠分別與各嵌合部件2、3嵌合的方形的左(第一)、右(第二)卡合孔8a、8b。左卡合孔8a的內周面形成為與左側的嵌合部件2的方形外周面2b對應的方形，右卡合孔Sb的內周面形成為與右側的嵌合部件3的方形外周面3b對應的方形，由此，形成有作為卡合部的卡合孔8a、8b，其與各嵌合部件2、3的非圓形外周面的至少一部分卡合從而防止其移動。左卡合孔8a和右卡合孔8b之間通過分隔部8c而隔開。卡合部件4在嵌合在嵌合部件2、3上的狀態下，其上表面與嵌合部件
2、3的上表面相比稍稍位于上方。通過上述的螺栓的防松裝置I，在各嵌合部件2、3相對于各螺栓5不能相對旋轉的狀態下，能夠通過卡合部件4防止各嵌合部件2、3的旋轉，因此，能夠可靠地防止螺栓5的松弛。嵌合部件2、3的內周面形成為與螺栓5的外周形狀相對應的形狀，并且，外周面形成為適當的非圓形形狀，在卡合部件4上設有與各嵌合部件2、3對應的卡合孔8a、8b即可，所以，能夠將各嵌合部件2、3、4形成為在合成樹脂制的板狀體上設有貫穿孔的形狀，是制作容易的部件。嵌合部件2、3分別單獨嵌合在螺栓5上即可，因此各部件的嵌合容易。另外，卡合部件4是例如合成樹脂制的板狀體，由此，能夠彈性變形，向嵌合部件2、3的嵌合容易。
此外，在圖4中，示出了各嵌合部件2、3和各卡合孔8a、Sb之間的間隙大致為零的情況，但是，即使在各嵌合部件2、3和各卡合孔8a、8b之間稍微存在游隙，由于實質上通過卡合部件4防止各嵌合部件2、3的旋轉的效果不會降低，所以，螺栓5的防松的效果不會降低。因此，還可以通過取得較大的游隙從而使將卡合部件4嵌合在嵌合部件2、3上的作業
更容易。另外，作為各嵌合部件2、3和各卡合孔(卡合部)8a、8b,通過將卡合部形成為方形的孔8a、8b，由此，以周面的全部四個面進行抵接(四個面都發揮卡合面的作用)，不過，只要至少ー個面發揮卡合面的作用即可，所以，卡合部不限于方形的孔8a、8b。在圖5至圖7中，示出了嵌合部件2、3為與上述的部件相同形狀的情況下的卡合 部件的不同的實施方式。圖5中，卡合部件14具有從前側(ー側)與左右一對嵌合部件2、3的外周面相對的第一相對壁部16 ;從后側(另ー側)與一對嵌合部件2、3的外周面相對的第二相對壁部17 ;將兩相對壁部16、17連結的連結壁部18。連結壁部18的下表面被支承在各嵌合部件2、3的上表面上，在連結壁部18上還設有用于確認螺栓5的狀態的窗18b。在連結壁部18的下表面(內面)中的未被嵌合部件2、3的上表面支承的中間部分上，如圖7(b)所示，形成有嵌合在兩嵌合部件2、3之間的四棱柱狀的下方突出部18a。由此，在本實施方式中，通過兩相對壁部16、17的左部彼此以及下方突出部18a的左面，形成與左方的嵌合部件2的非圓形外周面的至少一部分卡合并防止其移動的第一卡合部14a，通過兩相對壁部16、17的右部彼此以及下方突出部18a的右面，形成與右方的嵌合部件3的非圓形外周面的至少一部分卡合并防止其移動的第二卡合部14b。根據本實施方式的卡合部件14,與卡合部形成為方形的孔8a、8b的卡合部件4相比，嵌合部件2、3的嵌合變得容易，另外，連結壁部18的厚度變厚，由此，強度提高，不易發生翹曲。此外，在作為基于本發明的以螺栓的防松裝置為對象的裝置的I例的集成流體控制裝置(圖18)中，例如，在將配置在質量流量控制器49的兩側的通路塊49a、49b通過ー對螺栓57固定在下層的V字狀通路塊狀接頭55上的情況下，在通路塊49a、49b的前后以及左右幾乎沒有作業空間，因此，需要通過從上方進行的作業來安裝上述的嵌合部件2、3、
4、14。這里，由于在通路塊49a、49b的前后以及左右沒有能夠供手插入程度的空間，所以，在進行各嵌合部件2、3、4、14的安裝時，優選使用圖8、圖9所示的第一安裝夾具21及圖
10、圖11所示的第一實施方式的第二安裝夾具31或圖14至圖16所示的第二實施方式的第二安裝夾具36構成的兩種夾具來進行。為了能夠使用上述第二安裝夾具31、36，如圖5至圖7所示，在卡合部件14的中央部以及兩端部上分別設有螺紋孔19、20。第一實施方式的第一安裝夾具21，如圖8以及圖9所示，具有中空軸22，在該中空軸22的前端一體地設有保持部23，該保持部23對嵌合部件2、3的外周面2b、3b進行保持；握持部24，該握持部24 —體地設在中空軸22的基端部；內軸25，在該內軸25的前端一體地設有與嵌合部件2、3的上表面抵接的推壓部26,該內軸25以能夠軸向移動的方式插入到中空軸22內且基端部從中空軸22突出。如圖9中 放大表示的那樣，保持部23通過前后壁27、28以及頂壁29形成為大致コ字狀，通過摩擦力將嵌合部件2、3保持在前后壁27、28間。前壁27包括與后壁28恰好相對并夾持嵌合部件2、3的外周面2b、3b的相對部27a ;與相對部27a的下方相連的下方突出部27b。下方突出部27b的外表面與相對部27a共面，下方突出部27b的內表面以如下方式形成當使保持嵌合部件2、3的第一安裝夾具21移動到安裝位置(將嵌合部件2、3安裝到各螺栓5上的位置)時，以向被固定部件即連結塊11的前表面引導的方式，與相對部27a的內表面相比凹陷地形成。如圖9(b)中放大表不的那樣,推壓部26包括板狀的方形部26a ;設在其下表面上的板狀的圓形部26b。圓形部26b形成為寬松地嵌合到嵌合部件2、3的內周面2a、3a內的大小。方形部26a的外周緣部形成為沿嵌合部件2、3的外周緣部的形狀。推壓部26由于與內軸25為一體，所以，通過使內軸25相對于中空軸22移動，該推壓部26能夠移動。推壓部26在以下兩個位置移動如圖9(a)所示、嵌合部件2、3被夾持在保持部23的前后壁27、28之間、該推壓部26與保持部23的頂壁29抵接的位置；如圖9 (b)所示、該推壓部26從保持部23的頂壁29離開并向下方(前壁27和后壁28的開ロ部側)移動由此使嵌合部件2、3從保持部23脫離的位置。如圖10以及圖11所示，第二安裝夾具31具有在前端具有外螺紋部32a的軸體32，該外螺紋部32a螺合在設在卡合部件14的中央部上的螺紋孔19中；與卡合部件14的上表面抵接的加強板33。在軸體32的上端部(基端部)一體地設有握持部32b，在軸體32的下端部(前端部)的與外螺紋部32a相比位于上方的部分上，設有對外螺紋部32a進行加強的凸緣部32c。在加強板33的下表面中央部設有凹部33a，軸體32使外螺紋部32a從加強板33的凹部33a底面突出，并以能夠相對旋轉的方式通過E環34安裝在加強板33上。外螺紋部32a的前端，在卡合部件14的安裝前以及結束時刻，位于不從加強板33 的下表面突出的位置。在將卡合部件14保持在第二安裝夾具31上時(圖11(b))，如圖11(a)所示，使卡合部件14與第二安裝夾具31相対，將卡合部件14的上表面推壓在加強板33的下表面上，在該狀態下，使軸體32旋轉，將外螺紋部32a螺合到卡合部件14的螺紋孔19中即可。如圖12所示那樣，使用第一安裝夾具21進行將嵌合部件2向螺栓5的安裝。首先，握持著在保持部23的前后壁27、28之間夾持有嵌合部件2的第一安裝夾具21的握持部24將其插入到連結塊11上方的空間中，使保持部23的前壁27的下方突出部27b沿著連結塊11的前表面，從而將嵌合部件2推抵在螺栓5上(圖12(a))。然后，邊對螺栓5的頭部和嵌合部件2以嵌合的方式進行微調整，邊將第一安裝夾具21向下方壓入(圖12(b))。接下來，通過將內軸25向下方推壓而使中空軸22相對地向上方移動(圖12 (C))。至此，嵌合部件2被推壓部26推壓因而從保持部23離開，并被安裝到螺栓5上。接著，使第一安裝夾具21向上方移動，由此完成該安裝(圖12(d))。關于嵌合部件3相對于右方的螺栓5的安裝，使用第一安裝夾具21以相同的方式進行。
如上所述地使用第一安裝夾具21進行將嵌合部件2、3向螺栓5的安裝，由此，即使是在作為安裝嵌合部件2、3時的空間，在螺栓5的上方具有空間但在螺栓5的周邊(前后以及左右)沒有充分的空間的情況下，也能夠使嵌合部件2、3可靠地嵌合在螺栓5上。另夕卜，嵌合部件2、3被推壓到推壓部26上并從保持部23離開，由此能夠防止將嵌合部件2、3嵌合在螺栓5上后嵌合部件2、3難以從第一安裝夾具21脫離的問題。如圖13所示那樣，使用第二安裝夾具31進行將卡合部件14向嵌合部件2、3的安裝。使卡合部件14與第二安裝夾具31螺合，握持著握持部32b將其插入到連結塊11上方的空間，并使其向下方移動(圖13(a))。接下來，邊對卡合部件14和一對嵌合部件2、3以嵌合的方式進行微調整，邊將第二安裝夾具31向下方壓入(圖13(b))。然后，使軸體32向解除螺合的方向旋轉，將螺合解除(圖13(c))，由此，第二安裝夾具31和卡合部件14分離，所以，僅使第二安裝夾具31向上方移動，由此完成該安裝。如上述那樣使用第二安裝夾具31進行卡合部件14向嵌合部件2、3的安裝，由此，即使是在作為安裝卡合部件14時的空間，在螺栓5以及嵌合部件2、3的上方具有空間但在螺栓5以及嵌合部件2、3的周邊(前后以及左右)沒有充分的空間的情況下，也能夠可靠地使卡合部件14嵌合在嵌合部件2、3上。另外，由于在第二安裝夾具31上設有加強板33，所以，通過使加強板33與卡合部件14抵接，能夠矯正卡合部件14的翹曲，能夠順暢地進行將卡合部件14安裝在一對卡合部件2、3上時的嵌合。在上述的圖13中，在連結塊11上方的空間中雖不存在妨礙第二安裝夾具31的插入的部分，但例如在圖18中，在附圖標記所示的質量流量控制器49的前后表面上設有通信線纜連接用的連接器，存在著無法插入圖10以及圖11所示的第二安裝夾具31的情況。圖14至圖16所示的第二實施方式的第二安裝夾具36是在連結塊11的左右的中央部的上方存在干渉的部分的情況下有用的夾具，包括帶加強板的軸體37以及以能夠裝拆的方式安裝在帶加強板的軸體37上的輔助軸體38。帶加強板的軸體37具有主軸體39，其形狀與圖10以及圖11所示的第一實施方式的第二安裝夾具31類似，在該主軸體39的前端具有與設在卡合部件14上的螺紋孔20螺合的外螺紋部39a ;加強板40，該加強班40與卡合部件14的上表面抵接。這里，帶加強板的軸體37與第一實施方式的第二安裝夾具31的不同點在于，在加強板40的端部安裝有主軸體39，在加強板40上，設有用于貫穿主軸體39的貫穿孔的凹部40a不位于中央部而是設在一端部，在另一端部設有螺紋孔40b。由此，相對于作為整體呈大致T字狀的第一實施方式的第二安裝夾具31，帶加強板的軸體37作為整體形成為大致L字狀。輔助軸體38在前端具有與加強板40的螺紋孔40b螺合的外螺紋部38a。除上述區別外，帶加強板的軸體37與第一實施方式的第二安裝夾具31同樣地形成，如圖14以及圖15所示，在主軸體39的基端部(上端部)一體地設有握持部3%。另夕卜，如圖16所示，在軸體39的前端部(下端部)中的比外螺紋部39a靠上方的部分上設有對外螺紋部39a進行加強的凸緣部39c，主軸體39使外螺紋部39a從加強板40的凹部40a底面突出，并以能夠相對旋轉的方式通過E環34而安裝在加強板40上。
外螺紋部39a的前端在卡合部件14的安裝前以及結束時刻，位于不從加強板40的下表面突出的位置。在將卡合部件14保持在帶加強板的軸體37上時(圖16(b))，如圖16(a)所示，使卡合部件14與帶加強板的軸體37相對，將卡合部件14的上表面推壓在加強板40的下表面上，在該狀態下，使主軸體39旋轉，從而將外螺紋部39a螺合在卡合部件14的螺紋孔20中即可。如圖17所 示那樣，使用第二實施方式的第二安裝夾具36進行將卡合部件14向嵌合部件2、3的安裝。使卡合部件14與帶加強板的軸體37螺合，握持著握持部39b將其插入到連結塊11上方的空間，并使其向下方移動(圖17(a))。此時，由于若加強板40保持水平便會與質量流量控制器49的通信線纜連接用連接器C發生干渉，所以，使加強板40傾斜，避免與連接器C的干渉，然后再使加強板40成為水平。然后，使輔助軸體38與加強板40螺合，由此在帶加強板的軸體37上將輔助軸體38 —體化(圖17 (b))。接下來，邊對卡合部件14和一對嵌合部件2、3以嵌合的方式邊進行微調整，便將由帶加強板的軸體37以及輔助軸體38構成的第二安裝夾具36向下方壓入。然后，首先，將輔助軸體38從帶加強板的軸體37上拆下(圖17(c))，然后，使主軸體39相對于加強板40旋轉,解除主軸體39和卡合部件14的螺合(圖17(d))。由此，帶加強板的軸體37和卡合部件14分離，所以，僅使帶加強板的軸體37向上方移動，由此完成該安裝。如上述那樣使用第二實施方式的第二安裝夾具36進行將卡合部件14向嵌合部件
2、3的安裝，由此，即使在連結塊11的上方存在妨礙第一實施方式的第二安裝夾具31的插入的部分C的情況下，也能夠避免干涉而進行卡合部件14的安裝。此外，集成流體控制裝置以如下方式形成與圖18所示的管線41結構類似的多條管線在主基板42上并列地配置，并且，各管線41的阻斷開放器48彼此通過通路連接機構56連接，由此形成的集成流體控制裝置能夠控制并供給多種氣體，在具有收容被處理基板的處理容器和向所述處理容器內供給處理氣體的處理氣體供給部的基板處理裝置中，這樣的集成流體控制裝置優選作為設在所述處理氣體供給部內的流體控制裝置而被使用。
權利要求
1.一種螺栓的防松裝置，是使用多根螺栓將被固定部件進行固定后的螺栓的防松裝置，其特征在干，具有分別以不能相對旋轉的方式嵌合在多根螺栓的各頭部上的多個嵌合部件；橫跨多個嵌合部件地安裝且與各嵌合部件卡合的卡合部件。
2.如權利要求I所述的螺栓的防松裝置，其特征在于各嵌合部件的外周面呈非圓形，在卡合部件上設有與各嵌合部件的非圓形外周面的至少一部分卡合從而防止其移動的卡合部。
3.如權利要求2所述的螺栓的防松裝置，其特征在于卡合部件具有從ー側與多個嵌合部件的外周面相對的第一相對壁部；從另ー側與多個嵌合部件的外周面相對的第二相對壁部；將兩相對壁部連結的連結壁部。
4.如權利要求3所述的螺栓的防松裝置，其特征在于卡合部件的各卡合部為具有與各嵌合部件的非圓形外周面對應的非圓形內周面且設在連結壁部上的卡合孔。
5.如權利要求3所述的螺栓的防松裝置，其特征在于卡合部件的連結壁部具有通過嵌合在相鄰的嵌合部件之間而與第一相對壁部以及第二相對壁部一起形成卡合部的突出部。
6.如權利要求I 5任一項所述的螺栓的防松裝置，其特征在于各螺栓為在頭部周面上形成有平紋的滾花的帶六角孔螺栓，各帶六角孔螺栓使其頭部從被固定部件突出，并貫穿被固定部件，外周面形狀為方形且在內周面上形成有滾花的嵌合部件分別被嵌合在從被固定部件露出的各帶六角孔螺栓的頭部上，橫跨多個嵌合部件而被嵌合的卡合部件受到被固定部件止擋。
7.一種螺栓的防松裝置的安裝方法，是安裝權利要求I到6任一項的螺栓的防松裝置的方法，其特征在于在使用具有保持嵌合部件的外周面的保持部以及與嵌合部件抵接從而相對于保持部能夠移動的推壓部的第一安裝夾具，而將嵌合部件保持在第一安裝夾具的保持部上的狀態下，將嵌合部件安裝在螺栓上，然后，使第一安裝夾具的推壓部移動，由此，將嵌合部件從第一安裝夾具的保持部拆下。
8.一種螺栓的防松裝置的安裝方法，是安裝權利要求I的螺栓的防松裝置的方法，其特征在于預先在卡合部件上設置螺紋孔，使用具有與該螺紋孔螺合的外螺紋部的第二安裝夾具，將卡合部件螺合在第二安裝夾具上，在該狀態下，將第二安裝夾具以橫跨的方式向多個嵌合部件推壓，由此將卡合部件安裝在多個嵌合部件上。
9.ー種第一安裝夾具，是權利要求7的螺栓的防松裝置的安裝方法中使用的第一安裝夾具，其特征在于，具有中空軸，在該中空軸的前端一體地設有保持嵌合部件的外周面的保持部；握持部，該握持部設在中空軸的基端部；內軸，在該內軸的前端一體地設有與嵌合部件抵接的推壓部，該內軸以能夠軸向移動的方式插入到中空軸內且基端部從中空軸突出。
10.ー種第二安裝夾具，是權利要求8的螺栓的防松裝置的安裝方法中使用的第二安裝夾具，其特征在干，具有軸體，在該軸體的前端具有與設在卡合部件上的螺紋孔螺合的外螺紋部；加強板，該加強板與卡合部件抵接，軸體以能夠相對旋轉的方式安裝在加強板上。
11.ー種第二安裝夾具，是權利要求8的螺栓的防松裝置的安裝方法中使用的第二安裝夾具，其特征在于，包括帶加強板的軸體以及以能夠裝拆的方式安裝在其上的輔助軸體，帶加強板的軸體具有主軸體，該主軸體在前端具有與設在卡合部件的一端部上的螺紋孔螺合的外螺紋部；加強板，該加強板與卡合部件抵接，主軸體以能夠相對旋轉的方式安裝在加強板上，在加強板上，在一端部上設有供主軸體貫穿的貫穿孔，在另一端部上設有螺紋孔，輔助軸體在前端具有與加強板的螺紋孔螺合的外螺紋部。
12.ー種流體控制裝置，具有流體控制儀器，其具有作為多個上層部件的通路塊；塊狀接頭，其作為多個下層部件，該流體控制裝置是使用螺栓將通路塊固定在下層部件上的結構，其特征在于作為用于進行所述螺栓的防松的螺栓的防松裝置，具有權利要求I到6的任ー項的螺栓的防松裝置。
13.—種基板處理裝置，具有收容被處理基板的處理容器；向所述處理容器內供給處理氣體的處理氣體供給部，其特征在于作為設在所述處理氣體供給部內的流體控制裝置，具有權利要求12的流體控制裝置。
全文摘要
本發明涉及一種螺栓的防松裝置及其安裝方法以及安裝夾具。本發明提供一種螺栓的防松裝置，其部件的構造簡化、且能夠容易地進行安裝作業。具有分別以不能相對旋轉的方式嵌合在多根螺栓(5)的各頭部上的多個嵌合部件(2、3)；橫跨多個嵌合部件(2、3)地被嵌合的卡合部件(4)。各嵌合部件(2、3)的外周面(2b、3b)為非圓形，在卡合部件(4)上設有與多個嵌合部件(2、3)的各非圓形外周面(2b、3b)對應的多個卡合孔(非圓形卡合部)(8a、8b)。
文檔編號B25B11/02GK102678725SQ20121006563
公開日2012年9月19日 申請日期2012年3月9日 優先權日2011年3月11日
發明者中田知宏, 佐藤雅彥, 內藤幸男, 加賀爪哲, 山路道雄, 武藤聰史, 筱原努, 網倉紀彥 申請人:東京毅力科創株式會社, 株式會社富士金