專利名稱：超高真空窗口的制作方法
技術領域：
本發明涉及超高真空設備，特別是一種適用于超高真空系統的超高真空通光窗
背景技術：
在磁光阱超高真空系統中，要求窗口具有較高的透過率，以獲得較高的冷卻功率， 因此要求超高真空窗口鍍增透膜。而市場上銷售的超高真空窗口通常不鍍膜，但是對成品窗口鍍膜工藝復雜、質量難以達到要求且鍍膜成本高、靈活性不強。而將玻璃基片鍍好膜后用銦封制作的超高真空窗口，由于銦的熔點較低，使得裝有超高真空窗口的真空系統不能高溫烘烤，整個真空系統的真空度難以達到要求，且銦封窗口存在制作工藝復雜，成品率低，易損壞等原因。
發明內容
本發明的目的是為特殊通光要求的超高真空系統提供一種超高真空窗口，該超高真空窗口制作簡單、快捷、方便、低成本、可操作性強、結構比較靈活。本發明的技術解決方案如下
一種超高真空窗口，包括一個法蘭，其特征在于還包括一個圓筒和一塊圓形的窗口玻璃板，所述的圓筒的一端和所述的法蘭密封相連，該圓筒的另一端與所述的窗口玻璃板密封相連。所述的法蘭為具有金屬刀口和通孔內臺階的法蘭。所述的圓筒采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒，所述的圓筒及其周邊臺階與所述的法蘭的內部結構相配合，該圓筒的另一端具有內周沿臺階，供所述的窗口玻璃板安置封裝。所述的圓筒的內壁具有內螺紋，供所述的窗口玻璃板和卡環安裝。所述的圓形的窗口玻璃板鍍有通光波長的增透膜。所述的圓形的窗口玻璃板為平凸透鏡。本發明的技術效果
本發明超高真空窗口通過法蘭盤安裝于超高真空系統上，為超高真空系統提供一個高透射率的觀測、通光窗口。本發明超高真空窗口為超高真空系統可提供一個快捷、方便、低成本、制作簡單、 靈活的超高真空窗口。
圖1是本發明超高真空窗口的結構示意圖。圖2是圖1超高真空窗口的剖視圖。
具體實施例方式下面結合實施例和附圖對本發明作進一步說明，但不應以此限制本發明的保護范圍。先請參閱圖1、圖2，圖1是本發明超高真空窗口的結構示意圖，圖2是圖1超高真空窗口的剖視圖，由圖可見，本發明超高真空窗口包括一個法蘭1，一個圓筒2和一塊圓形的窗口玻璃板3，所述的圓筒2的一端和所述的法蘭1密封相連，該圓筒2的另一端與所述的窗口玻璃板3密封相連。本實施例中法蘭1為具有金屬刀口和通孔內臺階的法蘭。所述的圓筒2采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒，所述的圓筒2及其周邊臺階與所述的法蘭1的內部結構相配合，該圓筒2的另一端具有內周沿臺階，供所述的窗口玻璃板3 安置封裝。所述的圓筒2的內壁具有內螺紋，供所述的窗口玻璃板3和卡環安裝，卡環用于固定成像透鏡組或其他零件，也可以依據特定的使用場合來增加或減小長度、或反向粘貼。所述的窗口玻璃板3上鍍通光激光的波長的增透膜。玻璃基板也可以依據需要做成平凸透鏡。以增加成像系統的視場角。
權利要求
1.一種超高真空窗口，包括一個法蘭(1 )，其特征在于還包括一個圓筒(2)和一塊圓形的窗口玻璃板(3)，所述的圓筒(2)的一端和所述的法蘭(1)密封相連，該圓筒(2)的另一端與所述的窗口玻璃板(3)密封相連。
2.根據權利要求1所述的超高真空窗口，其特征在于所述的法蘭(1)為具有金屬刀口和通孔內臺階的法蘭。
3.根據權利要求2所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圓筒(2)采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒，所述的圓筒(2)及其周邊臺階與所述的法蘭(1)的內部結構相配合，該圓筒(2)的另一端具有內周沿臺階，供所述的窗口玻璃板(3)安置封裝。
4.根據權利要求3所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圓筒(2)的內壁具有內螺紋，供所述的窗口玻璃板(3 )和卡環安裝。
5.根據權利要求1至4任一項所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圓形的窗口玻璃板(3)鍍有通光波長的增透膜。
6.根據權利要求1至4任一項所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圓形的窗口玻璃板(3)為平凸透鏡。
全文摘要
一種用于超高真空系統的超高真空窗口，由法蘭、圓筒和窗口玻璃板構成，所述的圓筒的一端和所述的法蘭密封相連，該圓筒的另一端與所述的窗口玻璃板密封相連。本發明具有制作簡單、低成本、使用快捷、方便、可操作性強、結構比較靈活的特點。
文檔編號G02B7/02GK102540381SQ20121004311
公開日2012年7月4日 申請日期2012年2月24日 優先權日2012年2月24日
發明者劉洪力, 尹士奇, 徐震, 洪濤, 王育竹 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所