專利名稱：一種mems光學掃描探頭的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及微機電系統的光學及電子電路設計領域，更具體的，涉及一種MEMS光學掃描探頭。
背景技術：
目前，醫療設備技術領域在進行內窺鏡成像系統開發過程中普遍采用的一種方法是將微機電系統技術(microelectromechanical systems,簡稱MEMS)的掃描微鏡與光學相干層析成像(Optical Coherence Tomography,OCT)技術相結合,開發出內窺鏡成像系統。圖1為現有技術中公開的一種低成本內窺鏡微型光學探頭,其米用MEMS微鏡實現了側向掃描工作，可用于內窺成像時可將其側面窗口與樣品對準進行光學掃描，特別適應于腔道側壁的掃描診斷。圖2為現有技術中公開的一種MEMS光學探頭，其采用MEMS微鏡實現了前向掃描工作，用于內窺成像時可將其前端窗口貼近樣品并進行掃描，特別適應于內臟器官和較隱蔽組織的掃描成像。綜合考慮，以上兩種不同工作方式的探頭均具自己的優勢，但均有一定局限性，側掃光學探頭不利于器官組織的掃描，前掃光學探頭則不利于腔道側壁的掃描。基于上述描述，亟需要擴大光學探頭的使用范圍，需要一種可實現側前掃的MEMS光學，以滿足多種內腔道環境的掃描成像使用。
發明內容為解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種MEMS光學掃描探頭，該MEMS光學掃描探頭同時兼顧側向掃描探頭和前向掃描探頭的功能，可實現側前向掃描，既能實現對組織樣品側壁的側向掃描成像，又能實現對人體內臟器官和較隱蔽組織的掃描成像。為解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案:—種基于MEMS的側前向掃描光學探頭，外管內設置有基座和安裝在基座上的光纖和透鏡，基座前方設置有MEMS微鏡B或反射鏡A，反射鏡B或MEMS微鏡A設置于透鏡前方，且反射鏡B或MEMS微鏡A的鏡面與透鏡軸線成一鈍角，所述外管的最前端設置有窗口，所述窗口與外管的軸向方向呈預定角度。作為優選，所述反射鏡B為多面體反射鏡或平面反射鏡，所述多面體反射鏡或平面反射鏡設置于透鏡的前方，且其反射鏡面與透鏡軸線成一鈍角。作為優選，所述反射鏡B為MEMS反射鏡，由鏡面、基底及其連接兩者的驅動臂組成，基底上設置有焊盤，焊盤與驅動電路連接，所述鏡面設置于透鏡斜前方，驅動臂采用電熱驅動，通過給驅動臂施加一定電壓來控制鏡面的偏轉角度實現鏡面面型調節。作為優選，所述反射鏡B為級聯MEMS反射鏡，級聯MEMS反射鏡包括基底和MEMS微鏡C，MEMS微鏡C包括外框及其設置于外框內的鏡面，外框四側內壁分別通過驅動臂與鏡面連接，通過給驅動臂施加一定頻率和幅值的電壓信號來實現鏡面的偏轉，邊框下面通過另一雙金屬韌帶與基座連接，通過控制雙金屬韌帶的彎曲程度來控制MEMS微鏡C的鏡面與水平面成不同的角度，實現鏡面傾斜程度和面型的調節。作為優選，所述反射鏡A為MEMS微鏡或平面反射鏡，水平或傾斜設置于基座前端。作為優選，所述MEMS微鏡A或MEMS微鏡B包括設置鍍有光學涂層的鏡面及其分布于四周的硅襯底，兩者之間用驅動臂橋接連接，在四周設置邊框，在邊框下端設置有用于導電連接的焊盤，采用電熱驅動。作為優選，所述MEMS微鏡B采用電熱驅動、電磁驅動、靜電驅動或壓電驅動。作為優選，所述MEMS微鏡B通過前級焊盤與基座實現電連接，所述電連接方式為倒裝焊接、粘接或打線連接。作為優選，所述窗口為平面窗口或自由曲面窗口或透鏡組窗口。本實用新型的有益效果為，由于本實用新型的窗口設置在外殼的前方，再由反射鏡和MEMS微鏡的配合，來自OCT系統的光束經光纖傳輸進入探頭，經透鏡匯聚后射向反射鏡，光束通過反射鏡改變方向后射向做二維轉動的MEMS微鏡，光束形成一光柵后從窗口射向樣品，從而該探頭結構實現了光束的側前向掃描，結合OCT成像系統可用于人體內多種器官或腔道的掃描成像和檢測，使用靈活，適應性較強。由于反射鏡可以采用MEMS反射鏡或級聯MEMS反射鏡，此時，可通過控制雙金屬韌帶或雙金屬驅動臂來調整反射鏡面的前后左右的傾斜程度，不僅有利于探頭組裝過程中光路的調節，還可以調整探頭在樣品表面掃描區域的位置。反射鏡若采用多面體反射鏡，光學元件可以根據設計要求靈活選用和組裝，既可以采用透鏡組件的方式進行組裝，也可以直接采用光學元件直接在主體基座上進行組裝，增加組裝靈活性。由于使用MEMS微鏡，探頭尺寸足夠小，所以可用于醫用內窺鏡和工業內窺鏡。由于該探頭整體結構緊湊簡單，基座易于生產加工，所以整體生產成本較低。由于窗口為自由曲面，曲面可以矯正畸變，所以具有該種形狀的窗口具有矯正畸變功能。
圖1為現有技術中側面掃描MEMS光學探頭剖視圖；圖2為現有技術中前向掃描MEMS光學探頭剖視圖；圖3為本實用新型提供的MEMS光學探頭三維結構示意圖；圖4為本實用新型提供的帶有傾角MEMS反射鏡的MEMS光學探頭光路原理圖；圖5為本實用新型提供的帶有MEMS級聯傾角反射鏡的MEMS光學探頭光路原理圖；圖6為本實用新型提供的采用多面體反射鏡的MEMS光學探頭結構示意圖；圖7為本實用新型提供的采用平面反射鏡的MEMS光學探頭結構示意圖；圖8為本實用新型提供的傾角MEMS反射鏡的結構示意圖；圖9為本實用新型提供的MEMS級聯傾角反射鏡的結構示意圖；圖10為本實用新型提供的MEMS微鏡打線電連接方式示意圖；圖11為本實用新型提供的MEMS微鏡倒裝焊接電連接方式示意圖；圖12為本實用新型提供的MEMS微鏡的一種實施例的結構示意圖；圖13為本實用新型提供的透鏡組件結構示意圖。圖中:[0033]11、電路板；12、透鏡；13、側向窗口 ；14、MEMS微鏡；15、基座；21、光纖；22、電路板；23、透鏡；24、基座；25、外殼；26、MEMS微鏡；27、窗口 ；31、光纖；32、基座；33、透鏡；34a、反射鏡A ;34b、反射鏡B ;35、窗口 ；36、前級焊盤；37a、MEMS微鏡A ;37b、MEMS微鏡B ;38、外管；39、后級焊盤；40、光束；41、Y向掃描范圍；42、金屬絲；43、玻璃管外殼；44、毛細玻璃管；52、多面體反射鏡；61、鏡面；62、驅動臂；63、基底；631、焊盤；71、基底；72、雙金屬韌帶；73、鏡面；74、驅動臂；75、外框；76、MEMS微鏡C ;901、鏡面;902、硅襯底;904、邊框；905、焊盤。
具體實施方式
下面通過具體實施方式
來進一步說明本實用新型的技術方案。圖1為現有技術中側面掃描MEMS光學探頭剖視圖。如圖1所示，該光學探頭包括電路板11、透鏡12、側向窗口 13、MEMS微鏡14和基座15。電路板11設置在基座15上，電路板11上方安裝有透鏡12，MEMS微鏡14安裝在基座15上，并且其位置和透鏡12的端部相對。偵彳向窗口 13開設在基座15的側面。這種結構的MEMS光學探頭可以實現側向掃描工作，內窺成像時可將其側面窗口 13與樣品對準進行光學掃描，特別適應于腔道側壁的掃描診斷。并且該MEMS光學探頭具有低成本的優點。圖2為現有技術中前向掃描MEMS光學探頭剖視圖。如圖2所示，該MEMS光學探頭包括光纖21、電路板22、透鏡23、基座24、外殼25、MEMS微鏡26和窗口 27。外殼25內設置有基座24，基座24上方安裝有電路板22，電路板22上方安裝有透鏡23，透鏡23的一端和光纖21相連,另一端安裝有反光鏡，用于把從透鏡23中出來的光反射到MEMS微鏡26上，MEMS微鏡26安裝在基座24右側傾斜面的焊盤上。窗口 27開在外殼25的端部，和MEMS微鏡26處于同一側。該結構的MEMS光學探頭采用MEMS微鏡26實現了前向掃描工作，用于內窺成像時可將其前端窗口貼近樣品并進行掃描，特別適應于內臟器官和較隱蔽組織的掃描成像。雖然以上兩種不同工作方式的探頭均具自己的優勢，但均有一定局限性，側掃光學探頭不利于器官組織的掃描，前掃光學探頭則不利于腔道側壁的掃描。圖3為本實用新型提供的MEMS光學探頭三維結構示意圖。如圖3所示，該MEMS光學探頭的最外端為外管38,外管38內設置有光纖31、基座32、透鏡33、反射鏡A34a、反射鏡B34b、窗口 35、前級焊盤36、MEMS微鏡A37a、MEMS微鏡B37b和后級焊盤39。基座32的兩端分別設置有前級焊盤36和后級焊盤39，MEMS微鏡B37b或者反射鏡A34a與基座32上的前級焊盤36電連接，前級焊盤36與后級焊盤39通過設置于基座32里層或表層的電引線進行導電連接。基座32設置有凹槽，光纖31與透鏡33左右連接，并且均安放于基座32的凹槽內。反射鏡B34b或MEMS微鏡A37a設置于透鏡33前方，且反射鏡B34b或MEMS微鏡A37a的鏡面與透鏡33軸線成一鈍角。窗口 35設置在外管38的最前端，窗口 35內安裝有窗片，窗口 35傾斜設置,與外管38的軸向方向呈一定的角度。以上所述的基于MEMS的光學探頭實現側前向掃描的掃描方法有如下兩種:(I)經光纖傳輸進探頭的光經透鏡聚焦后射向傾斜設置的反射鏡B34b，經反射鏡反射后的光束射向MEMS微鏡B37b的鏡面，通過控制MEMS微鏡做單軸或雙軸偏轉，從而實現透過窗口的光束在探頭側前方進行掃描。[0041](2)經光纖傳輸進探頭的光經透鏡聚焦后射向傾斜設置的MEMS微鏡A37a，通過控制MEMS微鏡A37a做單軸或雙軸偏轉，光束經偏轉和反射后射向反射鏡A34a，再經反射鏡A34a反射改變方向透過窗口在探頭側前方進行掃描。作為優選，所述反射鏡B34b為多面體反射鏡52或平面反射鏡，所述多面體反射鏡52或平面反射鏡設置于透鏡33的前方，且其反射鏡面與透鏡33軸線成一鈍角，其采用以上掃描方法中的第(I)種方法實現側前向掃描。圖6為本實用新型提供的采用多面體反射鏡的MEMS光學探頭結構示意圖。于本實施例中，為實現光路方向改變，反射鏡34選用多面體反射鏡52，多面體反射鏡52粘接于透鏡33的光出射端面上，且其傾斜鏡面與透鏡33軸線成一鈍角。經透鏡33匯聚的光束，再經過多面體反射鏡52傾斜面反射后，透過面體反射鏡52底面射向MEMS微鏡B(37b)或反射鏡A (34a)。于本實施例中，MEMS微鏡B (37b)或反射鏡A (34a)既可水平設置，也可傾斜設置，與多面體反射鏡52 —同改變光路形成側前向。由于多面體反射鏡52可直接安裝在透鏡33上，減少了其它輔助零部件的使用，所以采用多面體反射鏡52安裝起來比較方便，節省了時間和成本，易操作。圖7為本實用新型提供的采用平面反射鏡的MEMS光學探頭結構示意圖，與圖6所述的實施例不同之處僅在于，把多面體反射鏡52改為平面反射鏡，底面的為MEMS微鏡B(37b)。作為優選，所述反射鏡B34b為MEMS反射鏡，MEMS反射鏡由鏡面61、基底63及其連接兩者的驅動臂62組成，基底63上設置有焊盤631，焊盤631與驅動電路連接，所述鏡面61設置于透鏡33斜前方，驅動臂62采用電熱驅動，通過給驅動臂62施加一定電壓來控制鏡面61的偏轉角度實現鏡面面型調節。所述MEMS反射鏡采用以上掃描方法中的第(I)種方法實現側前向掃描，具體的，如圖4所示。圖4為本實用新型提供的帶有傾角MEMS反射鏡的MEMS光學探頭光路原理圖，本實用新型探頭光路原理為，首先來自OCT系統的光束40經光纖31傳輸進入探頭，經透鏡33匯聚后射向反射鏡A34a，光束40通過反射鏡A34a改變方向后射向做二維轉動的MEMS微鏡A37a,光束40形成一光柵后從窗口 35射向樣品，從而實現了光束40對樣品的掃描。其掃描范圍由圖中Y向掃描范圍41和與紙面垂直的X向掃描范圍組成。作為優選，所述反射鏡B34b為級聯MEMS反射鏡，級聯MEMS反射鏡包括基底71、MEMS微鏡C76和連接兩者的雙金屬韌帶72，MEMS微鏡C76包括外框75及其設置于外框75內的鏡面73，外框75四側內壁分別通過驅動臂74與鏡面73連接，通過給驅動臂74施加一定頻率和幅值的電壓信號來實現鏡面73的偏轉，邊框75下面通過另一雙金屬韌帶(圖中未示出)與基座32連接，通過控制雙金屬韌帶的彎曲程度來控制MEMS微鏡C76的鏡面73與水平面成不同的角度，實現鏡面傾斜程度和面型的調節。所述級聯MEMS反射鏡采用以上掃描方法中的第(I)種方法實現側前向掃描，具體的，如圖5所示，圖5為本實用新型提供的帶有MEMS級聯傾角反射鏡的MEMS光學探頭光路原理圖。本實用新型探頭光路原理為，首先來自OCT系統的光束40經光纖31傳輸進入探頭，經透鏡33匯聚后射向MEMS微鏡B37b，光束40通過MEMS微鏡B37b改變方向后射向做二維轉動的反射鏡B34b,光束40形成一光柵后從窗口 35射向樣品，從而實現了光束40對樣品的掃描。 作為優選，所述反射鏡A34a為MEMS微鏡或平面反射鏡，水平或傾斜設置于基座前端，其采用以上掃描方法中的第(2)種方法實現側前向掃描。其中，所有的MEMS微鏡形狀自由，可為圓形、矩形或多邊形結構。所述外管38截面可以為多邊形或者圓形，材料可以采用醫學兼容的不銹鋼、玻璃或有機高分子聚合物制作。本實用新型中，光纖31透鏡33有兩種連接方式:一種連接方式為，采用格林透鏡、帶玻璃尾纖的光纖和玻璃管按光學設計要求組裝形成；另一種連接方式為，在基座32上采用格林透鏡、光纖或帶玻璃尾纖的光纖直接形成。圖8為本實用新型提供的傾角MEMS反射鏡的結構示意圖，圖9為本實用新型提供的MEMS級聯傾角反射鏡的結構示意圖。于本實施例中，為實現光路方向改變，反射鏡34采用MEMS反射鏡來形成，如圖8所示。MEMS反射鏡由鏡面61、基底63及其連接兩者的驅動臂62組成，驅動臂62為雙金屬驅動臂。所述基底63設置于基座32上平面，基底63上設置有焊盤631，焊盤631與驅動電路連接。所述鏡面61設置于透鏡33的斜前方，通過給驅動臂62施加一定電壓來控制鏡面61的偏轉角度，不僅有得于在探頭組裝過程中的光路校正，同時也可以調整探頭在樣品表面掃描區域的位置。反射鏡34也可以采用級聯MEMS反射鏡來形成，如圖9所示。級聯MEMS反射鏡則將MEMS反射鏡的鏡面61替換成另一微鏡，將更有利于光路的調節和掃描區域的定位。具體的，級聯反射鏡包括基底71、微鏡和連接兩者的雙金屬韌帶72，微鏡包括外框75及其設置于外框75內的鏡面73，外框75四側內壁分別通過驅動臂74與鏡面73連接。驅動臂74為雙金屬驅動臂。通過給驅動臂74施加一定頻率和幅值的電壓信號來實現微鏡的偏轉。邊框75下面通過另一雙金屬韌帶(圖中未示出)與基座32連接，通過控制雙金屬韌帶的彎曲程度來控制微鏡鏡面73與水平面成不同的角度，可嚴格控制探頭中光掃描的方向。所述外框75形狀自由，可為圓形、矩形或多邊形結構。于本實施例中，所述雙金屬韌帶72可以是雙層或多層材料構成的層狀結構。以上所述MEMS反射鏡的驅動臂62和級聯MEMS反射鏡的驅動臂74結構形式可以為雙S結構，也可以為Z字形結構。兩者均采用電熱方式工作，給驅動臂施加一定頻率的電壓信號便可實現微鏡的偏轉。其中，所述光纖與透鏡單獨或者形成組件后，再安裝于基座上。MEMS微鏡37的電連接形式可以有在基座32上直接形成，或者采用PCB、陶瓷電路板安放于基座相應槽內后形成電連接通路。所述微鏡和MEMS微鏡采用電熱驅動、電磁驅動、靜電驅動或壓電驅動。圖10為本實用新型提供的MEMS微鏡打線電連接方式示意圖。如圖10所示，MEMS微鏡A37a或MEMS微鏡B37b通過多條金屬絲42與基座32的前級焊盤36相固定連接。圖11為本實用新型提供的MEMS微鏡倒裝焊接電連接方式示意圖。如圖11所示，MEMS微鏡A37a或MEMS微鏡B37b直接倒裝焊接在基座32的前級焊盤36上，與之相固定連接。于本實施例中，作為另一種優選方案，所述MEMS微鏡A37a或MEMS微鏡B37b也可以直接粘接在基座32上設置的前級焊盤36上。[0065]圖12為本實用新型提供的MEMS微鏡的一種實施例的結構示意圖。如圖12所示，所述MEMS微鏡A (37a)或MEMS微鏡B (37b)由設置鍍有光學涂層的鏡面(901)及其分布于四周的硅襯底(902)，兩者之間用驅動臂(74)橋接連接，在四周設置邊框(904)，在邊框(904)下端設置有用于導電連接的焊盤(905)，驅動臂74為雙層或多層材料結構，采用電熱驅動。于本實施例中，所述MEMS微鏡A37a或MEMS微鏡B37b可以米用電熱驅動、電磁驅動、靜電驅動或壓電驅動。以下詳細介紹第一種實施例中探頭的組裝方式。探頭所采用的光纖31、透鏡33和多面體反射鏡52既可單獨設置于基座32上，也可形成組件后再設置于基座32凹槽內。圖13為本實用新型提供的透鏡組件結構示意圖。如圖13所示，透鏡組件由傳輸光纖31與毛細玻璃管44組裝好擴大直徑后，再與透鏡33按光路設計要求組裝在玻璃管外殼43中，再將多面體反射鏡52 —直角面與透鏡33的外端面進行膠粘連接形成透鏡組件。第一種實施例中探頭的組裝方式與第一種實施例中探頭的組裝方式相同，唯一不同之處在于，多面體反射鏡52換為MEMS反射鏡或級聯MEMS反射鏡。于本實施例中，作為一種優選方案，前級焊盤36可以為水平設置，MEMS微鏡37水平設置在前級焊盤36上。于本實施例中，作為另一種優選方案，前級焊盤36也可以傾斜設置，MEMS微鏡37傾斜設置在前級焊盤36上。所述窗口 35為自由曲面，具有該種形狀的窗口具有矯正畸變功能。于本實施例中，作為一種優選方案，窗口 35也可為平面。所述窗口 35由玻璃或透鏡有機材料制作，也可采用對所使用工作波長光透明的材料制作。優選方案，窗口 35也可為透鏡組窗口。于本實施例中，所述外管橫截面為多邊形、D形、橢圓形或圓形。以上結合具體實施例描述了本實用新型的技術原理。這些描述只是為了解釋本實用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對本實用新型保護范圍的限制。基于此處的解釋，本領域的技術人員不需要付出創造性的勞動即可聯想到本實用新型的其它具體實施方式
，這些方式都將落入本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種基于MEMS的側前向掃描光學探頭，其特征在于；外管(38)內設置有基座(32)和安裝在基座上的光纖(31)和透鏡(33)，基座(32)前方設置有MEMS微鏡B (37b)或反射鏡A (34a)，反射鏡B (34b)或MEMS微鏡A (37a)設置于透鏡(33)前方，且反射鏡B (34b)或MEMS微鏡A(37a)的鏡面與透鏡(33)軸線成一鈍角，所述外管(38)的最前端設置有窗口(35)，所述窗口(35)與外管(38)的軸向方向呈預定角度。
2.根據權利要求1所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭,其特征在于:所述反射鏡B (34b)為多面體反射鏡(52)或平面反射鏡，所述多面體反射鏡(52)或平面反射鏡設置于透鏡(33)的前方，且其反射鏡面與透鏡(33)軸線成一鈍角。
3.根據權利要求1所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭,其特征在于:所述反射鏡B (34b)為MEMS反射鏡，由鏡面(61)、基底(63)及其連接兩者的驅動臂(62)組成，基底(63)上設置有焊盤(631)，焊盤(631)與驅動電路連接，所述鏡面(61)設置于透鏡(33)斜前方，驅動臂￠2)采用電熱驅動，通過給驅動臂￠2)施加一定電壓來控制鏡面￠1)的偏轉角度實現鏡面面型調節。
4.根據權利要求1所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭,其特征在于:所述反射鏡B (34b)為級聯MEMS反射鏡，級聯MEMS反射鏡包括基底(71)和MEMS微鏡C (76)，MEMS微鏡C (76)包括外框(75)及其設置于外框(75)內的鏡面(73)，外框(75)四側內壁分別通過驅動臂(74)與鏡面(73)連接，通過給驅動臂(74)施加一定頻率和幅值的電壓信號來實現鏡面(73)的偏轉，邊框(75)下面通過另一雙金屬韌帶與基座(32)連接，通過控制雙金屬韌帶的彎曲程度來控制MEMS微鏡C (76)的鏡面(73)與水平面成不同的角度，實現鏡面傾斜程度和面型的調節。
5.根據權利要求1所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭,其特征在于:所述反射鏡A (34a)為MEMS微鏡或平面反射鏡，水平或傾斜設置于基座前端。
6.根據權利要求1 所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭，其特征在于:所述MEMS微鏡A (37a)或MEMS微鏡B (37b)包括設置鍍有光學涂層的鏡面(901)及其分布于四周的硅襯底(902)，兩者之間用驅動臂(74)橋接連接，在四周設置邊框(904)，在邊框(904)下端設置有用于導電連接的焊盤(905)，驅動臂(74)為雙層或多層材料結構，采用電熱驅動。
7.根據權利要求1所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭，其特征在于:所述MEMS微鏡A (37a)或MEMS微鏡B (37b)采用電熱驅動、電磁驅動、靜電驅動或壓電驅動。
8.根據權利要求1所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭，其特征在于:所述MEMS微鏡B (37b)通過前級焊盤(36)與基座(32)實現電連接，所述電連接方式為倒裝焊接、粘接或打線連接。
9.根據權利要求1所述的基于MEMS的側前向掃描光學探頭,其特征在于:所述窗口(35)為平面窗口或自由曲面窗口或透鏡組窗口。
專利摘要本實用新型公開了一種基于MEMS的側前向掃描光學探頭及其實現方法，外管內設置有基座和安裝在基座上的光纖和透鏡，基座前方設置有MEMS微鏡A或反射鏡A，反射鏡B或MEMS微鏡B設置于透鏡前方，且反射鏡B或MEMS微鏡B的鏡面與透鏡軸線成一鈍角，所述外管的最前端設置有窗口，所述窗口與外管的軸向方向呈預定角度。本實用新型所述的MEMS光學掃描探頭既能實現對組織樣品側壁的側向掃描成像，又能實現對人體內臟器官和較隱蔽組織的掃描成像，同時兼顧側向掃描探頭和前向掃描探頭的功能，可實現側前向掃描。
文檔編號G02B26/10GK203153681SQ201320049600
公開日2013年8月28日 申請日期2013年1月29日 優先權日2013年1月29日
發明者傅霖來, 王東琳, 謝會開 申請人:無錫微奧科技有限公司