一種極紫外反射鏡片的四維裝調裝置制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種反射鏡片的裝調裝置，包括真空腔體、反射鏡片、鏡片支撐架、滑動系統、第一調節系統和第二調節系統，反射鏡片位于真空腔體內，鏡片支撐架安裝反射鏡片，滑動系統包括滑動通道和滑動體，滑動體置于滑動通道上并能夠在滑動通道上滑動；鏡片支撐架的底部開有球窩，以使鏡片支撐架通過球窩與滑動體的配合裝配在該滑動系統上；第一調節系統從真空腔體外伸入真空腔體內，并抵頂鏡片支撐架，以使該鏡片支撐架繞穿過滑動體的中心的兩兩之間相互垂直的三條軸線轉動；第二調節系統從真空腔體外伸入真空腔體內，并抵頂滑動體，使滑動體沿著滑動通道滑動。本發明能夠實現反射鏡片和鏡片支撐架的一維平動和三維轉動的調節。
【專利說明】一種極紫外反射鏡片的四維裝調裝置
【技術領域】
[0001] 本發明屬于光刻設備【技術領域】，具體涉及極紫外（Extreme ultraviolet，簡寫為 EUV)光刻設備中的反射鏡裝調裝置。
【背景技術】
[0002] 極紫外（Extreme ultraviolet,簡寫為EUV)光刻技術是繼193nm浸沒式光刻技術 之后的下一代光刻機技術，由于極紫外輻射被幾乎所有物質（包括空氣）強烈吸收，EUV光 刻機系統必須置于真空環境中。而且，EUV光刻機的光學系統為反射式光學系統。
[0003] EUV反射式光學系統由多組極紫外反射鏡片組成。針對每塊極紫外反射鏡片，在封 閉的真空環境中要求穩定的安裝；而且在安裝完畢后通入EUV輻射調試時，整個系統要求 維持在真空環境中，并實現多維可靠的調節。這就對極紫外反射鏡片的裝調裝置提出了較 高的要求。
[0004] 同時，對于能用到極紫外反射鏡片的其他系統，如極紫外輻照材料測試系統（參 考發明專利CN201310319441或實用新型專利CN201320454021，主要研究在模擬EUV光刻機 環境的EUV輻照和真空條件下，不同材料的損傷情況），也需要實現極紫外反射鏡片在封閉 真空環境中的穩定安裝和多維調節。
【發明內容】
[0005] (一）要解決的技術問題
[0006] 本發明提出了一種新型極紫外反射鏡片的四維裝調裝置，以保護反射鏡片并實現 極紫外反射鏡片在封閉真空環境中的穩定安裝和多維調節。
[0007] (二）技術方案
[0008] 為解決上述技術問題，本發明提出一種反射鏡片的裝調裝置，包括真空腔體、反射 鏡片、鏡片支撐架，反射鏡片位于真空腔體內，鏡片支撐架安裝所述反射鏡片，所述裝調裝 置還包括滑動系統、第一調節系統和第二調節系統，其中，所述滑動系統也固定于真空腔體 內，包括滑動通道和滑動體，滑動體置于滑動通道上并能夠在滑動通道上滑動；所述鏡片 支撐架的底部開有球窩，以使鏡片支撐架通過所述球窩與滑動體的配合裝配在該滑動系統 上；所述第一調節系統從所述真空腔體外伸入真空腔體內，并抵頂所述鏡片支撐架，以使該 鏡片支撐架繞穿過所述滑動體的中心的兩兩之間相互垂直的三條軸線轉動；所述第二調節 系統從所述真空腔體外伸入真空腔體內，并抵頂所述滑動體，使所述滑動體沿著所述滑動 通道滑動。
[0009] 根據本發明的【具體實施方式】，所述滑動體是球體或圓柱體。
[0010] 根據本發明的【具體實施方式】，所述第一調節系統至少有三個，且其在伸入所述真 空腔體時穿過該真空腔體的壁的位置與所述第二調節系統在伸入所述真空腔體時穿過該 真空腔體的壁的位置不在同一直線上，它們所抵頂的位置與所述滑動體的中心在該鏡片支 撐架的背面上的投影位置不在同一直線上。
[0011] 根據本發明的【具體實施方式】，每個所述第一調節系統包括兩個球鉸。
[0012] 根據本發明的【具體實施方式】，裝調裝置還包括卡壓系統，其用于將所述反射鏡片 固定于所述鏡片支撐架上。
[0013] 根據本發明的【具體實施方式】，所述卡壓系統包括卡壓桿和兩個離心壓頭，其中，所 述離心壓頭包括離心壓頭軸和端蓋，離心壓頭軸呈長圓柱形，端蓋為扁圓柱形并固定于離 心壓頭軸的一個端面，所述離心壓頭軸和端蓋的中心軸在一條直線上；在平行于離心壓頭 軸和端蓋的中心軸的方向上，穿過離心壓頭軸和端蓋開設一個通孔，所述通孔的中心軸與 離心壓頭軸和端蓋的中心軸不在同一直線上，且所述通孔的直徑與所述卡壓桿的直徑一 致，以使所述卡壓桿的兩端分別穿入所述兩個離心壓頭的通孔。
[0014] 根據本發明的【具體實施方式】，所述鏡片支撐架的兩個側面設置有卡壓孔，所述反 射鏡片的側面開有卡槽，其中，所述卡壓桿先由所述鏡片支撐架的一個側面的卡壓孔依次 穿入所述鏡片支撐架并穿過所述反射鏡片的卡槽到達所述鏡片支撐架的另一側面的卡壓 孔。
[0015] 根據本發明的【具體實施方式】,所述滑動體為滑動球,其切去一部分形成一個端面， 該端面用于與所述第二調節系統相連。
[0016] 根據本發明的【具體實施方式】，所述滑動系統還包括兩個連接板和一個滑道板，其 中所述連接板用于固定所述鏡片支撐架，每個連接板的下表面有兩個限位球頭；所述滑動 通道開在所述滑道板上；所述滑動通道的兩側分別開有一個軸向與該滑動通道的軸向平行 的限位通道，所述兩個限位通道分別用于承接所述限位球頭。
[0017] 根據本發明的【具體實施方式】，所述滑動系統還包括限位塊，其固定在所述限位通 道的兩端。
[0018] (三）有益效果
[0019] 本發明通過引入鏡片支撐架，使用卡壓系統將反射鏡片牢固安裝在鏡片支撐架 上。
[0020] 本發明通過滑動系統和調節系統將鏡片支撐架安放在真空腔體上，能夠支撐反射 鏡片和鏡片支撐架的重量、實現反射鏡片和鏡片支撐架的定位；同時通過調整調節系統，能 夠實現反射鏡片和鏡片支撐架的四維調節（一維平動和三維轉動）。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0021] 圖1是本發明提出的極紫外反射鏡片的四維裝調裝置的一個實施例的結構示意 圖；
[0022] 圖2和圖3是圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的示意圖，其中圖2是正面斜視 圖，圖3是背面斜視圖；
[0023] 圖4是圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的反射鏡片的示意圖；
[0024] 圖5和圖6是圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的卡壓系統的示意圖，其中圖5 是正面剖視圖，圖6是側面剖視圖；
[0025] 圖7是圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的離心壓頭的示意圖；
[0026] 圖8是圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的滑動系統示意圖；
[0027] 圖9圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的第一調節系統示意圖；
[0028] 圖10是圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的第二調節系統的示意圖；
[0029] 圖11是圖1所示的實施例中的鏡片支撐架的運動簡圖。
【具體實施方式】
[0030] 本發明提出的極紫外反射鏡片的四維裝調裝置，包括真空腔體、反射鏡片、鏡片支 撐架、滑動系統、第一調節系統和第二調節系統。本發明所述的"四維"裝調是指一維方向 上的平動和三維方向上的轉動。
[0031] 本發明的反射鏡片位于真空腔體內，鏡片支撐架安裝所述反射鏡片，滑動系統也 固定于真空腔體內，包括滑動通道和滑動體，滑動體置于滑動通道上并能夠在滑動通道上 滑動；鏡片支撐架的底部開有球窩，以使鏡片支撐架通過所述球窩與滑動體的配合裝配在 該滑動系統上。
[0032] 第一調節系統從所述真空腔體外伸入真空腔體內并抵頂所述鏡片支撐架使之繞 穿過所述滑動體的中心的兩兩之間相互垂直的三條軸線在三維方向上轉動，第二調節系統 從所述真空腔體外伸入真空腔體內并抵頂所述滑動體，使所述滑動體沿著所述滑動通道滑 動。
[0033] 所述滑動體可以是球體（滑動球）或圓柱體。所述第一調節系統至少有三個，且 其在伸入所述真空腔體時穿過該真空腔體的壁的位置與所述第二調節系統在伸入所述真 空腔體時穿過該真空腔體的壁的位置不在同一直線上，它們所抵頂的位置與所述滑動體的 中心在該鏡片支撐架的背面上的投影位置不在同一直線上。
[0034] 由此，通過第一調節系統和第二調節系統，可以實現鏡片安裝架在三維方向上的 轉動和一維方向上的平動，從而使反射鏡片在三維方向上轉動和一維方向上平動。
[0035] 本發明優選為還具有用于固定反射鏡片的卡壓系統。
[0036] 為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚明白，以下結合具體實施例，并參照 附圖，對本發明作進一步的詳細說明。
[0037] 圖1是本發明提出的極紫外反射鏡片的四維裝調裝置的一個實施例的結構示意 圖。如圖1所示，該四維裝調裝置包括真空腔體1、反射鏡片2、鏡片支撐架3、卡壓系統4、 滑動系統5、第一調節系統6和第二調節系統7。為了清楚顯示的目的，圖1中的真空腔體 1畫成了敞開的形式，實際上他是一個密閉的腔體。
[0038] 反射鏡片2通過鏡片支撐架3裝配于真空腔體1內，鏡片支撐架3裝配于滑動系 統5上。卡壓系統4用于將反射鏡片2和鏡片支撐架3固定在一起。
[0039] 圖2和圖3是鏡片支撐架的示意圖，圖2是正面斜視圖，圖3是背面斜視圖。如圖 2和圖3所示，由于反射鏡片一般為圓形，因此鏡片支撐架為中部開有圓形凹陷或圓形通孔 的框架結構，例如，在該實施例中，鏡片支撐架呈現一個方形的框架，中部開有一個圓形的 凹陷，凹陷的大小略大于反射鏡片2的大小。由此，反射鏡片2可以內嵌入該鏡片支撐架3 并得到支撐。
[0040] 在該實施例中，考慮承重和初步定位，鏡片支撐架3與反射鏡片2的下部分直接接 觸；鏡片支撐架的凹陷的下部具有向凹陷中心凸起的兩個凸臺31。凸臺31的形狀和位置 關于鏡片支撐架3的堅直方向的中軸線對稱。由此，反射鏡片直接通過兩個相互對稱的凸 臺與鏡片支撐架3接觸。
[0041] 優選的，凸臺31表面為圓弧面，能夠與反射鏡片的外表面貼合；除凸臺31外的凹 陷的周向為向外擴張的錐形面，以方便反射鏡片2的卡入。鏡片支撐架的凸臺31還可以是 凹陷的下部（堅直方向上的）的一個或者是凹陷的周向布置的多個。凹陷的除凸臺31夕卜 的周向還可以是直徑大于反射鏡片的圓柱形面。優選的，鏡片支撐架3水平方向的兩側開 有兩個凹槽32,凹槽32與所述圓形的凹陷相連接，以便于將反射鏡片2安放到底，也便于反 射鏡片2的拆卸。
[0042] 鏡片支撐架3的凹陷的底面布置有頂絲孔33 ( -個或者多個，圖中顯示4個）。頂 絲孔33供頂絲從鏡片支撐架3的背面穿入，以方便的將反射鏡片2頂起以脫離鏡片支撐架 3,以防止反射鏡片2吸附在鏡片支撐架3上不方便拆卸。
[0043] 鏡片支撐架3的側面設置有卡壓孔34,其連通凹陷與側面的外部。卡壓孔34用于 與卡壓系統4相連，卡壓系統4通過卡壓孔34卡壓反射鏡片2的側邊。卡壓孔34的位置 可設置于反射鏡片2的側邊上呈對稱的位置，例如兩側邊均設有上下兩個卡壓孔34。
[0044] 鏡片支撐架3的背部開有調節系統安裝孔35。調節系統安裝孔35,用于與第一、 第二調節系統6、7相連，其位置和數量與調節系統對應，例如如圖3所示，共有A、B、C、D、E 五個調節系統安裝孔，分別對應鏡片支撐架背部的正中和四周。
[0045] 鏡片支撐架3的底部（堅直方向的下部）開有底部固定孔36及底部球窩37,其均 用于與滑動系統5相連。
[0046] 該實施例反射鏡片2如圖4所示。其側面對稱開有凹形的上卡槽21和下卡槽22， 用于與卡壓系統4配合來將反射鏡片2牢固安裝在鏡片支撐架3上。裝配時要將其工作表 面23朝向凹陷的外側，其背面則需緊密地貼靠在鏡片支撐架3的凹陷的底部，以便于將反 射鏡片2上的熱量傳導到鏡片支撐架3上并導出，避免長時間工作引起反射鏡片的熱量積 累、溫度升高、從而影響反射鏡片的性能。
[0047] 圖5和圖6是該實施例的卡壓系統的結構示意圖，圖5是正面剖視圖，圖6是側面 剖視圖。如圖5和圖6所示，其由卡壓桿41和兩個離心壓頭42組成。離心壓頭42如圖7 所示，其包括離心壓頭軸421和端蓋422,離心壓頭軸421呈長圓柱形，端蓋422為扁圓柱 形，固定于離心壓頭軸421的一個端面，且離心壓頭軸421和端蓋422的中心軸在一條直線 上。
[0048] 在平行于離心壓頭軸421和端蓋422的中心軸的方向上，穿過離心壓頭軸421和 端蓋422開設一個通孔423,通孔423的中心軸與離心壓頭軸421和端蓋422的中心軸不在 同一直線上。通孔423的直徑與卡壓桿41直徑一致，以使卡壓桿41的兩端分別穿入兩個 離心壓頭42的通孔。離心壓頭42的端蓋422上開有三個長孔424,其用于旋轉離心壓頭 42并安裝固定尚心壓頭。
[0049] 鏡片支撐架3的卡壓孔34的中間部分的直徑大于卡壓桿41直徑，以便于穿過卡 壓桿41 ;鏡片支撐架3的卡壓孔34兩端部分的直徑與離心壓頭軸421的外徑一致。這樣， 卡壓桿41先由鏡片支撐架的一個側面的卡壓孔34依次穿入鏡片支撐架3并穿過反射鏡片 2的卡槽21或22到達鏡片支撐架3的另一側面的卡壓孔34,再將離心壓頭42內部的偏心 通孔423穿過卡壓桿41，同時使離心壓頭軸421插入鏡片支撐架3的卡壓孔34中。當卡壓 桿41、兩端的兩個離心壓頭42均就位后，同時朝同一方向旋轉該二個離心壓頭42,使在鏡 片支撐架3中的卡壓桿41發生位置移動。需注意的是，二個離心壓頭42的旋轉方向需要使 卡壓桿41遠離反射鏡片2的工作表面23,即向反射鏡片2的背面移動，直至移動到卡壓桿 41與反射鏡片的卡槽21或22的斜側面相切，此時確保反射鏡片2的背面緊貼在鏡片支撐 架3的凹陷內表面上；保持此時離心壓頭42的位置不變，或者根據需要再繼續在離心壓頭 42上加一定扭矩使卡壓桿以一定的預壓力壓在反射鏡片上，用螺釘通過離心壓頭端蓋422 上的三個長孔424將離心壓頭42固定在鏡片支撐架上，從而將反射鏡片2牢固安裝在鏡片 支撐架3上。
[0050] 本發明的該實施例如圖所示地包含上下兩個卡壓系統，以更加穩定可靠的將反射 鏡片牢固安裝在鏡片支撐架上；實際上，任何數量及形式的卡壓系統也能起到固定作用，都 應屬于本發明保護范疇內。
[0051] 圖8是上述實施例的滑動系統的示意圖。如圖8所示，滑動系統5包括兩個連接 板51、一個滑道板52、一個滑動球53和四個限位塊56。連接板51上開有螺紋孔，以將鏡片 支撐架3固定在連接板51上（通過圖3所示的底部固定孔36);每個連接板51的一個主 平面（下表面）焊接（或膠接或螺接）有兩個限位球頭511，這樣，四個限位球頭511分別 布置在鏡片支撐架3的四角。
[0052] 滑道板52上的一個主面平面（上表面）的中部開有一個滑動通道521，如但不限 如的舉例，滑動通道521的軸向沿著反射鏡片2工作表面23的法線方向。滑動通道521的 兩側分別開有一個軸向與滑動通道的軸向平行的限位通道522。以上各通道都為圓弧型凹 槽。滑道板52上開有螺紋孔，用于將滑道板52固定在真空腔體1的內部底板上。所述兩 個限位通道分別用于承接所述連接板51的限位球頭511。
[0053] 滑動球53置于滑道板52的滑動通道521上并能夠在滑動通道521上滑動。滑動 球53切去一部分形成一個端面，端面上形有螺紋孔，用于與第二調節系統7的雙頭螺桿相 連（將在后面說明）。
[0054] 滑道板52上滑動通道521的圓弧半徑與滑動球53的半徑一致，這樣，滑動球53 與滑道板52上滑動通道521的圓弧貼合；同時，滑動球53的半徑與鏡片支撐架3的球窩 37 (如圖3所示）的半徑一致，這樣滑動球53與鏡片支撐架3的球窩37的球面貼合，鏡片 支撐架（含反射鏡片）的重量通過滑動球53壓在滑道板52上，從而壓在真空腔體1上。
[0055] 當鏡片支撐架3 (含反射鏡片）正壓在滑動球53上時，限位通道522的圓弧面與 連接板51上的限位球頭511有一定間距，該間距能夠容許鏡片支撐架3 (含反射鏡片2)發 生三個旋轉方向要求的旋轉角度，同時當超過要求的旋轉角度時，限位球頭511觸碰到限 位通道522的弧面，使鏡片支撐架3 (含反射鏡片2)不再發生旋轉，從而保證整個旋轉運動 在安全范圍內。
[0056] 另外，四個限位塊56通過螺釘固定在滑道板52的兩條限位通道522的兩端；當鏡 片支撐架3 (含反射鏡片2)處于平移運動的中間位置時，限位塊56與連接板51上的限位 球頭511有一定間距，該間距能夠容許鏡片支撐架3 (含反射鏡片2)發生沿反射鏡片2工 作表面法線方向的平移運動范圍，同時當超過要求的位移量時限位球頭觸碰到限位塊，使 鏡片支撐架3 (含反射鏡片2)不再發生平移從而保證整個平移運動在安全范圍內。
[0057] 圖8中，滑動球53與滑道板52上滑動通道521的圓弧貼合，這樣產生線滑動摩 擦，優點是摩擦力較小、比較容易推動，缺點是容易失穩；也可以將滑動球53底部改為圓弧 柱面，使之與滑動通道521圓弧柱面貼合，這樣產生面滑動摩擦（保持滑動球上部與鏡片支 撐架球窩球面貼合），缺點是摩擦力較大、比較難推動，優點是更加穩定；它們都在本專利 保護范疇內。
[0058] 圖9是第一調節系統6的示意圖。如圖9所示，其包括旋轉導入器61、法蘭62、第 一球鉸63和第二球鉸64。旋轉導入器61從真空腔體1的外部穿過真空腔體壁伸入真空腔 體1的內部，其位于真空腔體1的外部的部分包括一個旋鈕，穿過真空腔體1伸入到其內部 的部分為一個可伸縮的軸。
[0059] 旋轉導入器61能將真空腔體外的旋鈕的旋轉運動轉化為真空腔體內的軸的直線 運動，并通過伸縮波紋管來確保運動過程中真空腔體內外的環境相互隔離；旋轉導入器為 成熟產品，如 pfeiffer 公司的 Bellows-sealed Precision Linear Feedthrough 系列。
[0060] 法蘭62焊接在真空腔體I上，用于將旋轉導入器61固定在真空腔體I上。第一 球鉸63和第二球鉸64由球頭和球窩成對配合組成，能實現相互旋轉運動；第一球鉸63的 一端（球頭或球窩）與旋轉導入器61在真空腔體內的軸端通過螺紋固連，第一球鉸63的 另一端通過螺紋連接第二球鉸64的一端（球頭或球窩），第二球鉸64的另一端通過螺紋連 接鏡片支撐架3 (通過圖3所示的調節系統安裝孔35)。
[0061] 圖10是第二調節系統7的示意圖。如圖10所示，包括旋轉導入器71、法蘭72、一 個雙頭螺桿73。旋轉導入器71與第一調節系統6的類似，能將真空腔體外旋鈕的旋轉運 動轉化為真空腔體內軸的直線運動，并通過伸縮波紋管來確保運動過程中真空腔體內外的 環境相互隔離。法蘭72焊接在真空腔體1上，用于將旋轉導入器71固定在真空腔體1上。 雙頭螺桿73的一端與旋轉導入器71在真空腔體內的軸端通過螺紋固定連接，另一端與滑 動系統5的滑動球53的端面上的螺紋孔相連。
[0062] 優選的可以在第一調節系統6和第二調節系統7的各螺紋連接處用鎖緊螺母鎖死 以確保運動過程中不發生螺紋松動。
[0063] 如圖1所示，該實施例有三組第一調節系統6,分別連接于鏡片支撐架背部的調節 系統安裝孔35上。如圖3所示，共有A、B、C、D、E五個調節系統安裝孔位置，分別對應鏡片 支撐架3的背部的正中和上、下、左、右的位置。該三組第一調節系統6可與五個安裝孔位 置中的任何三個相連。如但不限如的舉例，與A、B、C三個相連，且AB、AC間距為反射鏡片 的半徑。也可以AB、AC間距不為反射鏡片半徑，或者三組第一調節系統6與五個安裝孔位 置中的其余任何三個相連，或者安裝孔在鏡片支撐架背部的其他位置，都在本專利保護范 疇內。但是，應當注意，為了保證在三個維度上調節鏡片支撐架，與三個第一調節系統6連 接的三個安裝孔的位置與滑動球53的中心在鏡片支撐架3背面上的投影位置不在同一直 線上，即，在該實施例中，若底部球窩37的中心（即滑動球53的中心）在鏡片支撐架背面 上（即圖3中AB⑶E確定的平面）的投影位置與A、B、E在同一直線上，則三個第一調節系 統6不應當連接A、B、E這三個安裝孔。
[0064] 這樣，旋轉三個第一調節系統6的旋轉導入器61的旋鈕，使第一調節系統6中的 球鉸63和球鉸64的位置發生改變，從而帶動鏡片支撐架3 (含反射鏡片2)實現繞三個相 互垂直軸的旋轉運動，且該三個相互垂直軸都通過滑動球53的球心。
[0065] 旋轉第二調節系統7的旋轉導入器71的旋鈕，使滑動球53在滑動通道521中的位 置發生改變，從而通過與滑動球53貼合的鏡片支撐架3的底部球窩帶動鏡片支撐架3 (含 反射鏡片2)實現三個相互垂直轉動軸的原點平動。這樣，通過在真空腔體1外部的四個旋 鈕配合調節，能夠實現鏡片支撐架3(含反射鏡片2)的沿滑動通道521方向（反射鏡片工 作表面法線方向）的平移運動、繞三個過滑動球球心的相互垂直軸的旋轉運動。
[0066] 下面參照圖11說明本發明的極紫外反射鏡片四維裝調裝置的具體四維調節分 析。圖11是本發明的極紫外反射鏡片四維裝調裝置的運動簡圖。如圖11所示，第一調節 系統6在真空腔室1上安裝點分別為Dl (al，bl，cl)、D2 (a2, b2, c2)、D3 (a3, b3, c3);第二 調節系統7在真空腔室上安裝點為D4 (a4, b4, c4);鏡片支撐架上調節系統安裝孔為Al (xl， yl，zl)、A2(x2, y2, z2)、A3(x3，y3, z3);滑動球球心位置（即鏡片支撐架各旋轉軸的交點） 為A4(x4, y4, z4) ;D1、D2、D3、D4四點在同一平面上，A1、A2、A3、A4四點在同一平面上；桿 A1B1、A2B2、A3B3 均與平面 A1A2A3A4 垂直，桿 D1C1、D2C2、D3C3、A4D4 均與平面 D1D2D3D4 垂 直。
[0067] 對任意坐標系，在四維調節過程中，D1、D2、D3、D4四點固定不變則空間坐標已知； B1C1、B2C2、B3C3、A1B1、A2B2、A3B3 的距離為桿的長度，保持不變且已知；D1C1、D2C2、D3C3、 A4D4的距離由第一調節系統和第二調節系統來確定，可視為已知輸入量。
[0068] 每根桿與平面垂直，即與平面上任意不重合的兩直線垂直，可以列出相互獨立的 兩個方程。以桿AlBl與平面A1A2A3A4垂直為例，設A1A2:和A1A 3不在同一直線上，則
【權利要求】
1. 一種反射鏡片的裝調裝置，包括真空腔體、反射鏡片、鏡片支撐架，反射鏡片位于真 空腔體內，鏡片支撐架安裝所述反射鏡片，其特征在于：所述裝調裝置還包括滑動系統、第 一調節系統和第二調節系統，其中， 所述滑動系統也固定于真空腔體內，包括滑動通道和滑動體，滑動體置于滑動通道上 并能夠在滑動通道上滑動； 所述鏡片支撐架的底部開有球窩，以使鏡片支撐架通過所述球窩與滑動體的配合裝配 在該滑動系統上； 所述第一調節系統從所述真空腔體外伸入真空腔體內，并抵頂所述鏡片支撐架，以使 該鏡片支撐架繞穿過所述滑動體的中心的兩兩之間相互垂直的三條軸線轉動； 所述第二調節系統從所述真空腔體外伸入真空腔體內，并抵頂所述滑動體，使所述滑 動體沿著所述滑動通道滑動。
2. 如權利要求1所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，所述滑動體是球體或圓柱 體。
3. 如權利要求1所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，所述第一調節系統至少有 三個，其分別抵頂鏡片支撐架上的不同的位置，且其在伸入所述真空腔體時穿過該真空腔 體的壁的位置與所述第二調節系統在伸入所述真空腔體時穿過該真空腔體的壁的位置不 在同一直線上，它們所抵頂的位置與所述滑動體的中心在該鏡片支撐架的背面上的投影位 置不在同一直線上。
4. 如權利要求3所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，每個所述第一調節系統包 括兩個球鉸。
5. 如權利要求1所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，還包括卡壓系統，其用于將 所述反射鏡片固定于所述鏡片支撐架上。
6. 如權利要求5所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，所述卡壓系統包括卡壓桿 (41)和兩個離心壓頭（42)，其中， 所述離心壓頭（42)包括離心壓頭軸（421)和端蓋（422)，離心壓頭軸呈長圓柱形，端蓋 為扁圓柱形并固定于離心壓頭軸的一個端面，所述離心壓頭軸和端蓋的中心軸在一條直線 上； 在平行于離心壓頭軸和端蓋的中心軸的方向上，穿過離心壓頭軸和端蓋開設一個通 孔，所述通孔的中心軸與離心壓頭軸和端蓋的中心軸不在同一直線上，且所述通孔的直徑 與所述卡壓桿的直徑一致，以使所述卡壓桿的兩端分別穿入所述兩個離心壓頭的通孔。
7. 如權利要求6所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，所述鏡片支撐架的兩個側 面設置有卡壓孔（34)，所述反射鏡片的側面開有卡槽，其中，所述卡壓桿先由所述鏡片支撐 架的一個側面的卡壓孔依次穿入所述鏡片支撐架并穿過所述反射鏡片的卡槽（21，22)到 達所述鏡片支撐架的另一側面的卡壓孔。
8. 如權利要求1所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，所述滑動體為滑動球（53)， 其切去一部分形成一個端面，該端面用于與所述第二調節系統（7)相連。
9. 如權利要求8所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，所述滑動系統還包括兩個 連接板（51)和一個滑道板（52)，其中 所述連接板用于固定所述鏡片支撐架，每個連接板的下表面有兩個限位球頭（511); 所述滑動通道（521)開在所述滑道板上； 所述滑動通道的兩側分別開有一個軸向與該滑動通道的軸向平行的限位通道（522)， 所述兩個限位通道分別用于承接所述限位球頭。
10.如權利要求8所述的反射鏡片的裝調裝置，其特征在于，所述滑動系統還包括限位 塊（56)，其固定在所述限位通道的兩端。
【文檔編號】G03F7/20GK104391367SQ201410545200
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年10月15日 優先權日:2014年10月15日
【發明者】陳進新, 王宇, 吳曉斌, 謝婉露, 王魁波, 崔惠絨 申請人:中國科學院光電研究院