技術總結
本發明屬于傳感器領域，并公開了一種基于微電子機械系統的光子晶體納米流體傳感器，包括光刻膠層、硅晶片基底、第一折射率材料薄膜層、第二折射率材料薄膜層和聚合物材料封接層，所述第二折射率材料薄膜層的頂端設置有方波形的光柵結構，所述光柵結構包括多個通槽和多個凸起并且它們交替排列，所述光刻膠層、硅晶片基底、第一折射率材料薄膜層和第二折射率材料薄膜層共同構成傳感器基體層，所述傳感器基體層上設置有進流口和出流口本。本傳感器為基于光子晶體的納米流體傳感器，成功解決了傳統的光子晶體傳感器消耗檢測物過多、檢測時間長、測試精度不高的問題，同時，也消除了傳統納米流體傳感器功能單一、結構不穩定、通道少的問題。
技術研發人員：陳幼平;彭望;艾武;張代林;張岡;謝經明
受保護的技術使用者：華中科技大學
文檔號碼：201611073288
技術研發日：2016.11.29
技術公布日：2017.05.10