本發明涉及一種顯示面板及制程材料,尤其涉及一種反射式顯示面板及濺射靶材。
背景技術:
1、反射式顯示面板主要是利用自然光或環境光作為光源來進行顯示。因此,常應用在戶外或光線充足的場域,例如室外廣告牌、電子卷標、運動手表等。考慮高反射率和低電阻率,銀為所有金屬元素中作為反射層的首選。然而,由于銀元素的抗化學性、抗熱性、耐候性都不好,且具有高的電化學遷移率,致使銀的應用存在許多的問題和限制。
技術實現思路
1、本發明是針對一種反射式顯示面板,其反射層具有較佳的光學穩定性與耐用性,且反射率也較高。
2、本發明是針對一種濺射靶材,其沉積的膜層具有較佳的抗熱性與抗化學性,且抗晶粒凝聚的效果也較佳。
3、根據本發明的實施例,反射式顯示面板設有像素結構。像素結構具有反射區,且包括主動元件、絕緣層與反射層。絕緣層設置在主動元件上方。反射層設置在絕緣層上且位于反射區中。反射層包括銀合金層。銀合金層的材料包括重量百分比大于90%的銀以及重量百分比大于或等于2%且小于或等于8%的銦。
4、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,銀合金層的材料還包括銻與鈀的至少一者。
5、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,銀合金層的材料還包括重量百分比小于或等于3%的銻。
6、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,銀合金層的材料還包括重量百分比小于或等于3%的鈀。
7、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,反射層還包括保護層,覆蓋銀合金層。保護層的材料包括透光導電材料或透光絕緣材料。
8、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,保護層的材料選自氧化物、氮化物與氮氧化物的至少一者。
9、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,銀合金層與保護層是于同一制程設備中連續成膜形成。
10、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,反射層還包括夾設在絕緣層與銀合金層間的緩沖層,且緩沖層的材料包括導電材料。
11、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,銀合金層的厚度為70納米至200納米。
12、在根據本發明的實施例的反射式顯示面板中,反射式顯示面板為全反射式顯示面板或是透反式顯示面板。
13、根據本發明的實施例,濺射靶材適于沉積上述的銀合金層。濺射靶材的材料包括重量百分比大于90%的銀以及重量百分比大于或等于2%且小于或等于8%的銦。
14、基于上述,在本發明的一實施例的反射式顯示面板中,用來沉積反射層的濺射靶材,其材料除了重量百分比大于90%的銀以外,還包括重量百分比大于或等于2%且小于或等于8%的銦。因此,利用所述濺射靶材沉積出的銀合金層,其抗化學性與抗熱性都可獲得顯著的提升,從而增加反射層的光學穩定性與耐用性。除此之外,上述的銀合金層還可具有較小的表面粗糙度,有助于保持銀合金材料的高反射率。
1.一種反射式顯示面板,設有像素結構,其特征在于,所述像素結構具有反射區,且包括:
2.根據權利要求1所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述銀合金層的材料還包括銻以及鈀的至少一者。
3.根據權利要求2所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述銀合金層的材料還包括重量百分比小于或等于3%的銻。
4.根據權利要求2所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述銀合金層的材料還包括重量百分比小于或等于3%的鈀。
5.根據權利要求1所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述反射層還包括:
6.根據權利要求5所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述保護層的材料選自氧化物、氮化物及氮氧化物的至少一者。
7.根據權利要求5所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述銀合金層與所述保護層是于同一制程設備中連續成膜形成。
8.根據權利要求1所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述反射層還包括夾設在所述絕緣層與所述銀合金層間的緩沖層,且所述緩沖層的材料包括導電材料。
9.根據權利要求1所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述銀合金層的厚度為70納米至200納米。
10.根據權利要求1所述的反射式顯示面板,其特征在于,所述反射式顯示面板為全反射式顯示面板或是透反式顯示面板。
11.一種濺射靶材,適于沉積如權利要求1所述的銀合金層,其特征在于,所述濺射靶材的材料包括重量百分比大于90%的銀以及重量百分比大于或等于2%且小于或等于8%的銦。