專利名稱：利用文件服務器的自動化系統及其控制方法
技術領域：
本發明涉及自動化系統及其控制方法，特別是涉及有關制造半導體或薄膜晶體管液晶顯示器(thin film transistor liquid crystal display；以下稱TFT-LCD)等時使用的自動化系統及其控制方法。
過去用于制造TFT-LCD等工程時使用的自動化系統如
圖1所示，它包括多個設備30a-30n；與多個設備一對一連接的多個設備服務器20a-20n；和，控制設備服務器的主機10。
多個設備30a-30n在多個設備服務器20a-20n的控制下，對作業對象的組合物(如，盒)40)內的作業對象(如，玻璃、晶片等)進行作業。然后，設備30a-30n把作業結果數據傳送給相對應的設備服務器20a-20n。
下面參照圖1，以TFT-LCD的作業過程為例，對過去使用的自動化系統進行說明。在圖1中，假設第1設備30a為檢測器，第2設備30b為補修器。
首先，檢測器30a從自動運送裝置(圖中未示出)運來的盒40(作業對象組合物)中取出玻璃，對各玻璃進行檢測。把檢測結果數據存儲在檢測器內的硬盤中。檢測完的盒40被自動運送裝置運送到補修器30b。
補修器30b有必要根據檢測器30a的檢測結果對玻璃進行補修。所以，在使用以往的系統時，工作人員先用軟盤50復制檢測器內的檢測結果數據，然后輸入到補修器。這樣，補修器根據檢測器的檢測結果數據對玻璃進行補修。
如上所述的現有系統中，存在如下缺點第一，把檢測器所進行的檢測結果數據存儲在檢測器內的硬盤，工作人員必須親自用軟盤50復制該硬盤內的數據，再輸入到補修器內；第二，因可能發生的軟盤50錯誤而耽誤不必要的時間。第三，因工作人員手動操作軟盤50，所以，有可能輸入別的作業物的檢測結果數據，從而使補修器執行錯誤的命令。
為了解決上述問題，在現有技術中，采用了利用RS-232C電纜等串行通信線代替軟盤來連接檢測器和補修器，以將檢測結果數據直接傳送到補修器的方法。
但是，因RS-232C電纜是以一對一的傳遞方式使用的，所以數據只能在RS-232C電纜連接的檢測器與補修理器之間傳送。所以，在使用RS-232C電纜的現有技術中，要使其他多個設備也利用其中一個設備的作業結果數據是不可能的，所以只能是工作人員親自移動軟盤。另外，當利用RS-232C電纜的方式時，因其傳送速度緩慢，所以在傳送容量大的作業結果數據時需要相當長的時間。
本發明為了解決上述現有技術中的缺點，把每個設備通過網絡與文件服務器相連接，使所有設備共享其中一個設備的作業結果數據，從而使每個設備可以自由地使用其他設備的作業結果數據。
為了實現上述目的，本發明設置了與各設備相聯網的文件服務器，把各設備所執行完的作業結果數據存儲在文件服務器內，從而使后執行的設備可以自由地使用前一設備所執行完的作業結果數據。
根據本發明的第一方面的自動化系統包括對作業對象進行不同作業的多個設備；與多個設備聯網的存儲各設備作業結果數據的一個以上的文件服務器；與多個設備一對一連接的控制各設備的多個設備服務器；和，向相應各設備服務器提供各設備作業所需數據的主機。
在這里，每個設備可以通過文件服務器共享其他各設備的作業結果數據，所以，各設備可以自由地利用其他設備的作業結果數據而進行作業。
另外，上述自動化系統還可包含自動運送作業物到各設備的自動運送裝置，該自動運送裝置受從主機得到指令的自動運送裝置控制器的控制。
另外，上述自動化系統還可包括與文件服務器相連系的接口(interface)，可使工作人員直接利用文件服務器內的作業結果數據。
根據本發明第二方面的微電子裝置的自動化系統包括為了檢查基片而設的包括檢測器在內的多個設備；與多個設備聯網，存儲各設備對基片的作業結果數據，并使該數據讓各設備共享的一個以上的文件服務器；與各設備一對一連接的控制各設備作業的多個設備服務器；和，與設備服務器聯網，向各設備服務器提供各設備作業所需數據的主機。在這里，主機有自己的數據庫，它以基片固有的編號為基礎通過訪問數據庫而獲得有關的數據。
另外，上述多個設備中還可包括以檢測器的檢測結果數據為基礎，對基片進行補修工作的補修器。這時，檢測器把對基片的檢測結果數據存儲到文件服務器內，而補修器從文件服務器中讀取檢測結果數據，并利用其進行補修工作，然后把補修結果數據存儲到文件服務器內。
另外，在上述自動化系統中，還可以包括可以利用通過檢測器存儲到文件服務器中的檢測結果數據，對基片的檢測內容直接觀察的肉眼觀測裝置，并且，可以讓該肉眼觀測裝置自動移到不良曲線圖，而使工作人員得以直接觀測。
另外，上述微電子裝置的自動化系統還可以包括與文件服務器相連，可以使工作人員直接利用存儲在文件服務器內的作業結果數據的接口部；和，受主機控制的能夠把基片自動運送到各設備的自動運送裝置。
根據本發明第三方面的工程控制方法包括辨認裝載到第1設備的作業物的步驟從控制器獲得讓第1設備開始作業的命令的步驟；從文件服務器內讀取第1設備作業所需的其他設備的前一作業結果數據的步驟；利用前一設備作業結果數據在第1設備上進行作業的步驟；和，把在第1設備中完成的作業結果數據存儲到文件服務器內的步驟。
在這里，文件服務器與包括第1設備在內的多個設備是聯機的。
根據本發明第四方面的自動化系統控制方法包括把基片裝載到第1設備的第1步驟；第1設備對基片進行作業，并把作業結果數據存儲到文件服務器內的第2步驟；從第1設備卸去基片的第3步驟；搬運基片并裝載到第2設備的第4步驟；第2設備作業前從文件服務器中讀取第1設備的作業結果數據，并利用該數據進行作業，而后把在第2設備完成的作業結果數據存儲到文件服務器內的第5步驟；和，從第2設備卸去基片的第6步驟。在這里，文件服務器與多個設備聯網，使得各設備的作業結果數據實現了共享。
參照附圖對本發明的詳細描述，本發明的上述目的、特征和優點將變得更加清楚，附圖中圖1是以往系統的示意圖；圖2是根據本發明實施例的自動化系統的通信結構圖；圖3是使用在本發明實施例的設備示意圖；圖4是根據本發明第1實施例的自動化系統結構圖5是根據本發明第2實施例的自動化系統結構圖；圖6是圖5中文件服務器的詳細結構圖；圖7是根據本發明實施例的自動化系統控制方法的簡單流程圖；圖8a至圖8c是根據本發明實施例的自動化系統控制方法的局部流程圖；及圖9是根據本發明實施例的自動化系統控制方法的信息流程圖。
下面參照附圖并根據本發明最佳實施例對自動化系統進行說明。為方便起見，下面以制作TFT-LCD為例對自動化系統進行說明。
如圖2所示，主機100是通過TCP/IP與設備服務器200、文件服務器400及自動運送裝置(AGV)控制器500聯網，并通過預定的信息互相交換數據或下達控制指令。
自動運送裝置控制器500得到主機100的指令后通過無線通信向自動運送裝置600發出指令。自動運送裝置600根據自動運送裝置控制器500的指令向指定的設備300輸送盒或從指定的設備300自動運走完成作業的盒到下一設備。在完成上述作業后，自動運送裝置600通過無線通信方法向自動運送裝置控制器500發送信息。這時，自動運送裝置控制器500通過網絡再向主機100傳送相應的信息，從而使主機100能夠有效地管理自動運送裝置600。
設備300與設備服務器200以一對一的SECS(Semiconductor EquipmentCommunication Standard，半導體設備標準通信)通信方式連接，與文件服務器400通過TCP/IP方式相連接。設備300有多個待作業所(queue)310a-310n，每個待作業所310a-310n占用設備300的一個端口(port)。
當自動運送裝置600把盒運到第1待作業所310a時，第1待作業所310a所使用的端口1發生事件(Event)(即，表示第1待作業所置有盒的事件)。這時，設備300得到發生事件的信息，并向設備服務器200傳送要求對運到第一待作業所310a的盒進行作業的信息。用這種方法，設備300內的各端口在待作業所310a-310n中，如果有盒運來，則發出端口正在使用的事件，而盒被搬走時則發出端口沒有盒的事件。
圖3是表示圖2中設備300的詳細圖。
如圖3所示，設備300中有實際進行作業的工作臺340和可以使工作人員通過直接觀察而操作設備的控制面板360。工作臺340上設有用于閱讀盒內玻璃(作業對象Mm)編號(以下稱玻璃編號)的校驗碼閱讀器(VCR)350。另外，在設備300的多個待作業所310a-310n中，設有能夠與各自的自動運輸裝置進行無線通信的傳感器320a-320n，還有，為了讀出運送到待作業所310a-310n的盒的編號而設的條形碼閱讀器330a-330n。
放在待作業所的盒中的玻璃，以一個或者n個為單位的集合(稱為一批量，lot)運到工作臺進行處理。即，搬運機器人370從放在待作業所的盒中取出一個玻璃或一批量。把它搬運到工作臺340上。然后，安裝在工作臺上的VCR 350就讀出一個玻璃的編號(玻璃編號)或一批量的編號(一批量編號)，并把其數據顯示在設備控制面板360上。
下面根據實施例對本發明的自動化系統結構圖做說明。
圖4是根據本發明的第一實施例的自動化系統結構圖。
如圖4所示，根據本發明的第1實施例的自動化系統包括多個設備300a、300b、300c、300d；與多個設備一對一連接的多個設備服務器200a、200b、200c、200d；保存多個設備作業結果數據的文件服務器400；和，與多個設備服務器相連接的主機100。
圖4中，主機100具有自己的數據庫110，它根據盒的編號以及玻璃編號(或者一批量編號)，通過訪問數據庫110來執行必要的作業，然后，把作業結果通過預定的信息向各設備服務器200a、200b、200c、200d下達指令。另外，主機通過控制自動運送裝置來實現盒在各設備300a、300b、300c、300d之間按規定的順序自由移動。即，主機向自動運送裝置控制器發出指令，要求自動運送裝置移動到所指定的設備，如300a，自動運送裝置控制器通過無線通信來使自動運送裝置移到指定的設備300a。
各設備服務器200a、200b、200c、200d，在各設備300a、300b、300c、300d與主機100之間，通過對盒與盒內多個玻璃或者一批量的信息的連接來實現對各設備300a、300b、300c、300d的控制。
下面，假設第1設備300a為檢測器，第二設備300b為補修器，通過補修器如何使用檢測器的檢測結果數據(第一作業結果數據)來說明本系統的工作過程。
首先，主機100通過控制自動運送裝置600來將盒650運送到檢測器300a。如果內裝有多個玻璃的盒650被移到檢測器300a，那么，因檢測器300a與檢測器服務器200a及主機100相連接，所以受其控制而進行作業。
當檢測器300a對盒650內所有玻璃或者部分玻璃進行不良檢查(比如短路或斷線等)后，把檢測結果數據傳送到文件服務器400。這時，被傳送到文件服務器100的數據是以未加工的數據(以下簡稱‘未加工數據’)的形式保存的。這種未加工數據可以包括各玻璃的不良坐標數據、不良圖像數據或不良內容(如，短路，斷線等)數據等。另外，檢測器300a把在檢測過程中發生的檢測結果數據，經過加工后，通過一對一通信方式傳送給檢測器服務器200a。比如它可包括不良玻璃的個數等。
這時，從檢測器300a傳送到文件服務器400的未加工數據一般容量很大，所以本發明的第1實施例中文件服務器400與檢測器300a之間是以TCP/IP方式連接的，從檢測器300a傳送到檢測器服務器200a的已加工的數據因容量小，所以使用SECS通信方法連接。
當檢測器300a檢查完盒650內的玻璃時，主機100控制自動運送裝置600把盒650運送到補修器300b，這時補修器300b從文件服務器400中讀取上述盒(正確地說，應該是盒內的玻璃)的檢測結果數據(未加工數據)，這時，補修器300b根據盒的編號從文件服務器400中讀取檢測器300a對盒650的檢測結果數據。
補修器300b利用對盒的檢測結果數據，對盒內的玻璃進行補修作業。與檢測器300a相同，補修器300b也是通過補修器服務器200b及主機100相連接，從而控制作業的進行。
當補修器300b完成補修作業后，補修作業結果中容量大的未加工數據(如，補修完的坐標數據、補修內容等)保存在文件服務器中，而加工的數據(如，補修完的玻璃數等)傳送給補修器服務器200b。
如上所述，根據本發明的第1實施例，在檢測器300a中完成的檢測結果(未加工數據)存儲在文件服務器400內，補修器300b可利用該數據進行補修作業，所以說各設備之間實現了數據的共享。
但是，在第1實施例中，因檢測器300a與補修器300b在作業結束后不是把加工的數據保存在文件服務器400內，而是直接傳送給檢測器服務器200a或補修器服務器200b，所以有可能發生以下問題。即，當檢測器300a與補修器300b向檢測器服務器200a或補修器服務器200b傳送已加工數據時，一但發生通信誤差，就沒有辦法恢復該數據。
本發明的第2實施例是基于解決上述問題而提出的。
如圖5所示，根據本發明的第2實施例的自動化系統包括多個設備800a、800b、800c、800d；與多個設備一對一連接的多個設備服務器700a、700b、700c、700d；存儲多個設備作業結果數據的文件服務器900；和，與主機1000相連接的、為了與工作人員相聯系用的用戶接口(interface)部1100。
在圖5中，在文件服務器900內存儲的作業結果數據不僅有未加工數據而且還包含已加工數據。即，在本發明第2實施例中，多個設備800a、800b、800c、800d在完成各自的作業后，與第1實施例不同，它把已加工數據和未加工數據一起存儲到文件服務器900內，向設備服務器700a、700b、700c、700d只傳送已經向文件服務器900存儲了的事件(EVENT)。然后，設備服務器700a、700b、700c、700d就可以直接從文件服務器900中讀取上述已加工數據。
所以，從設備傳送信息給設備服務器時，即便產生通信誤差而沒能把信息傳送給設備服務器，也因為已加工數據已經存儲在文件服務器內，所以，還可以用下面的方式傳送已加工數據給文件服務器。即，如果設備在作業完成后沒有傳送事件(EVENT)，工作人員通過與主機連接促使其發生事件(EVENT)，也就是說，工作人員可在與主機連接的用戶接口部1100中產生事件(EVENT)，然后，設備服務器就會從文件服務器中讀取必要的已加工數據。
圖6是圖5的文件服務器的詳細結構圖。
如圖6所示，各設備800a-800n是與各相應文件服務器內的一個磁盤910a-910n相連接的，另外，多個設備800a-800n共同與一個磁盤910n+1相連接。
各設備的作業結果數據與前面所述的相同，分為未進行加工的未加工數據和進行加工后以統計形式利用的已加工數據。
根據本發明的實施例，上述未加工數據因容量大，所以存儲在各設備相對應的磁盤內，而上述已加工數據因容量不是很大，又考慮到管理的效率，所以存儲在各設備共享的磁盤910n+1內。另外，對存儲容量非常大的數據，如，補修器的未加工數據中的不良圖像的數據，也可以配用另一磁盤存儲。
為了尋找數據的方便，將使用在文件服務器中的磁盤用設備名稱形成目錄。比如，當第1設備700a使用文件服務器的第1磁盤910a時，在目錄中是“/diskl/eqpid 1”，當第1設備700b使用文件服務器中的第n+1硬盤910n+1時，在目錄中是“/diskn+1/eqpid 1”。
所以，第1設備的未加工數據存儲在“/disk 1/eqpid 1”內，而第1設備的已加工數據存儲在/disk n+1/eqpid 1”內。
下面對根據本發明實施例的自動化系統的控制方法進行說明。
圖7是根據本發明實施例的自動化系統控制方法的簡單流程圖，在圖7中，為了說明上的便利，把圖2至圖5中的設備服務器和主機視為控制部。下面對檢測及補修工作進行說明，在這里我們把第1設備視為檢測器，把第2設備視為補修器。
首先，判斷相應于檢測器第1待作業所的第1端口是否可以使用S3，如果端口可以使用，那么檢測器向控制部發出要求提供盒的信息S6。
收到要求提供盒的信息的控制部，首先檢索自己的數據庫，查出需要作業的玻璃所處的盒的編號，然后指令自動運送裝置把檢索到的盒裝載到檢測器S9。
然后，自動運送裝置就會從儲料庫搬運盒到相應的檢測器待作業所。這時，在安裝在檢測器第1待作業所的條形碼閱讀器閱讀盒的編號后，向控制部報告盒已經裝載完畢S12。在這里，向控制部報告的信息中包括盒的編號。
控制部根據盒的編號來判斷檢測器是否處于可作業狀態，如果是處于可作業狀態，就下達開始作業命今S15。這時，與開始作業命令同時下達作業所需的其他信息數據。
得到開始作業命令的檢測器，如果沒有正在進行的作業，那么就馬上開始進行作業，如果正在進行其他作業，那么在作業完成后馬上開始進行作業S18。檢測器對盒內的各玻璃進行檢測，把檢測結果數據(未加工數據或者已加工數據)存儲到文件服務器內。這時，檢測器可以每檢測完一個玻璃就把檢測結果數據存儲到文件服務器中，也可以檢測完全部的玻璃后，一次性地存儲到文件服務器。當檢測結果數據全部存儲到文件服務器后，檢測器就向控制部報告已完成作業S21。
然后，控制部通過檢測器讀取存儲在文件服務器內的未加工數據，并且為了統計數據或者圖像數據而進行多種方式的處理。然后，控制部向自動運送裝置下達卸去盒的命令S24。
得到卸去盒的命令的自動運送裝置從檢測器把已檢測完的盒運走。當從檢測器卸去盒的工作完成后，檢測器就向控制部報告已完成卸去工作S30。
然后，控制部就在自己的數據庫中記錄盒在檢測器中已完成作業的信息。在檢測器中完成作業的盒須移送到下一作業工序的補修器進行補修工作，所以控制部就對自己的數據庫進行訪問，訪問補修器內的多個端口信息，如果查到補修器內有空的可使用的端口(即，待作業所)，那么，控制器就會向自動運送裝置下達把盒運送到補修器待作業所的命令。
然后，自動運送裝置就會把盒裝載到上述待作業所，而補修器如同檢測器一樣進行作業。這時，補修器在開始作業前從文件服務器中讀取檢測器對盒的未加工數據(如，不良坐標數據或不良內容等)，然后對盒內的不良玻璃進行補修作業。補修器在完成作業后，把未加工數據(如，補修完的坐標數據或補修內容等)或已加工數據存儲到文件服務器內。
下面，對上述控制部，分別就其設備服務器與主機的作用及信息交換進行詳細說明。
設備服務器具有對設備直接控制的程序，每當設備發生事件時，它是以事件激勵(event-driven)方式驅動的。另外，設備服務器把設備傳送來的包括盒的編號在內的信息，以與主機預定的特定方式傳送給主機，而主機參照數據庫把相應的盒的信息以預定的特定方式傳送給設備服務器。然后，設備服務器根據該信息再向設備下達指令。因為設備服務器是與文件服務器相連的，所以在必要時，既可以從文件服務器中讀取所需的數據，也可以把數據存儲到文件服務器內。
設備服務器最重要的作用是，當從設備得到作業完成信息時，與文件服務器連接，讀取作業結果數據并進行加工，然后傳送給主機。當從主機得到特定的信息時，利用該信息對設備進行遠距離控制。
主機的作用是，第一，維持和管理玻璃(包括一批量)和盒的狀態，并對玻璃或一批量的作業過程進行時間安排；第二，管理自動運送裝置的狀態，使內有玻璃的盒能夠從設備到設備、從設備到儲料庫、從臨時保管處到設備、從儲料庫到儲料庫自由移動；第三，管理包括設備內多個端口在內的各種狀態，和作業結果數據等整個工程過程，所以，主機內就需要有管理上述各機能的數據庫。
圖8a至圖8e是根據本發明實施例的自動化系統控制方法的局部流程圖。圖9是根據本發明實施例的自動化系統控制方法的信息流程圖。
下面還是用檢測器和補修器的作業過程來說明。
檢測器首先判斷端口(待作業所)是否可以使用，S100，如果待作業所的盒已經卸去，待作業所處于可以作用的狀態時，檢測器向檢測器服務器傳送要求把盒裝載到待作業所的盒裝載要求信息(CST_Reg_toEQsrv)S110。
收到要求把盒裝載到待作業所的盒裝載要求信息(CST_Req_toEQsrv)S115的檢測器服務器再向主機傳送盒裝載要求信息(CST_Req_toHost)S120。當主機收到盒裝載要求信息(CST_Req_toHost)S125后，主機從自己的數據庫進行檢索，找出需檢測器進行檢測的玻璃。然后，主機呼出自動運送裝置控制器，向其下達把盒運送到檢測設備的指令(Load_cmd)S135。
然后，自動運送裝置控制器就會使自動運送裝置把盒從儲料庫中(或從其他設備)運送到檢測器140。這時，自動運送裝置與檢測器通過無線通信聯系S145、S150，把盒裝卸到待作業所S155。
當盒被搬上待作業所時，通過待作業所內的自動傳感器檢測到，并自動固定S160，隨后，條形碼閱讀器閱讀盒的編號S165。這時檢測器自動把盒裝載完的事件(Load_End_Event)傳送給檢測器服務器S170。
當檢測器服務器收到裝載完的事件(Load_End_Event)時S175，檢測器服務器向主機傳送要求盒的數據的信息(CSTInfo_Rcq_toHost)，在主機的數據庫中更新設備狀態及端口信息S180。
實際上，這種設備狀態及端口信息的更新過程既可以經檢測器服務器直接通過網絡執行，也可以是主機從設備服務器得到更新信息后自己實行。即，因為設備服務器與主機是通過網絡連接的，所以，實際上主機上的數據庫既可以通過主機也可以通過設備服務器得到更新。只是主機內的數據庫的訪問權利是只給主機還是只給設備服務器的問題，運在于程序設計人員的選擇。
當主機收到要求盒的數據的信息(CSTInfo_Req_toHost)時，主機通過利用盒的編號對上述所需要的數據在數據庫內進行檢索S190。當檢索完后，主機把相應的數據以盒的數據應答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)的形式向檢測器服務器傳送，S195。這個盒的數據應答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中包括諸如當前盒數據的、存儲于盒內玻璃或一批量的數據；作業內容；作業程序；玻璃或一批量在盒內的位置；作業方法；數量等數據。
當檢測器服務器收到盒的數據應答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)后S200，檢測器判斷是否處于可進行檢測作業狀態，即，檢測器服務器從盒的數據應答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中得到有關盒的數據后，檢查該盒是否是能夠進行檢測的正常的盒S205。如果盒的數據正常，那么從上述盒的數據應答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中獲得有關玻璃(一批量)的數據，檢查該數據是否正常S210。檢測器服務器得到的盒的數據如上所述，有可能只是盒的數據，也有可能是盒內的玻璃或一批量的數據或作業內容數據，所以檢測器服務器綜合上述各數據對檢測器狀態進行判斷。這時，如果檢測結果是非正常，那么就會變成非常狀態(abort status)S245，如果是正常，那么就向主機傳送正常開始作業要求信息(TKIN_Req_toHost)S215。
當主機收到正常開始作業要求信息(TKIN_Req_toHost)S220后，反復進行對設備服務器進行的驗證過程。
這種在主機與設備服務器進行反復驗證是為了確保正確控制，必要時，設計人員可以只在主機或設備服務器中進行驗證。
如果認為在主機中進行驗證的結果認為是正常的，那么主機就會在數據庫記錄開始作業S225③，向檢測器服務器傳送正常作業開始應答信息(TKIN_Ans_toEQsrv)S230 。
檢測器服務器在收到正常作業開始應答信息(TKIN_Ans_toEQsrv)S235后，檢測器服務器判斷主機驗證的結果是否正常S240，如果是非正常，則處理為非正常狀態S245，如果是正常，則為了向檢測器下達指令而對主機所下達的所有指令進行綜合構成S250。然后，檢測器服務器向檢測器下達開始作業的指令(Start_Cmd_toEQ)S255。這種開始作業的指令(Start_Cmd_toEQ)中包含檢測器應如何進行作業的詳細信息。即，主機向檢測器服務器傳送的作業指令都包括在開始作業的指令(Start_Cmd_toEQ)中而傳送到檢測器。這種作業指令中包括過去作業結果數據在文件服務器中的位置信息、作業完成后應如何存儲作業結果數據的信息、進行不同作業的各玻璃的信息以及在檢測器中應進行作業的條件和參數設置等。
檢測器在得到開始作業指令(Start_Cmd_toEQ)S260后，檢查開始作業指令(Start_Cmd_toEQ)S260中是否含有作業所需的一切數據S265。這時，如果有遺漏的信息或者實際上檢測器處于無法啟動狀態時，就使其處于非常狀態S270。當檢查結果是正常時，如果沒有正在進行的作業，那么，立即開始進行作業S275，如果正處于作業狀態，那么就等到作業完后，開始進行新作業。
作業開始后，檢測器綜合作業指令與玻璃編號或一批量編號，并與文件服務器連接S280，讀取以盒的編號(實際上盒的編號、一批量的編號、玻璃編號是相鏈接的)存儲的以前作業的結果數據，然后對盒內的玻璃進行作業S285④。如果檢測器認為對盒內的玻璃作完了檢測工作，那么檢測器就對作業指令和玻璃或一批量的編號相組合后再與文件服務器連接，把各自的未加工數據(不良坐標數據，不良內容)或已加工數據(發生不良特征的玻璃的數等)存儲到文件服務器中指定的位置S300。
當檢測器結束對所有玻璃的作業后，向檢測器服務器傳送存儲完成報告信息(Save_End_toEQsrv)S305。檢測器服務器在得到上述信息后，檢測器服務器與文件服務器連接S315，讀取作業結果數據(主要是已加工數據)S320。在這里，作業結果數據包括玻璃編號、設備編號、工序編號、作業開始時間或作業完成時間，對玻璃的不良信息或工序數據等。利用這種作業結果數據，檢測器服務器可以進行對特定玻璃的拒絕、或對盒內玻璃(一批量)位置的調整、或指示對特定玻璃的再作業，以及為分析數據而收集數據S325。
然后，檢測器服務器向主機傳送要求對這些數據進行加工的數據加工要求信息(Dcoll_req_toHost)S330。
當主機收到該信息S335后，對上述數據進行加工處理S340，然后向檢測器服務器傳送數據加工應答信息(Dcoll_Ans_toEQsrv)S345。
檢測器服務器收到該信息S350后，判斷該數據的加工處理是否正常S355。在這過程中，如果主機對數據的加工處理是非正常，那么檢測器服務器就利用與主機相連的用戶接口部來等待工作人員輸入必要的數據S360。
當檢測器完成所有作業時，檢測器向檢測器服務器傳送作業完成報告信息(Work_End_toEQsrv)，該作業完成報告信息(Work_End_toEQsrv)有可能比前述存儲完成報告信息(Save_End_toEQsrv)先傳送S370。
檢測器服務器在收到作業完成報告信息(Work_End_toEQsrv)S375后，向主機傳送正常作業結束要求信息(TKOUT_Req_toHost)S380。
在主機收到該正常作業結束要求信息(TKOUT_Req_toHost)后，主機對自己的數據庫進行作業完畢的處理S390，然后向檢測器服務器傳送正常作業結束應答信息(TKOUT_Ans_toEQsrv)S395。
檢測器服務器在收到該正常作業結束應答信息(TKOUT_Ans_toEQsrv)S400后，判斷主機是否正確處理了作業完成S405，在這過程中，如果結果為非正常，那么就呼叫工作人員S415。
如果上述過程是正常，那么檢測器服務器就判斷是否已卸去S410。這樣檢查是否已卸去的原因是防止檢測器作業完成后，在檢測器服務器向主機傳送的正常作業結束要求信息(TKOUT_Req_toHost)與檢測器向檢測器服務器傳送的卸去要求信息(Unload_Req_toEQsrv)之間可能發生的互相顛倒。
如果還沒有卸去，那么檢測器服務器重新向主機傳送卸去要求信息(Unload_Req_toHost)，主機接收該信息S425后，向自動運送裝置發出運送指令S450，檢測器向檢測器服務器傳送卸去要求信息(Unload_Req_toEQsrv)S430，解除對盒的固定S435。
檢測器服務器收到該信息(Unload_Req_toEQsrv)S440后，就卸去S445。然后，檢測器服務器執行自己的程序，然后向主機傳送卸去要求信息(Unload_Req_toHost)。
得到該信息(Unload_Req_toHost)的主機把從檢測器得到的完成作業的信息存儲在自己的數據庫中，然后向自動運送裝置下達卸去(Unload_Cmd)的命令S450。
自動運送裝置重新移動到檢測器S445，與檢測器的自動傳感器通過無線通信聯系S460、S465，把檢測完的盒卸去S470。在檢測器通過自動傳感器得知盒已被卸去后，便向檢測器服務器發出搬運完成事件信息(Unload_End_Event)S475。
檢測器服務器收到該信息后，在主機內的數據庫中記錄端口的狀況，即，更新裝備狀態S485。這個作業也可以通過檢測器向主機傳送更新要求信息使主機直接進行。
在主機內的數據庫中，以相應的盒和玻璃等作業物的編號為準，記錄有各自的連續作業程序，所以，上述盒在完成檢測器的作業后根據數據庫提供的程序在補修器中與前一工序一樣進行作業。
在本發明實施例中所使用的文件服務器可在UNIX、WINDOWS或NT等環境中運行，但并不是局限于此。
另外，各設備與文件服務器之間的通信、文件服務器與設備服務器之間的通信和設備服務器與主機之間的通信是以網絡連接的，為了實現網絡的物理層(physical layer)，可以使用令牌網(token ring)、星形網(star)或ATM等方式，協議層(protocal layer)可以使用TCP/IP、IPX或netbeui方式，應用層(applicaltion layer)可以使用網絡文件系統(network file system)、網件(netware)或WFWG(工作群窗，Window For Work Group)等。這里所涉及的所有驅動方式并不只局限在上述方式。
另外，工作人員可以直接通過文件服務器來確認作業結果數據(如，不良內容、不良圖像信息等)。這樣工作人員就可以在遠離設備的地方(如，辦公室)，既可以通過直接確認作業內容，并通過主機對指定設備下達指令，也可以根據上述作業結果數據形成多種統計數據。
以上以檢測器和補修器為例對自動化系統進行了說明，但本發明并不局限在上述設備，在制造TFT-LCD時的其他設備(如，曝光設備，蝕刻設備，濺射設備等)理所當然也可以使用。
根據檢測器存儲在文件服務器中的檢測結構數據(特別是未加工數據)，除補修器以外，還可以使用在如下肉眼檢測裝置。
如電子顯微鏡等的肉眼檢測裝置可以直接與文件服務器或主機連接，對檢測結果數據，特別是對不良坐標數據等可以直接讀出其數據。如果上述不良坐標數據輸入到上述肉眼檢測裝置，那么檢測裝置就可自動移動到相應于上述坐標的玻璃處，據此，工作人員可以通過肉眼檢測裝置直接觀察玻璃的不良內容。
另外，本發明的實施例是以生產TFT-LCD過程說明的，但是本發明并不局限在生產TFT-LCD時使用，在生產如半導體、等離子顯示板、印刷電路板等的其他微電子設備中使用也是理所當然的，除此以外，只要是后一設備需要使用前一設備所執行的作業結果數據的一切領域(如，汽車、鋼鐵、石油、化工等)都可使用。
如上所述，不難看出本發明的優點，根據本發明，工程所需要的各設備全都能與文件服務器相連接，使得設備之間可以共享各設備的作業結果數據。所以，后一設備可以利用前一設備的作業結果數據進行作業，同時也可以利用各種統計數據。
權利要求
1．一種自動化系統，包括多個設備，用于對作業物進行相應作業；一個以上的文件服務器，與所述多個設備通過網絡相連接，用于存儲各設備作業結果數據，并使其數據能夠讓各設備共享；多個設備服務器，與所述多個設備相連接，用于控制各設備；和主機，與所述設備服務器通過網絡相連接，具有所述設備作業所需的數據，并向設備服務器提供各設備作業所需數據。
2．根據權利要求1的自動化系統，其特征在于，還包括用戶接口部，與所述文件服務器相連接，可使用戶直接利用文件服務器內的數據。
3．根據權利要求1的自動化系統，其特征在于，還包括自動運送裝置，受所述主機控制，能夠自動把作業物運送到各設備。
4．根據權利要求3的自動化系統，其特征在于，還包括自動運送裝置控制器，與所述主機有線連接，用于從主機得到指令從而控制自動運送裝置。
5．根據權利要求3的自動化系統，其特征在于，還包括設有固有編號的容器，因為自動運送裝置在搬運作業對象物時裝在一個容器內搬運，所以，為了便于識別容器而給容器設固有編號。
6．根據權利要求5的自動化系統，其特征在于所述設備包括工作臺，用于進行作業；多個待作業所，用于在開始進行作業前或完成作業后放置作業物；和機器人，用于把作業物從待作業所搬到工作臺或從工作臺搬到待作業所。
7．根據權利要求6的自動化系統，其特征在于，還包括通信裝置，用于在工作臺中閱讀作業物編號的第1閱讀器，用于在待作業所中閱讀搬運容器編號的第2閱讀器，和用于與所述自動運送裝置聯系。
8．根據權利要求7的自動化系統，其特征在于，所述設備還包括作業控制面板，用于使工作人員能夠直接觀察并控制設備。
9．根據權利要求8的自動化系統，其特征在于，所述作業物為晶片，所述搬運容器為盒。
10．根據權利要求8的自動化系統，其特征在于，所述作業物為玻璃，所述搬運容器為盒。
11．根據權利要求9或10的自動化系統，其特征在于，所述多個設備包括檢測器和補修器。
12．一種微電子裝置的自動化系統，包括包括檢測器的多個設備，用于檢測已形成圖形(pattern)的基片；一個以上的文件服務器，與所述多個設備通過網絡相連接，用于存儲所述各設備對基片進行的作業結果數據，并使其數據能夠讓各設備共享；包括檢測器服務器在內的多個設備服務器，與所述各設備相連接，用于控制各設備；和主機，與所述設備服務器通過網絡相連接，具有自己的數據庫，并根據所述基片的固有編號，從數據庫中找出與其相對應的設備作業時所需的數據，將其傳送給設備服務器。
13．根據權利要求12的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，還包括用戶接口部，與文件服務器相連接，工作人員可使用該用戶接口部直接利用文件服務器內的作業結果數據。
14．根據權利要求12的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，還包括自動運送裝置，受所述主機的控制，并能夠把基片自動地運送到各設備。
15．根據權利要求14的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，還包括自動運送裝置控制器，與所述主機有線連接，用于從主機得到指令從而控制自動運送裝置。
16．根據權利要求14的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述多個設備中包括根據檢測器的檢測結果數據對基片進行補修作業的補修器。
17．根據權利要求16的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述檢測器對基片完成檢測作業后，把檢測結果數據存儲到文件服務器，所述補修器從文件服務器中讀取檢測結果數據，并根據其數據進行補修作業，完成補修作業后把其結果存儲到文件服務器內。
18．根據權利要求17的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述檢測器對基片完成檢測后，把對檢測結果數據未進行加工的未加工數據以檢測結果數據的形式存儲到文件服務器中，對檢測結果數據進行加工后的已加工數據則傳送給檢測器服務器。
19．根據權利要求17的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述檢測器對基片完成檢測后，把對檢測結果數據未進行加工的未加工數據和進行加工后的已加工數據以檢測結果數據的形式存儲到文件服務器中，并把所述檢測結果數據已存儲的事件傳送給檢測器服務器。
20．根據權利要求19的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述未加工數據是不良坐標數據或不良內容數據。
21．根據權利要求12的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，還包括肉眼觀測裝置，其利用檢測器存儲到文件服務器中的數據，讓工作人員直接觀察基片檢測內容。
22．根據權利要求21的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述檢測結果數據只包括不良坐標數據，所述肉眼觀測裝置可以自動移到不良坐標以便于工作人員進行觀察。
23．根據權利要求12的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述多個設備與文件服務器、文件服務器與設備服務器、設備服務器與主機之間是分別通過TCP/IP方式連接的。
24．根據權利要求12的微電子裝置的自動化系統，其特征在于，所述設備與設備服務器是通過SECS通信方式連接的。
25．根據權利要求12至24中任何一項所述的微電子裝置的自動化系統，其特征在于所述基片是晶片。
26．根據權利要求12至24中任何一項所述的微電子裝置的自動化系統，其特征在于所述基片是玻璃。
27．一種自動化系統程控制方法，包括辨認搬運到第1設備的作業物的步驟；從控制部接收對作業物進行作業的指令的步驟；從文件服務器中讀取該第1設備作業所需的以前設備作業結果數據的步驟，該文件服務器與包括第1設備在內的多個設備聯機，并存儲有各設備作業結果數據；利用以前設備的作業結果數據對作業物在第1設備進行作業的步驟；和把第1設備作業結果數據存儲到文件服務器的步驟。
28．根據權利要求27的工程控制方法，其特征在于，所述以前設備是檢測器，所述第1設備是補修器。
29．根據權利要求28的工程控制方法，其特征在于，所述作業物是晶片。
30．根據權利要求28的工程控制方法，其特征在于，所述作業物是玻璃。
31．一種自動化系統控制方法，其中該自動化系統包括對基片進行相應作業的多個設備、控制各設備的控制部、把基片自動運送到各個設備的自動運送裝置，所述控制方法包括第1步驟，把基片裝載到第1設備；第2步驟，在第1設備對基片進行作業，并為了使各連網的設備共享該作業結果數據而把該第1設備的作業結果數據存儲到文件服務器中；第3步驟，從第1設備把基片卸去；第4步驟，向第2設備搬運基片，并把基片裝載到第2設備；第5步驟，在第2設備中開始作業前從文件服務器讀取第1設備的作業結果數據，開始作業時利用該第1設備的作業結果數據對基片進行作業，完成作業后把作業結果數據存儲到文件服務器中；和，第6步驟，從第2設備卸去基片。
32．根據權利要求31的自動化系統控制方法，其特征在于，所述第1步驟包括第1設備向控制部傳送信息、要求運送基片的步驟；控制部檢索自己的數據庫，找出第1設備應執行作業的基片，并命令自動運送裝置把該基片裝載到第1設備的步驟；和當基片裝載到第1設備后，第1設備閱讀基片的固有編號，并向控制部報告基片已裝載完畢的步驟。
33．根據權利要求32的自動化系統控制方法，其特征在于，所述第2步驟包括控制部根據基片的固有編號信息判斷第1設備是否處于可作業狀態，如果處于可作業狀態，就向第1設備傳送作業所需數據，同時下達開始作業指令的步驟；和第1設備對基片進行作業，在把作業結果數據存儲到文件服務器后，向控制部報告完成作業的步驟。
34．根據權利要求33的自動化系統控制方法，其特征在于，所述第3步驟包括控制部從文件服務器讀取第1設備作業結果數據，加工該第1設備作業結果數據，并指令自動運送裝置把基片卸去的步驟；自動運送裝置把完成作業的基片從第1設備卸去的步驟；和卸去基片作業完成后，第1設備向控制部報告完成卸去基片作業的步驟。
35．根據權利要求34的自動化系統控制方法，其特征在于，所第4步驟包括控制部把存儲在文件服務器內的第1設備作業結果數據的位置和第2設備執行作業后把作業結果數據存儲到文件服務器內的位置傳送給第2設備的步驟；和第2設備從文件服務器中讀取第1設備作業結果數據，并進行作業，作業完成后把作業結果數據存儲到文件服務器中的步驟。
36．根據權利要求35的自動化系統控制方法，其特征在于，所述第1設備是檢測器，第2設備是補修器。
37．根據權利要求36的自動化系統控制方法，其特征在于，所述基片是晶片。
38．根據權利要求36的自動化系統控制方法，其特征在于，所述基片是玻璃。
全文摘要
根據本發明的自動化系統中，所有設備通過網絡與文件服務器連接，使設備之間可以共享各設備的作業結果數據。一個設備(如，檢測器)所完成的作業結果數據存儲在文件服務器中，而其他設備(如，保修器)可以利用存儲在文件服務器中的上述數據進行作業。
文檔編號G02F1/13GK1238481SQ9910519
公開日1999年12月15日 申請日期1999年4月27日 優先權日1998年4月27日
發明者李相鉉, 邊圣埈 申請人:三星電子株式會社