一種硅片用顯影機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體材料生產技術領域，尤其是涉及一種硅片用顯影機。
【背景技術】
[0002]在半導體芯片制造過程中，硅片經涂膠、曝光后需由顯影機將硅片上的圖形進行顯影，機臺顯影能力直接影響硅片內圖形線寬的均勻性和缺陷數目的多少。
[0003]硅片在進行顯影處理時，為了提高顯影效率、節約處理時間，一般是將盛放多片硅片的花籃置于顯影液中，然后顯影液將覆蓋整個花籃中各個硅片，這樣就存在這樣一個問題:將花籃從顯影液中取出較為困難，即便是采用夾子等輔助工具，也難以避免從花籃流出的顯影液的污染問題。
【發明內容】
[0004]本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺點，提供一種在動力部分帶動下能升降花籃的顯影機，顯影前，將花籃掛接在掛架上，顯影完成后，掛架將花籃帶離顯影液，同時還可在顯影過程中晃動花籃，以保證顯影的均勻性，采用的技術方案是:一種硅片用顯影機，包括機臺，在所述機臺上設有顯影液槽，其特征在于:所述顯影機還包括花籃傳動部分，所述花籃傳動部分包括動力部件，所述動力部件包括轉軸，在所述轉軸上安裝有偏心輪，所述偏心輪連接掛架。
[0005]本實用新型的技術特征還有:所述偏心輪上設有銷軸，所述銷軸連接所述掛架。
[0006]本實用新型的技術特征還有:所述掛架包括與所述銷軸連接的連桿，所述連桿連接連接板，所述連接板連接掛板，在所述掛板的端部設有掛鉤。
[0007]本實用新型的技術特征還有:裝有硅片的花籃連接在所述掛鉤上。
[0008]本實用新型的技術特征還有:所述機臺上設有4個顯影液槽，每個顯影液槽均對應一套花籃傳動部分。
[0009]本實用新型的有益效果在于:本新型在現有技術的基礎上增設了花籃傳動部分，該部分可帶動連接在其上的花籃上升或者下降，從而可將硅片浸入顯影液或者從顯影液中提出，提出后花籃高于顯影液液面，殘留在硅片的液體可直接流入顯影液槽內，避免了顯影液對機臺及周圍環境造成污染，顯影中還可通過傳動部分晃動花籃，以改善顯影效果;本新型具有顯影效果好、使用便利、對機臺無污染之優點。
【附圖說明】
[0010]附圖1是本實用新型結構示意圖，其中I是機臺，2是動力部件，3是轉軸，4是銷軸，5是掛架，51是連桿，52是連接板，53是掛板，54是掛鉤，6是顯影液槽，7是控制面板，8是偏心輪。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖，對本實用新型的【具體實施方式】進行說明。本實用新型公開了一種硅片用顯影機，該顯影機包括機臺1、花籃傳動部分和控制部分，在機臺I上設有盛放顯影液的顯影液槽6，花籃傳動部分包括動力部件，動力部件包括轉軸3，在轉軸3上安裝有偏心輪8，在偏心輪8上設有銷軸4，銷軸4連接掛架5，掛架5活動連接花籃(圖中未示出)。
[0012]掛架5包括與銷軸固定連接的連桿51，連桿51連接連接板52，連接板52連接掛板53，在掛板53的端部設有掛鉤54，裝有硅片的花籃連接在掛鉤54上。
[0013]本實施例中機臺上設有4個顯影液槽，每個顯影液槽均對應一套花籃傳動部分。
[0014]當然，上述說明并非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限于上述舉例，本技術領域的普通技術人員在本實用新型的實質范圍內所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種硅片用顯影機，包括機臺，在所述機臺上設有顯影液槽，其特征在于:所述顯影機還包括花籃傳動部分，所述花籃傳動部分包括動力部件，所述動力部件包括轉軸，在所述轉軸上安裝有偏心輪，所述偏心輪連接掛架。2.按照權利要求1所述的顯影機，其特征在于:所述偏心輪上設有銷軸，所述銷軸連接所述掛架。3.按照權利要求2所述的顯影機，其特征在于:所述掛架包括與所述銷軸連接的連桿，所述連桿連接連接板，所述連接板連接掛板，在所述掛板的端部設有掛鉤。4.按照權利要求3所述的顯影機，其特征在于:裝有硅片的花籃連接在所述掛鉤上。5.按照權利要求2所述的顯影機，其特征在于:所述機臺上設有4個顯影液槽，每個顯影液槽均對應一套花籃傳動部分。
【專利摘要】一種硅片用顯影機，包括機臺，在機臺上設有顯影液槽，顯影機還包括花籃傳動部分，花籃傳動部分包括動力部件，動力部件包括轉軸，在轉軸上安裝有偏心輪，偏心輪連接掛架。本新型在現有技術的基礎上增設了花籃傳動部分，該部分可帶動連接在其上的花籃上升或者下降，從而可將硅片浸入顯影液或者從顯影液中提出，提出后花籃高于顯影液液面，殘留在硅片的液體可直接流入顯影液槽內，避免了顯影液對機臺及周圍環境造成污染，顯影中還可通過傳動部分晃動花籃，以改善顯影效果；本新型具有顯影效果好、使用便利、對機臺無污染之優點。
【IPC分類】G03F7/26
【公開號】CN205210515
【申請號】CN201520930863
【發明人】張運, 孫者利
【申請人】濟南卓微電子有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年11月23日